2022/11/30 |
2022191842 |
特許 |
レーザ光の光軸調整方法及び装置 |
2022/11/30 |
2022191843 |
特許 |
レーザ光の光軸調整方法及び装置 |
2022/11/7 |
2022024100 |
意匠 |
ロッカー |
2022/8/26 |
2022098873 |
商標 |
Gammaα |
2022/8/26 |
2022098872 |
商標 |
§Gammaα |
2022/3/28 |
2022051017 |
特許 |
ツールホルダ装着状態検出方法及び装置、並びに工作機械 |
2021/10/28 |
2021134866 |
商標 |
Shaftcom |
2021/3/19 |
2021045451 |
特許 |
ウエハエッジ部の改質装置及び改質方法 |
2021/3/19 |
2021133140 |
特許 |
ウエハエッジ部の改質装置及び改質方法 |
2021/3/19 |
2021045353 |
特許 |
レーザ加工装置 |
2021/3/18 |
2021032471 |
商標 |
ACCRETECH |
2021/2/22 |
2022518620 |
特許 |
測定装置 |
2021/1/25 |
2021007606 |
商標 |
§SBS\DYNAMIC BALANCE SYSTEM |
2021/1/25 |
2021007607 |
商標 |
SBS |
2020/9/4 |
2021112218 |
特許 |
ダイシング装置及び方法 |
2020/9/4 |
2020149028 |
特許 |
ダイシング装置及び方法 |
2020/8/28 |
2020144159 |
特許 |
レーザ加工装置 |
2020/8/28 |
2021198202 |
特許 |
レーザ加工装置 |
2020/4/28 |
2020079381 |
特許 |
測定装置及び測定方法 |
2020/3/4 |
2020037113 |
特許 |
三次元測定システム及び三次元測定方法 |
2020/3/3 |
2020086099 |
特許 |
ワーク加工装置及び方法 |
2020/3/3 |
2020068910 |
特許 |
ワーク加工装置及び方法 |
2020/3/3 |
2020035651 |
特許 |
ワーク加工装置及び方法 |
2019/11/27 |
2019214039 |
特許 |
検出器、表面性状測定装置及び測定方法 |
2019/11/27 |
2020199509 |
特許 |
表面性状測定装置及び測定方法 |
2019/11/22 |
2019211559 |
特許 |
表面形状測定機、及び表面形状測定方法 |
2019/10/29 |
2020003719 |
特許 |
レーザ加工装置の収差調整方法及び収差制御方法 |
2019/10/29 |
2019196178 |
特許 |
レーザ加工装置、レーザ加工装置の収差調整方法、レーザ加工装置の収差制御方法、及びレーザ加工方法 |
2019/8/23 |
2019152950 |
特許 |
形状測定装置 |
2019/8/23 |
2019152949 |
特許 |
形状測定装置 |
2019/7/17 |
2019132071 |
特許 |
測定装置 |
2019/7/16 |
2019097117 |
商標 |
XYANA smart |
2019/4/17 |
2019053682 |
商標 |
XYZAX |
2019/4/17 |
2019053681 |
商標 |
Opt-BLISK |
2019/4/16 |
2019077810 |
特許 |
変位検出器、表面性状測定機、及び真円度測定機 |
2019/3/28 |
2019063536 |
特許 |
形状測定機及びその制御方法 |
2019/3/28 |
2019063537 |
特許 |
三次元座標測定機及び三次元座標測定方法 |
2019/3/27 |
2019061420 |
特許 |
回転塗布装置及び回転塗布方法 |
2019/3/27 |
2019060641 |
特許 |
基板加工装置 |
2019/3/27 |
2019061429 |
特許 |
回転塗布装置及び回転塗布方法 |
2019/3/27 |
2019060642 |
特許 |
基板加工装置 |
2019/3/27 |
2019061419 |
特許 |
測定方法及び装置 |
2019/3/25 |
2019057101 |
特許 |
画像処理方法及び測定装置 |
2019/3/13 |
2019046057 |
特許 |
レンズ倍率認識方法及び測定装置 |
2019/3/7 |
2019041148 |
特許 |
レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
2019/3/6 |
2019040160 |
特許 |
ウエハ保持装置 |
2019/3/6 |
2019040658 |
特許 |
レーザ加工装置及び撮像装置 |
2019/2/19 |
2019027523 |
特許 |
ワーク検査方法及び装置並びにワーク加工方法 |
2019/2/15 |
2019025500 |
特許 |
加工中における砥石目詰まり非接触検知装置及び検知方法 |
2019/2/15 |
2019025501 |
特許 |
シリコンウェハの研削後表面のレーザー照射修復装置及び修復方法 |
2019/2/5 |
2019018839 |
特許 |
加工装置 |
2019/2/4 |
2019017958 |
特許 |
ウェーハ剥離洗浄装置 |
2019/2/4 |
2019017957 |
特許 |
ウェーハ剥離洗浄装置 |
2019/2/4 |
2019017956 |
特許 |
ウェーハ剥離洗浄装置 |
2019/1/30 |
2019014491 |
特許 |
被搬送物の位置決め装置及び位置決め方法 |
2019/1/16 |
2019005257 |
特許 |
ウェーハチャック及びウェーハ保持装置 |
2019/1/16 |
2019005595 |
特許 |
平面加工装置 |
2019/1/15 |
2019004378 |
特許 |
ウェーハ検出装置、ウェーハ検出方法、及びプローバ |
2019/1/9 |
2019002028 |
特許 |
電子部品のポッティング方法及びそれを用いた電子装置 |
2019/1/9 |
2019001959 |
特許 |
レーザダイシング装置 |
2018/12/28 |
2018246899 |
特許 |
レーザ加工装置及びその制御方法 |
2018/12/28 |
2018246897 |
特許 |
レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
2018/12/28 |
2018246898 |
特許 |
レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
2018/12/27 |
2018245112 |
特許 |
形状測定装置 |
2018/12/19 |
2018237290 |
特許 |
光回転プローブ及び形状測定装置 |
2018/12/19 |
2018237291 |
特許 |
距離測定装置及びその制御方法 |
2018/12/17 |
2018235510 |
特許 |
補助方法及び補助装置 |
2018/12/17 |
2018235944 |
特許 |
ウエハ研磨装置 |
2018/12/14 |
2018234618 |
特許 |
貼り合わせウェーハのエッジトリミング加工方法 |
2018/12/14 |
2018234125 |
特許 |
貼り合わせウェーハのエッジトリミング加工方法 |
2018/11/28 |
2018221928 |
特許 |
多軸レーザ干渉測長器 |
2018/11/20 |
2018217786 |
特許 |
ウエハ受け渡し装置 |
2018/11/20 |
2018217785 |
特許 |
ウエハ受け渡し装置 |
2018/11/19 |
2018216748 |
特許 |
レーザ加工装置及びその制御方法 |
2018/11/9 |
2018211634 |
特許 |
ダイシング装置及びダイシング方法 |
2018/11/9 |
2018211635 |
特許 |
ダイシング方法及び装置 |
2018/11/9 |
2018211636 |
特許 |
ダイシング装置及びダイシング方法並びにダイシングテープ |
2018/11/8 |
2018210352 |
特許 |
レーザー加工方法及び装置 |
2018/11/8 |
2018210351 |
特許 |
亀裂検出装置及び方法 |
2018/10/31 |
2018205453 |
特許 |
亀裂検出装置及び亀裂検出方法 |
2018/10/10 |
2018192092 |
特許 |
レーザー加工装置及びレーザー加工方法 |
2018/10/10 |
2018191943 |
特許 |
三次元測定結果の処理方法及び処理装置並びに三次元測定機 |
2018/10/10 |
2019167034 |
特許 |
光変調装置及び光変調方法 |
2018/9/25 |
2018178868 |
特許 |
ダイシング装置及びカッターセット方法 |
2018/9/13 |
2018171852 |
特許 |
異常検出方法及び三次元測定機 |
2018/9/10 |
2018169236 |
特許 |
加工システム及び方法 |
2018/8/27 |
2018158475 |
特許 |
三次元測定機及び三次元測定方法 |
2018/8/23 |
2018156423 |
特許 |
ファイバーケーブル切断装置 |
2018/8/7 |
2018148742 |
特許 |
三次元測定機の作動方法及び三次元測定機 |
2018/6/28 |
2018123504 |
特許 |
補助装置及び補助方法 |
2018/6/15 |
2018079433 |
商標 |
ACCRETECH∞WIN-WIN RELATIONSHIPS\CREATE THE WORLD’S No.1 PRODUCTS |
2018/6/11 |
2018111424 |
特許 |
CMP装置及び方法 |
2018/5/24 |
2018100079 |
特許 |
CMP装置 |
2018/5/8 |
2018090027 |
特許 |
補助方法及び補助装置 |
2018/4/20 |
2018081523 |
特許 |
テープ付きウェーハの加工装置及びその加工方法 |
2018/4/19 |
2018080938 |
特許 |
ハブ型ブレード及びハブ型ブレード製造方法 |
2018/4/19 |
2018080939 |
特許 |
ハブ型ブレード |
2018/4/19 |
2018080940 |
特許 |
ハブ型ブレード |
2018/4/18 |
2018079981 |
特許 |
ギヤ間に生じるミスアライメントの温度変化を評価する評価方法 |
2018/3/30 |
2018040538 |
商標 |
Saw-NET |
2018/3/30 |
2018040537 |
商標 |
Accretech Saw-NET |
2018/3/29 |
2018064818 |
特許 |
導通検査装置、プローバ |
2018/3/29 |
2018064819 |
特許 |
形状測定機 |
2018/3/29 |
2018064820 |
特許 |
校正ユニット、及び形状測定機校正装置 |
2018/3/29 |
2018064821 |
特許 |
測定機管理装置及び方法 |
2018/3/28 |
2018062229 |
特許 |
エンコーダ |
2018/3/28 |
2018062608 |
特許 |
板厚の測定装置及び板厚の測定方法 |
2018/3/28 |
2018062231 |
特許 |
焼成前セラミックス積層体の切断方法およびそれに用いる装置 |
2018/3/28 |
2018062232 |
特許 |
貼り合せ基板の測定方法および加工方法並びにそれらに用いる装置 |
2018/3/28 |
2018062230 |
特許 |
測定ヘッド及びその温度特性を調整する方法 |
2018/3/28 |
2022055082 |
特許 |
光学式測定器およびそれを用いた測定方法 |
2018/3/28 |
2018062275 |
特許 |
光学式測定器およびそれを用いた測定方法 |
2018/3/28 |
2022030887 |
特許 |
貼り合せ基板の測定方法および加工方法並びにそれらに用いる装置 |
2018/3/28 |
2018062233 |
特許 |
内径測定装置およびそれを用いた測定方法 |
2018/3/28 |
2022083816 |
特許 |
測定ヘッド及びその温度特性を調整する方法 |
2018/3/28 |
2018062877 |
特許 |
プローバシステム |
2018/3/27 |
2018060255 |
特許 |
ウェーハ分割装置及び方法 |
2018/3/27 |
2018060256 |
特許 |
異常検出方法及び三次元測定器 |
2018/3/26 |
2018058564 |
特許 |
面取り加工システム及びそれに用いられるツルーイング装置 |
2018/3/26 |
2018057524 |
特許 |
外径測定器及びその温度特性を調整する方法、並びに研削装置 |
2018/3/23 |
2018055709 |
特許 |
ウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法 |
2018/3/23 |
2022046616 |
特許 |
ウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法 |
2018/3/23 |
2018056956 |
特許 |
表面形状測定装置 |
2018/3/22 |
2018054827 |
特許 |
プローバの冷却システム |
2018/3/22 |
2018054829 |
特許 |
プローバの冷却システム |
2018/3/22 |
2022053619 |
特許 |
搬送装置 |
2018/3/22 |
2018054826 |
特許 |
プローバのウェーハ搬送装置 |
2018/3/20 |
2018053264 |
特許 |
研磨装置 |
2018/3/20 |
2018053262 |
特許 |
研磨装置 |
2018/3/20 |
2018053263 |
特許 |
研磨装置 |
2018/3/19 |
2018051479 |
特許 |
表面形状測定装置 |
2018/3/16 |
2018049938 |
特許 |
プローバ |
2018/3/16 |
2018049083 |
特許 |
ウェハ分断装置及び方法 |
2018/3/13 |
2018045523 |
特許 |
研磨装置 |
2018/3/12 |
2018044790 |
特許 |
加工装置 |
2018/3/12 |
2018044509 |
特許 |
形状解析装置、形状解析方法、およびプログラム |
2018/3/7 |
2018041350 |
特許 |
研磨装置 |
2018/3/7 |
2018041348 |
特許 |
研削盤 |
2018/3/2 |
2018037193 |
特許 |
球面内径測定装置および測定方法 |
2018/3/2 |
2018037599 |
特許 |
ウエハ搬送保持装置 |
2018/3/2 |
2018037192 |
特許 |
エアマイクロ |
2018/3/2 |
2018037194 |
特許 |
絶対距離測定装置及びその方法 |
2018/3/2 |
2018037191 |
特許 |
接触式の外径測定装置及び外径測定方法 |
2018/3/2 |
2022034166 |
特許 |
球面内径測定装置および測定方法 |
2018/3/2 |
2018037713 |
特許 |
形状測定装置 |
2018/3/2 |
2018037712 |
特許 |
形状測定装置 |
2018/3/2 |
2022033429 |
特許 |
形状測定装置 |
2018/3/1 |
2018036619 |
特許 |
測定プログラムの管理方法 |
2018/2/27 |
2018033120 |
特許 |
プローバ |
2018/2/26 |
2018032065 |
特許 |
荷重分散板 |
2018/2/23 |
2018031051 |
特許 |
チャック装置及び表面形状測定機 |
2018/2/19 |
2018027436 |
特許 |
研削装置 |
2018/2/7 |
2018241291 |
特許 |
表面形状測定機 |
2018/2/7 |
2018020118 |
特許 |
表面形状測定機 |
2018/2/2 |
2018017273 |
特許 |
リニア駆動機構及び形状測定機 |
2018/2/2 |
2018238072 |
特許 |
リニア駆動機構 |
2018/2/1 |
2018016651 |
特許 |
検出器及び真円度測定機 |
2018/2/1 |
2021207251 |
特許 |
検出器及び真円度測定機 |
2018/1/19 |
2018007144 |
特許 |
ワークの搬送装置、及び、ワークの搬送方法 |
2018/1/19 |
2021211810 |
特許 |
ワークの保持装置、及び、ワークの保持方法 |
2018/1/11 |
2018002669 |
特許 |
ワーク分割装置及びワーク分割方法 |
2018/1/11 |
2018002670 |
特許 |
ワーク分割装置及びワーク分割方法 |
2017/12/28 |
2017254250 |
特許 |
CMP装置 |
2017/12/26 |
2017248726 |
特許 |
旋回動作に追従する配線・配管の保護装置 |
2017/12/18 |
2017241358 |
特許 |
洗浄装置 |
2017/12/15 |
2017240607 |
特許 |
測定装置及び測定方法 |
2017/12/12 |
2017237814 |
特許 |
プローバ及びプローブ検査方法 |
2017/11/30 |
2017230342 |
特許 |
プローバ及びプローブ検査方法 |
2017/11/30 |
2017230343 |
特許 |
プローバ及びプローブ検査方法 |
2017/11/6 |
2017213724 |
特許 |
ウェーハの加工方法 |
2017/10/24 |
2021118776 |
特許 |
ワーク分割装置及びワーク分割方法 |
2017/10/24 |
2018547681 |
特許 |
ワーク分割装置及びワーク分割方法 |
2017/9/22 |
2017182782 |
特許 |
レーザー加工装置及びレーザー加工方法 |
2017/9/22 |
2021110752 |
特許 |
レーザー加工装置及びレーザー加工方法 |
2017/9/11 |
2017174111 |
特許 |
校正装置及び校正方法 |
2017/9/8 |
2017172845 |
特許 |
測定器及びそれに用いる衝突退避機構並びに衝突退避方法 |
2017/9/8 |
2021188532 |
特許 |
測定器、衝突退避方法、工作機械、及び、ワークの加工方法 |
2017/8/24 |
2017160776 |
特許 |
外径測定装置及びその調整方法 |
2017/8/24 |
2021045953 |
特許 |
外径測定装置及びその調整方法 |
2017/8/15 |
2017156858 |
特許 |
断線検出装置、断線検出方法、及びプローブ先端検出装置 |
2017/8/1 |
2017149323 |
特許 |
レーザー加工装置及び亀裂検出方法 |
2017/8/1 |
2021095581 |
特許 |
亀裂検出装置及び亀裂検出方法 |
2017/7/18 |
2017138739 |
特許 |
非破壊検査装置及びその方法 |
2017/5/30 |
2017106787 |
特許 |
ブレード検査装置及びブレード検査方法 |
2017/5/18 |
2017067840 |
商標 |
SURFCOM CREST |
2017/5/18 |
2017067839 |
商標 |
SURFCOM NEX |
2017/5/15 |
2017096468 |
特許 |
宅配ボックスシステム及びインターホン装置 |
2017/5/9 |
2017093426 |
特許 |
ハブ型ブレード取付け構造及び基板切断装置 |
2017/4/27 |
2017088552 |
特許 |
切刃ブレード、ハブ型ブレード及び切刃ブレード製造方法 |
2017/4/27 |
2021143287 |
特許 |
切刃ブレード |
2017/3/31 |
2017071769 |
特許 |
レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
2017/3/31 |
2021073884 |
特許 |
レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
2017/3/31 |
2017071770 |
特許 |
レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
2017/3/31 |
2017071771 |
特許 |
レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
2017/3/31 |
2017071772 |
特許 |
表面形状測定機の校正装置 |
2017/3/30 |
2021106252 |
特許 |
スピンナー洗浄装置 |
2017/3/30 |
2017066937 |
特許 |
渦電流式変位計 |
2017/3/30 |
2017067852 |
特許 |
スピンナー洗浄装置 |
2017/3/30 |
2021158775 |
特許 |
三次元測定機、測定方法、及び測定プログラム |
2017/3/30 |
2017068273 |
特許 |
三次元測定機、測定方法、及び測定プログラム |
2017/3/30 |
2021082507 |
特許 |
超音波計測装置及び超音波計測方法 |
2017/3/30 |
2017066935 |
特許 |
超音波計測装置及び超音波計測方法 |
2017/3/30 |
2021175128 |
特許 |
三次元測定機、測定方法、及び測定プログラム |
2017/3/30 |
2017066936 |
特許 |
液面高さ測定装置、該液面高さ測定装置を有する液注入装置、および液面高さ測定装置を用いた液面高さ測定方法 |
2017/3/30 |
2017068274 |
特許 |
三次元測定機、測定方法、及び測定プログラム |
2017/3/30 |
2022032404 |
特許 |
液面高さ測定装置、および液面高さ測定方法 |
2017/3/30 |
2017067710 |
特許 |
検出器及び表面粗さ測定機 |
2017/3/29 |
2017064471 |
特許 |
ウェーハの位置決め装置及びそれを用いた面取り装置 |
2017/3/29 |
2017064470 |
特許 |
ウェーハの表裏判定装置及びそれを用いた面取り装置 |
2017/3/29 |
2021077568 |
特許 |
ウェーハの位置決め装置及びそれを用いた面取り装置 |
2017/3/29 |
2017066104 |
特許 |
表面形状測定装置の角度補正方法及び角度補正装置 |
2017/3/29 |
2017064469 |
特許 |
内径測定装置およびそれを用いた内径測定方法 |
2017/3/29 |
2021147470 |
特許 |
ツルーイング方法及び面取り装置 |
2017/3/29 |
2017064472 |
特許 |
ツルーイング方法及び面取り装置 |
2017/3/29 |
2017064473 |
特許 |
ウェーハ及びウェーハの薄化方法並びにウェーハの薄化装置 |
2017/3/29 |
2021073203 |
特許 |
ウェーハの表裏判定装置及びそれを用いた面取り装置 |
2017/3/29 |
2021094295 |
特許 |
ウェーハ及びウェーハの薄化方法並びにウェーハの薄化装置 |
2017/3/29 |
2022046615 |
特許 |
内径測定装置およびそれを用いた内径測定方法 |
2017/3/29 |
2021002284 |
特許 |
内径測定装置およびそれを用いた内径測定方法 |
2017/3/28 |
2017063443 |
特許 |
三次元座標測定装置 |
2017/3/28 |
2017062149 |
特許 |
表面異物検出装置およびそれを用いた表面異物検出方法 |
2017/3/28 |
2017063445 |
特許 |
表面形状測定機の校正方法及び校正装置 |
2017/3/28 |
2017063444 |
特許 |
形状測定装置及び形状測定方法 |
2017/3/28 |
2017063924 |
特許 |
研削装置 |
2017/3/28 |
2021084308 |
特許 |
研削装置 |
2017/3/28 |
2021022490 |
特許 |
三次元座標測定装置 |
2017/3/27 |
2017061386 |
特許 |
プローバおよびプリアライメント方法 |
2017/3/27 |
2017061388 |
特許 |
検出器、輪郭形状測定機及び触針の接触制御方法 |
2017/3/27 |
2017061387 |
特許 |
検出器、表面性状測定機、及び真円度測定機 |
2017/3/27 |
2021096478 |
特許 |
ワーク分割方法 |
2017/3/27 |
2017061385 |
特許 |
表面形状測定装置及びそのスティッチング測定方法 |
2017/3/27 |
2021029361 |
特許 |
検出器、輪郭形状測定機及び触針の接触制御方法 |
2017/3/27 |
2017061384 |
特許 |
ワーク分割方法 |
2017/3/24 |
2017059702 |
特許 |
プローブカードの傾き検出方法及びプローバ |
2017/3/24 |
2017059442 |
特許 |
表面測定機用手動送り機構 |
2017/3/24 |
2017059441 |
特許 |
プローバ |
2017/3/24 |
2021030346 |
特許 |
表面測定機用手動送り機構 |
2017/3/24 |
2017102459 |
特許 |
プローバ |
2017/3/24 |
2017059703 |
特許 |
プローバ及びプローバの操作方法 |
2017/3/23 |
2021104954 |
特許 |
プローバおよびウェーハチャック |
2017/3/23 |
2017057689 |
特許 |
プローバ |
2017/3/23 |
2017057266 |
特許 |
プローバおよびウェーハチャック |
2017/3/23 |
2021097169 |
特許 |
プローバ |
2017/3/10 |
2017046582 |
特許 |
ブレード製造方法 |
2017/3/9 |
2021027116 |
特許 |
ブレード固定装置及びダイシング装置 |
2017/3/9 |
2017045099 |
特許 |
ブレード固定装置及びダイシング装置 |
2017/3/9 |
2017045098 |
特許 |
ブレード固定装置及びダイシング装置 |
2017/3/8 |
2017044137 |
特許 |
表面形状測定方法 |
2017/3/8 |
2017044138 |
特許 |
表面形状測定方法および表面形状測定装置 |
2017/3/8 |
2021081714 |
特許 |
表面形状測定方法 |
2017/3/8 |
2020215112 |
特許 |
表面形状測定方法 |
2017/3/7 |
2017043080 |
特許 |
プローバ |
2017/3/6 |
2017041847 |
特許 |
切断用ブレード及びその製造方法 |
2017/3/6 |
2017041711 |
特許 |
表面形状測定装置及び表面形状測定方法 |
2017/3/6 |
2020215113 |
特許 |
表面形状測定装置及び表面形状測定方法 |
2017/2/27 |
2017035587 |
特許 |
ウエハ加工装置 |
2017/2/27 |
2021067592 |
特許 |
研削装置 |
2017/2/27 |
2017035589 |
特許 |
研削装置 |
2017/2/27 |
2017035591 |
特許 |
研削装置 |
2017/2/27 |
2017035588 |
特許 |
研削装置 |
2017/2/27 |
2017035590 |
特許 |
研削装置 |
2017/2/27 |
2017035586 |
特許 |
ウエハ搬送保持装置 |
2017/2/24 |
2017033572 |
特許 |
表面測定機用検出器 |
2017/2/20 |
2017029232 |
特許 |
表面粗さ測定システム |
2017/2/17 |
2017027705 |
特許 |
CMP装置及び方法 |
2017/2/16 |
2017027013 |
特許 |
CMP装置 |
2017/2/13 |
2017024400 |
特許 |
ハブ型ブレード及びハブ型ブレード製造方法 |
2017/2/13 |
2021146163 |
特許 |
ハブ型ブレード |
2017/2/13 |
2017024404 |
特許 |
ハブ型ブレード |
2017/2/13 |
2018020292 |
特許 |
ハブ型ブレード |
2017/2/13 |
2017024402 |
特許 |
ハブ型ブレード |
2017/2/13 |
2017024401 |
特許 |
ハブ型ブレード及びハブ型ブレード製造方法 |
2017/1/30 |
2017014128 |
特許 |
研削装置 |
2017/1/23 |
2017009840 |
特許 |
形状測定装置および形状測定方法 |
2017/1/20 |
2017008527 |
特許 |
プローバ及びプローブ針の接触方法 |
2017/1/20 |
2020206393 |
特許 |
プローバ及びプローブ針の接触方法 |
2017/1/19 |
2017007742 |
特許 |
表面形状測定装置の測定準備アライメント方法及び表面形状測定装置 |
2017/1/13 |
2021003213 |
特許 |
加温装置及び加温方法 |
2017/1/13 |
2017004177 |
特許 |
ワーク分割装置及びワーク分割方法 |
2016/12/28 |
2017223419 |
特許 |
超音波式変位センサ及びそれを用いたワーク識別装置 |
2016/12/28 |
2021214065 |
特許 |
ワーク分割装置及びワーク分割方法 |
2016/12/28 |
2016254902 |
特許 |
ワーク識別装置及び識別方法 |
2016/12/28 |
2016256271 |
特許 |
ワーク分割装置及びワーク分割方法 |
2016/12/28 |
2017545601 |
特許 |
超音波式変位センサ及びそれを用いたワーク識別装置 |
2016/12/28 |
2021006096 |
特許 |
ワーク分割装置及びワーク分割方法 |
2016/12/26 |
2016250539 |
特許 |
無線通信装置における消費電力の低減方法および無線通信装置 |
2016/12/26 |
2016250540 |
特許 |
無線測定システム及び工作機械の測定装置 |
2016/12/26 |
2021067442 |
特許 |
無線通信装置における消費電力の低減方法および無線通信装置 |
2016/12/26 |
2021127038 |
特許 |
工作機械 |
2016/12/20 |
2017558144 |
特許 |
切断用ブレードの製造方法、及び切断用ブレード |
2016/12/9 |
2016239032 |
特許 |
測定システム |
2016/12/9 |
2020193091 |
特許 |
測定システム及びデータ送信方法 |
2016/12/2 |
2016234675 |
特許 |
自動工具交換装置付き工作機械及び自動測定方法 |
2016/11/28 |
2021036787 |
特許 |
加工装置 |
2016/11/28 |
2017134804 |
特許 |
加工装置 |
2016/11/28 |
2017503974 |
特許 |
加工装置 |
2016/11/21 |
2016226121 |
特許 |
測定装置及び測定方法 |
2016/11/10 |
2016125580 |
商標 |
XYZAX AXCEL |
2016/11/10 |
2016125579 |
商標 |
東京精密 |
2016/11/4 |
2016216530 |
特許 |
ウエハの搬送保持装置 |
2016/11/4 |
2021052534 |
特許 |
ウエハの搬送保持装置 |
2016/11/4 |
2016216531 |
特許 |
ウエハの搬送保持装置 |
2016/11/4 |
2016216528 |
特許 |
ウエハの搬送保持装置 |
2016/10/31 |
2016212915 |
特許 |
形状測定方法及び形状測定装置 |
2016/10/31 |
2016212527 |
特許 |
光学式測定器の回り止め |
2016/10/31 |
2022111006 |
特許 |
光学式測定器の回り止め |
2016/10/31 |
2021139816 |
特許 |
光学式測定器の回り止め |
2016/10/31 |
2016212528 |
特許 |
外径測定装置及び測定方法 |
2016/10/28 |
2016212091 |
特許 |
ワーク分割装置及びワーク分割方法 |
2016/10/28 |
2020146869 |
特許 |
ワーク分割装置 |
2016/10/28 |
2016212090 |
特許 |
ワーク分割装置及びワーク分割方法 |
2016/10/28 |
2021146829 |
特許 |
ワーク分割装置及びワーク分割方法 |
2016/10/27 |
2016210196 |
特許 |
軸連結調整機構 |
2016/10/18 |
2016204494 |
特許 |
プローバ及びプローブ検査方法 |
2016/10/18 |
2016204493 |
特許 |
プローバ及びプローブ検査方法 |
2016/10/3 |
2016195412 |
特許 |
面取り研削方法及び面取り研削装置 |
2016/10/3 |
2017096163 |
特許 |
面取り研削方法及び面取り研削装置 |
2016/9/29 |
2017543543 |
特許 |
研削盤 |
2016/9/28 |
2018010915 |
特許 |
加工装置のセッティング方法 |
2016/9/28 |
2016189068 |
特許 |
加工装置のセッティング方法 |
2016/9/21 |
2016184638 |
特許 |
白色干渉装置及び白色干渉装置の計測方法 |
2016/9/20 |
2016182715 |
特許 |
表面形状測定装置 |
2016/9/7 |
2016174976 |
特許 |
プローバ |
2016/8/31 |
2016169940 |
特許 |
プローバ |
2016/8/26 |
2016166281 |
特許 |
ウェハの表面処理装置 |
2016/8/26 |
2016166279 |
特許 |
ウェハの表面処理装置 |
2016/8/26 |
2020150419 |
特許 |
ウェハの表面処理装置 |
2016/8/24 |
2016163862 |
特許 |
ウェハの表面処理装置 |
2016/8/24 |
2016163874 |
特許 |
ウェハの表面処理装置 |
2016/8/24 |
2016163880 |
特許 |
ウェハの表面処理方法 |
2016/8/22 |
2016162061 |
特許 |
レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
2016/8/22 |
2020179574 |
特許 |
レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
2016/8/5 |
2021135505 |
特許 |
プローバ |
2016/8/5 |
2016154281 |
特許 |
外径測定装置及び測定方法 |
2016/8/3 |
2016152557 |
特許 |
超音波変位計測装置及び超音波変位計測方法 |
2016/8/3 |
2016152556 |
特許 |
超音波変位計測装置及び超音波変位計測方法 |
2016/7/29 |
2021123074 |
特許 |
温度付与装置及び温度付与方法 |
2016/7/29 |
2020091104 |
特許 |
温度付与装置及び温度付与方法 |
2016/7/29 |
2016149680 |
特許 |
ワーク分割装置及びワーク分割方法 |
2016/7/7 |
2017529541 |
特許 |
プローバ |
2016/7/7 |
2021167415 |
特許 |
プローバ |
2016/7/7 |
2018037714 |
特許 |
プローバ |
2016/7/6 |
2016134359 |
特許 |
距離測定装置及び距離測定方法 |
2016/7/6 |
2020030763 |
特許 |
距離測定装置及び距離測定方法 |
2016/7/5 |
2016133414 |
特許 |
真円度測定機の心ずれ量算出方法及び真円度測定機 |
2016/7/5 |
2016133413 |
特許 |
表面形状測定装置の心ずれ量算出方法、及び表面形状測定装置 |
2016/7/5 |
2016208440 |
特許 |
表面形状測定方法、心ずれ量算出方法、及び表面形状測定装置 |
2016/7/5 |
2017011142 |
特許 |
表面形状測定装置 |
2016/5/9 |
2016093786 |
特許 |
ダイシング装置及びダイシング方法 |
2016/4/6 |
2016076292 |
特許 |
ワークの支持装置 |
2016/4/6 |
2017131977 |
特許 |
ワークの支持装置 |
2016/3/31 |
2016036903 |
商標 |
Fortia |
2016/3/31 |
2016036904 |
商標 |
DARUMAステージ |
2016/3/31 |
2016070209 |
特許 |
表面形状測定装置及び表面形状測定方法 |
2016/3/30 |
2016068360 |
特許 |
ウェーハの面取り方法 |
2016/3/30 |
2019225301 |
特許 |
ウェーハの面取り方法 |
2016/3/30 |
2020189836 |
特許 |
ウェーハの面取り装置 |
2016/3/30 |
2022007615 |
特許 |
ウェーハの面取り装置 |
2016/3/29 |
2016065060 |
特許 |
超音波ツールおよびその製作方法 |
2016/3/29 |
2020158410 |
特許 |
超音波ツールおよびその製作方法 |
2016/3/29 |
2016065417 |
特許 |
ダイシング装置 |
2016/3/29 |
2020172961 |
特許 |
プローバ |
2016/3/29 |
2020199321 |
特許 |
面取り装置及び面取り方法 |
2016/3/29 |
2016171662 |
特許 |
プローバ |
2016/3/29 |
2022007616 |
特許 |
超音波ツールおよびその製作方法 |
2016/3/29 |
2016065059 |
特許 |
小型デジタル測長器 |
2016/3/29 |
2019234760 |
特許 |
ダイシング装置 |
2016/3/29 |
2016199377 |
特許 |
プローバ |
2016/3/29 |
2022028035 |
特許 |
面取り装置及び面取り方法 |
2016/3/29 |
2017001921 |
特許 |
プローバ |
2016/3/29 |
2022014573 |
特許 |
プローバ |
2016/3/29 |
2016065061 |
特許 |
面取り装置及び面取り方法 |
2016/3/29 |
2016066460 |
特許 |
プローバ |
2016/3/29 |
2016065058 |
特許 |
部品の調芯組立て方法及びロータリ圧縮機の組立て方法並びにそれに用いられる治具 |
2016/3/29 |
2016066462 |
特許 |
プローバ及びプローブコンタクト方法 |
2016/3/28 |
2016063551 |
特許 |
ウェーハ研削方法及びウェーハ研削装置 |
2016/3/22 |
2016056765 |
特許 |
面取り装置及び面取り方法 |
2016/3/18 |
2016055901 |
特許 |
プローバ |
2016/3/18 |
2016184640 |
特許 |
プローバ |
2016/3/18 |
2021024224 |
特許 |
プローバ |
2016/3/18 |
2016054607 |
特許 |
振動計測装置及び振動計測方法 |
2016/3/18 |
2016054744 |
特許 |
ダイシング装置及びダイシング方法 |
2016/3/18 |
2016131377 |
特許 |
プローバ |
2016/3/18 |
2016055902 |
特許 |
プローバ |
2016/3/18 |
2016253762 |
特許 |
プローバ |
2016/3/17 |
2016053414 |
特許 |
光学スケールを有する測長器およびタッチ・プローブ |
2016/3/17 |
2016053415 |
特許 |
リニア・スケールを有するエンコーダ及びその原点決定方法 |
2016/3/17 |
2016054261 |
特許 |
三次元測定機、測定方法、及び測定プログラム |
2016/3/17 |
2020065563 |
特許 |
リニア・スケールを有するエンコーダ |
2016/3/16 |
2018168976 |
特許 |
ブレード診断方法、ブレード診断装置、ブレード先端形状算出方法及びブレード先端形状算出装置 |
2016/3/16 |
2016051840 |
特許 |
ダイシング装置、ブレード診断装置、ブレード診断方法及びプログラム |
2016/3/14 |
2019113744 |
特許 |
ダイシング装置 |
2016/3/11 |
2020184143 |
特許 |
面取り加工装置 |
2016/3/11 |
2016047717 |
特許 |
面取り加工装置 |
2016/3/10 |
2016046812 |
特許 |
ウェハ加工装置及びウェハ加工方法 |
2016/3/7 |
2016043434 |
特許 |
平面度測定方法 |
2016/3/3 |
2016040636 |
特許 |
真円度測定装置 |
2016/3/3 |
2016040637 |
特許 |
平面度測定装置 |
2016/3/1 |
2016038557 |
特許 |
穴径計測装置及びそれを用いた計測方法 |
2016/2/26 |
2016036054 |
特許 |
搬送ユニット及びプローバ |
2016/2/26 |
2020049004 |
特許 |
プローバ |
2016/2/26 |
2016036052 |
特許 |
搬送ユニット及びプローバ |
2016/2/26 |
2020207394 |
特許 |
搬送ユニット |
2016/2/26 |
2016036053 |
特許 |
搬送ユニット及びプローバ |
2016/2/26 |
2016036289 |
特許 |
表面形状測定装置及び表面形状測定方法 |
2016/2/26 |
2016036288 |
特許 |
表面形状測定装置及び表面形状測定方法 |
2016/2/26 |
2016135112 |
特許 |
プローバ |
2016/2/26 |
2016184639 |
特許 |
搬送ユニット |
2016/2/26 |
2017001920 |
特許 |
プローバ |
2016/2/26 |
2017222436 |
特許 |
プローバ |
2016/2/26 |
2016036287 |
特許 |
内挿方法及び内挿装置 |
2016/2/26 |
2016131378 |
特許 |
プローバ |
2016/2/26 |
2021187268 |
特許 |
プローバ |
2016/2/26 |
2016197948 |
特許 |
プローバ |
2016/2/25 |
2019149882 |
特許 |
制御装置及び制御方法 |
2016/2/25 |
2016034317 |
特許 |
ダイシング装置及びダイシング方法 |
2016/2/18 |
2016028923 |
特許 |
位置決め測定システム |
2016/2/16 |
2016027044 |
特許 |
ウエハ研磨装置 |
2016/2/15 |
2016025930 |
特許 |
測定支援方法、三次元測定機、及び測定支援プログラム |
2016/2/12 |
2016024721 |
特許 |
光学式エンコーダ及びその原点決定方法 |
2016/2/8 |
2016022244 |
特許 |
研削装置 |
2016/2/8 |
2016021453 |
特許 |
ダイシング装置及びダイシング用ブレードのドレッシング方法 |
2016/2/4 |
2016019637 |
特許 |
研削装置 |
2016/2/4 |
2016020057 |
特許 |
ダイシング装置及びその異常検出方法 |
2016/2/2 |
2016017640 |
特許 |
ワーク識別装置及び識別方法 |
2016/2/2 |
2017091504 |
特許 |
識別装置及び識別方法 |
2016/1/29 |
2019002672 |
特許 |
三次元座標測定装置 |
2016/1/29 |
2016531719 |
特許 |
三次元座標測定装置 |
2016/1/29 |
2020096759 |
特許 |
亀裂検出装置及び亀裂検出方法 |
2016/1/29 |
2018018410 |
特許 |
三次元座標測定装置 |
2016/1/29 |
2021042814 |
特許 |
三次元座標測定装置 |
2016/1/29 |
2016015634 |
特許 |
亀裂検出装置及び亀裂検出方法 |
2016/1/29 |
2016015850 |
特許 |
三次元座標測定装置 |
2016/1/29 |
2017128896 |
特許 |
三次元座標測定装置 |
2016/1/29 |
2016016218 |
特許 |
三次元座標測定装置 |
2016/1/29 |
2019073736 |
特許 |
三次元座標測定装置 |
2016/1/29 |
2018074878 |
特許 |
三次元座標測定装置 |
2016/1/29 |
2016015851 |
特許 |
三次元座標測定装置 |
2016/1/29 |
2016246967 |
特許 |
三次元座標測定装置 |
2016/1/29 |
2019081046 |
特許 |
三次元座標測定装置 |
2016/1/29 |
2016015204 |
特許 |
LVDTセンサ |
2016/1/29 |
2017068525 |
特許 |
三次元座標測定装置 |
2016/1/29 |
2017193423 |
特許 |
三次元座標測定装置 |
2016/1/29 |
2016015852 |
特許 |
三次元座標測定装置 |
2016/1/27 |
2016013154 |
特許 |
三次元測定機の測定方法及び測定制御装置、並びに測定プログラム |
2016/1/25 |
2017108308 |
特許 |
位置検出装置及びレーザー加工装置 |
2016/1/25 |
2016572016 |
特許 |
レーザーダイシング装置 |
2016/1/25 |
2017166773 |
特許 |
位置検出装置及びレーザー加工装置 |
2016/1/22 |
2016010602 |
特許 |
粗さ測定機 |
2016/1/22 |
2016011043 |
特許 |
研削装置 |
2016/1/22 |
2016011040 |
特許 |
研削装置 |
2016/1/22 |
2019159562 |
特許 |
測定装置 |
2016/1/13 |
2020076313 |
特許 |
三次元測定機、測定方法、及び測定プログラム |
2016/1/13 |
2016004434 |
特許 |
三次元測定機、測定方法、及び測定プログラム |
2016/1/8 |
2016002737 |
特許 |
プローバ及びプローブコンタクト方法 |
2016/1/8 |
2016002286 |
特許 |
渦電流センサ及びそれを備えたツールホルダ装着状態検出装置 |
2016/1/8 |
2016002738 |
特許 |
プローバ及びプローブコンタクト方法 |
2015/12/28 |
2019132072 |
特許 |
切断装置及び切断方法 |
2015/12/28 |
2015256156 |
特許 |
ダイシング装置及びダイシング方法 |
2015/12/28 |
2020067556 |
特許 |
レーザ加工装置 |
2015/12/28 |
2015256157 |
特許 |
レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
2015/12/21 |
2015248990 |
特許 |
切断用ブレードの製造方法 |
2015/12/21 |
2015249001 |
特許 |
切断用ブレードの製造方法 |
2015/12/17 |
2015246184 |
特許 |
光学式エンコーダの原点決定方法及び光学式エンコーダを用いたシステム |
2015/12/11 |
2015242192 |
特許 |
画像生成方法及び画像生成装置 |
2015/12/10 |
2015241637 |
特許 |
研削装置 |
2015/12/5 |
2015238107 |
特許 |
接触式変位センサ用コントローラ及びそれを用いた変位ゲージ |
2015/12/3 |
2015236768 |
特許 |
光軸調整装置及び光軸調整方法 |
2015/12/3 |
2015236570 |
特許 |
ウェーハ分割方法及びウェーハ分割装置 |
2015/11/25 |
2015229409 |
特許 |
ウェハ研磨装置 |
2015/11/16 |
2015224290 |
特許 |
ウェハ搬送装置 |
2015/11/12 |
2015221752 |
特許 |
インライン検査装置及び検査方法 |
2015/10/22 |
2015207748 |
特許 |
距離測定装置及びその方法 |
2015/9/30 |
2015194473 |
特許 |
研削盤 |
2015/9/30 |
2016141175 |
特許 |
研削盤 |
2015/9/30 |
2015192965 |
特許 |
収容ボックスシステム、収容ボックスの管理装置及び方法 |
2015/9/30 |
2020078458 |
特許 |
収容ボックスシステム、収容ボックス管理装置及び方法 |
2015/9/29 |
2015191964 |
特許 |
レーザー加工装置及びレーザー加工方法 |
2015/9/29 |
2015191963 |
特許 |
レーザー加工装置及びレーザー加工方法 |
2015/9/29 |
2020020471 |
特許 |
レーザー加工装置及びレーザー加工方法 |
2015/9/29 |
2015191966 |
特許 |
レーザー加工装置及びレーザー加工方法 |
2015/9/29 |
2015191965 |
特許 |
レーザー加工装置及びレーザー加工方法 |
2015/9/29 |
2019095135 |
特許 |
レーザー加工領域の確認装置及び確認方法 |
2015/9/8 |
2015176218 |
特許 |
ウェーハ研磨装置 |
2015/9/8 |
2021093356 |
特許 |
ウェーハ研削方法及びウェーハ研削装置 |
2015/9/8 |
2019193134 |
特許 |
ウェーハ研削方法及びウェーハ研削装置 |
2015/9/2 |
2015172532 |
特許 |
寸法測定装置 |
2015/8/31 |
2015170352 |
特許 |
ダイシング方法及びダイシング装置 |
2015/8/27 |
2015167971 |
特許 |
非接触内面形状測定装置 |
2015/8/27 |
2015167973 |
特許 |
非接触内面形状測定装置 |
2015/8/26 |
2015166854 |
特許 |
距離測定装置及びその方法 |
2015/7/23 |
2015239268 |
特許 |
プロービング装置及びプローブコンタクト方法 |
2015/7/23 |
2015239269 |
特許 |
プロービング装置及びプローブコンタクト方法 |
2015/7/23 |
2015145989 |
特許 |
プロービング装置及びプローブコンタクト方法 |
2015/7/22 |
2016549809 |
特許 |
半導体ウェーハの検査装置及び半導体ウェーハの検査方法 |
2015/7/21 |
2015143772 |
特許 |
切断用ブレード及びその製造方法 |
2015/7/8 |
2015231816 |
特許 |
形状測定装置 |
2015/7/8 |
2015136998 |
特許 |
形状測定装置 |
2015/6/30 |
2015130664 |
特許 |
形状測定装置 |
2015/6/4 |
2018166920 |
特許 |
ワーク加工装置 |
2015/6/4 |
2017226580 |
特許 |
ワーク加工装置及びワーク加工方法 |
2015/6/4 |
2015114149 |
特許 |
ブレード加工装置及びブレード加工方法 |
2015/5/11 |
2015096459 |
特許 |
真円度測定装置及びその測定対象物固定治具 |
2015/5/11 |
2019082883 |
特許 |
測定装置及び固定治具 |
2015/4/8 |
2015079457 |
特許 |
ワーク加工装置 |
2015/3/31 |
2015072600 |
特許 |
光学式センサーの校正方法、及び三次元座標測定機 |
2015/3/31 |
2015070908 |
特許 |
ウェーハ位置決め検出装置、方法およびプログラム |
2015/3/31 |
2015072599 |
特許 |
形状測定装置 |
2015/3/31 |
2015071528 |
特許 |
ウエハ搭載台の温度制御装置及び温度制御方法並びにプローバ |
2015/3/31 |
2016197213 |
特許 |
形状測定装置及び形状測定方法 |
2015/3/31 |
2015070910 |
特許 |
研削砥石及びその製造方法並びに該研削砥石を備えた装置 |
2015/3/31 |
2015070909 |
特許 |
面取り基板の製造方法及びそれに用いられる面取り装置 |
2015/3/31 |
2016100699 |
特許 |
形状測定装置 |
2015/3/31 |
2021034996 |
特許 |
面取り基板の製造方法及びそれに用いられる面取り装置 |
2015/3/31 |
2015073439 |
特許 |
ワーク加工装置 |
2015/3/31 |
2015072601 |
特許 |
形状測定装置 |
2015/3/31 |
2015071527 |
特許 |
プローバ |
2015/3/31 |
2015071935 |
特許 |
形状測定機、及びその制御方法 |
2015/3/30 |
2015069119 |
特許 |
ワーク加工装置 |
2015/3/30 |
2015069865 |
特許 |
非接触形状測定装置及び走査レンズ収差補正方法 |
2015/3/30 |
2015069271 |
特許 |
形状補正方法及び形状補正装置 |
2015/3/27 |
2018190958 |
特許 |
溝深さ検出装置及び溝深さ検出方法 |
2015/3/27 |
2015065703 |
特許 |
カーフ深さ測定装置 |
2015/3/26 |
2015065213 |
特許 |
面取り加工された基板及び液晶表示装置の製造方法 |
2015/3/25 |
2019108056 |
特許 |
研削加工装置 |
2015/3/25 |
2015062892 |
特許 |
研削加工装置 |
2015/3/25 |
2019022403 |
特許 |
筐体 |
2015/3/25 |
2015062888 |
特許 |
研削加工方法 |
2015/3/25 |
2015061986 |
特許 |
プローバ |
2015/3/24 |
2018199867 |
特許 |
プローブカード型温度センサ及びウエハチャック温度測定方法 |
2015/3/24 |
2015060931 |
特許 |
プローバ及びウエハチャック温度測定方法 |
2015/3/24 |
2015060932 |
特許 |
プローブカード型温度センサ |
2015/3/17 |
2015053168 |
特許 |
真空保持装置及びこれを用いた半導体ウェーハ研磨装置 |
2015/3/13 |
2015050335 |
特許 |
ブレード自動交換装置及びブレード自動交換方法 |
2015/3/13 |
2018195521 |
特許 |
ブレード着脱装置及びブレード着脱方法 |
2015/3/12 |
2015049384 |
特許 |
充放電試験システム、校正ユニットおよび校正方法 |
2015/3/12 |
2015049227 |
特許 |
レーザー加工装置及びレーザー加工方法 |
2015/3/9 |
2015045822 |
特許 |
ウェーハチャックの目詰まり検査装置及び検査方法 |
2015/2/27 |
2020009548 |
特許 |
洗浄装置 |
2015/2/27 |
2015039008 |
特許 |
ウェハ研磨装置 |
2015/2/27 |
2018245115 |
特許 |
移動制御装置及び位置決め制御方法 |
2015/2/27 |
2015037912 |
特許 |
プローバ及びプローブカードのプリヒート方法 |
2015/2/27 |
2015037769 |
特許 |
ダイシング装置及びダイシング装置用のテーブル |
2015/2/27 |
2015037913 |
特許 |
半導体製造装置及びその位置決め制御方法 |
2015/2/27 |
2018192749 |
特許 |
洗浄装置 |
2015/2/27 |
2015039005 |
特許 |
洗浄装置 |
2015/2/27 |
2015037911 |
特許 |
表面形状測定装置のアライメント方法 |
2015/2/26 |
2015036024 |
特許 |
研削加工装置 |
2015/2/26 |
2015036122 |
特許 |
プローバ及びウェーハ剥離方法 |
2015/2/26 |
2018155591 |
特許 |
プローバ及びウェーハ剥離方法 |
2015/2/24 |
2015034301 |
特許 |
プローバ |
2015/2/18 |
2015029536 |
特許 |
測定機の校正方法及び校正用ゲージユニット |
2015/2/18 |
2015029537 |
特許 |
プローブ装置 |
2015/2/17 |
2015028569 |
特許 |
ウエハの受け渡し装置及び方法 |
2015/1/30 |
2019038067 |
特許 |
ウェハ研削装置 |
2015/1/30 |
2015016601 |
特許 |
ウェハ研削装置及びウェハ研削方法 |
2015/1/30 |
2018232691 |
特許 |
三次元座標測定装置 |
2015/1/30 |
2015016244 |
特許 |
三次元座標測定装置 |
2015/1/30 |
2019037559 |
特許 |
収容ボックスシステム、収容ボックス及び中継ボックス |
2015/1/30 |
2015016873 |
特許 |
収容ボックスシステム |
2015/1/28 |
2015014326 |
特許 |
レーザーダイシング装置 |
2015/1/28 |
2015014321 |
特許 |
レーザーダイシング装置 |
2015/1/28 |
2015014384 |
特許 |
移設検知装置 |
2015/1/28 |
2015014383 |
特許 |
真円度測定装置 |
2015/1/28 |
2015014322 |
特許 |
レーザーダイシング装置 |
2015/1/28 |
2018245113 |
特許 |
レーザーダイシング装置 |
2015/1/28 |
2018080685 |
特許 |
レーザーダイシング装置 |
2015/1/28 |
2015014324 |
特許 |
レーザーダイシング装置及びダイシング方法 |
2015/1/28 |
2018080686 |
特許 |
位置検出装置 |
2015/1/28 |
2016103576 |
特許 |
真円度測定装置 |
2015/1/27 |
2015013527 |
特許 |
干渉計測装置及び干渉計測方法 |
2015/1/23 |
2015010979 |
特許 |
形状測定装置 |
2014/12/22 |
2014258420 |
特許 |
干渉計 |
2014/12/10 |
2014249991 |
特許 |
ウェハ分割方法及びウェハ分割装置 |
2014/12/3 |
2014244650 |
特許 |
ウェハ研削装置 |
2014/11/18 |
2014233684 |
特許 |
測定装置 |
2014/11/18 |
2014233260 |
特許 |
外径測定装置及び内径測定装置 |
2014/11/17 |
2014232431 |
特許 |
形状測定装置及び方法 |
2014/11/17 |
2014232721 |
特許 |
形状測定機及び形状測定方法 |
2014/10/22 |
2014088872 |
商標 |
Opt-Scope |
2014/10/20 |
2014213454 |
特許 |
表面形状測定装置における測定対象物アライメント方法及び表面形状測定装置 |
2014/10/16 |
2014211935 |
特許 |
計測システム、タッチプローブ、及び受信ユニット |
2014/10/16 |
2017041712 |
特許 |
計測システム |
2014/10/16 |
2018178869 |
特許 |
計測システム |
2014/10/6 |
2019186920 |
特許 |
撮像装置及び加工制御システム |
2014/10/6 |
2018245114 |
特許 |
撮像装置 |
2014/10/6 |
2014205913 |
特許 |
ダイシング装置 |
2014/9/26 |
2014196312 |
特許 |
表面粗さ測定機 |
2014/9/16 |
2014188132 |
特許 |
ウェハプローバ装置 |
2014/8/26 |
2015534227 |
特許 |
ダイシングブレード |
2014/7/22 |
2014148950 |
特許 |
距離測定装置、及び距離測定方法 |
2014/7/22 |
2014148873 |
特許 |
距離測定装置、及び距離測定方法 |
2014/7/15 |
2014145076 |
特許 |
多点距離測定装置及び方法並びに形状測定装置 |
2014/7/15 |
2014145263 |
特許 |
3次元座標測定装置及び3次元座標測定方法 |
2014/7/10 |
2019055577 |
特許 |
距離測定装置、および距離測定方法 |
2014/7/10 |
2014142561 |
特許 |
距離測定装置、および距離測定方法 |
2014/7/5 |
2014139215 |
特許 |
距離測定装置及び距離測定方法 |
2014/6/12 |
2014121121 |
特許 |
多点距離測定装置及び形状測定装置 |
2014/5/22 |
2014106204 |
特許 |
三次元測定機、及びこれを用いた形状測定方法 |
2014/4/25 |
2015506425 |
特許 |
形状測定機 |
2014/4/25 |
2015040964 |
特許 |
形状測定・校正装置 |
2014/4/25 |
2015149953 |
特許 |
形状測定・校正装置 |
2014/4/25 |
2015149955 |
特許 |
形状測定機 |
2014/4/25 |
2015149954 |
特許 |
形状測定機 |
2014/4/25 |
2015224462 |
特許 |
形状測定・校正装置 |
2014/4/11 |
2014082281 |
特許 |
充放電試験装置の校正ユニット |
2014/3/31 |
2014072620 |
特許 |
3次元座標測定装置及び方法、並びに校正装置 |
2014/3/31 |
2014073356 |
特許 |
ウエハマーキング・研削装置及びウエハマーキング・研削方法 |
2014/3/31 |
2014071515 |
特許 |
距離測定システム、距離測定装置、及び距離測定方法 |
2014/3/31 |
2014073010 |
特許 |
温度測定装置及び温度測定方法 |
2014/3/28 |
2019021486 |
特許 |
半導体製造装置及び半導体の製造方法 |
2014/3/28 |
2014067433 |
特許 |
半導体製造装置及び半導体の製造方法 |
2014/3/28 |
2014067440 |
特許 |
半導体製造装置及び半導体の製造方法 |
2014/3/14 |
2014051832 |
特許 |
測定機の校正方法及びその装置 |
2014/3/14 |
2015093577 |
特許 |
双方向変位検出器 |
2014/3/14 |
2014052678 |
特許 |
双方向変位検出器 |
2014/3/11 |
2014048215 |
特許 |
電池用ケースのうねり検査方法 |
2014/3/7 |
2014044817 |
特許 |
通電チャッキング耐久試験装置 |
2014/3/6 |
2014043982 |
特許 |
レーザーダイシング装置及びレーザーダイシング方法 |
2014/3/5 |
2014042246 |
特許 |
コンタクト位置制御方法 |
2014/3/3 |
2014040200 |
特許 |
2色干渉計測装置 |
2014/2/27 |
2014037154 |
特許 |
光学式エンコーダ |
2014/2/20 |
2014030408 |
特許 |
光信号生成装置、距離測定装置、分光特性測定装置、周波数特性測定装置及び光信号生成方法 |
2014/2/19 |
2017248771 |
特許 |
半導体の製造方法及び半導体製造装置 |
2014/2/19 |
2014029117 |
特許 |
半導体の製造方法及び半導体製造装置 |
2014/2/19 |
2015502881 |
特許 |
プローブ装置のアライメント支援装置及びアライメント支援方法 |
2014/2/19 |
2016100698 |
特許 |
プローブ装置及びプローブ方法 |
2014/2/19 |
2015502880 |
特許 |
プローブ装置 |
2014/2/19 |
2015202942 |
特許 |
プローブ装置 |
2014/2/19 |
2016025931 |
特許 |
プローブ装置及びプローブ方法 |
2014/2/14 |
2014026369 |
特許 |
接触抵抗測定システム |
2014/2/5 |
2014020717 |
特許 |
距離測定装置、及び距離測定方法 |
2014/1/31 |
2017093284 |
特許 |
プローバ |
2014/1/31 |
2014016286 |
特許 |
プローバ |
2014/1/27 |
2014011978 |
特許 |
ウエハ研削装置及びウエハ製造方法 |
2014/1/23 |
2014010431 |
特許 |
ステージの位置制御装置及び方法 |
2014/1/23 |
2017133488 |
特許 |
ステージの位置制御装置 |
2014/1/22 |
2014009617 |
特許 |
ウェハ研磨装置 |
2014/1/21 |
2014008441 |
特許 |
切削装置 |
2014/1/21 |
2017172194 |
特許 |
液体カーテン形成装置 |
2014/1/7 |
2014000510 |
商標 |
Opt-measure |
2013/12/25 |
2013267186 |
特許 |
ウェーハ研磨装置 |
2013/12/18 |
2013261483 |
特許 |
電鋳ブレード |
2013/12/18 |
2013261235 |
特許 |
接触不良を検出する充放電試験装置 |
2013/12/16 |
2017179996 |
特許 |
ウェーハ受け渡し装置 |
2013/12/16 |
2013258955 |
特許 |
ウェーハ搬送システム |
2013/12/16 |
2013258956 |
特許 |
ウェーハ受け渡し装置 |
2013/12/16 |
2013258954 |
特許 |
レーザダイシング方法 |
2013/12/10 |
2013254597 |
特許 |
プローバシステム |
2013/11/29 |
2013247789 |
特許 |
3次元測定機 |
2013/11/29 |
2019006690 |
特許 |
3次元測定機 |
2013/11/29 |
2018001758 |
特許 |
3次元測定機 |
2013/11/27 |
2013245279 |
特許 |
ダイシング装置及びその切削方法 |
2013/11/26 |
2013244104 |
特許 |
基板の洗浄方法及び洗浄装置 |
2013/11/21 |
2013240885 |
特許 |
プローバ |
2013/11/21 |
2013091273 |
商標 |
ドレスプレート\DRESSPLATE |
2013/11/21 |
2013091272 |
商標 |
ドレッサープレート\DRESSERPLATE |
2013/11/19 |
2013239190 |
特許 |
切断用ブレード及びその製造方法 |
2013/11/19 |
2013238691 |
特許 |
光学式エンコーダ |
2013/11/15 |
2017105338 |
特許 |
目立て用工具 |
2013/11/15 |
2013237289 |
特許 |
切断用ブレード |
2013/11/15 |
2013237302 |
特許 |
目立て用工具 |
2013/11/15 |
2017081451 |
特許 |
切断用ブレード |
2013/11/12 |
2013234248 |
特許 |
ダイシング装置及びその切削方法 |
2013/11/8 |
2013231644 |
特許 |
半導体基板の研削装置 |
2013/10/23 |
2013220599 |
特許 |
ダイシング装置 |
2013/10/18 |
2013217444 |
特許 |
電子デバイスのプロービング装置及びプロービング方法 |
2013/10/18 |
2015035859 |
特許 |
電子デバイスのプロービング装置及びプロービング方法 |
2013/10/11 |
2017131976 |
特許 |
レーザ周波数安定化方法及びその装置 |
2013/10/11 |
2013213752 |
特許 |
レーザ周波数安定化方法及びその装置 |
2013/10/11 |
2013213751 |
特許 |
2波長正弦波位相変調干渉計 |
2013/10/10 |
2013212978 |
特許 |
三次元測定機を用いた円測定方法 |
2013/10/10 |
2017136262 |
特許 |
三次元測定機を用いた円測定方法 |
2013/10/9 |
2013211894 |
特許 |
ダイシング装置 |
2013/9/26 |
2013200288 |
特許 |
真円度測定装置 |
2013/9/24 |
2013197241 |
特許 |
真円度測定機 |
2013/9/20 |
2013195580 |
特許 |
レーザーダイシング装置及びレーザーダイシング方法 |
2013/9/20 |
2018005718 |
特許 |
レーザーダイシング装置及びレーザーダイシング方法 |
2013/9/19 |
2013193870 |
特許 |
非接触計測装置 |
2013/9/13 |
2013190629 |
特許 |
切削ブレードのツルーイング方法及び装置 |
2013/9/11 |
2013187937 |
特許 |
測定機の昇降装置 |
2013/9/11 |
2017034705 |
特許 |
昇降装置 |
2013/9/5 |
2013069307 |
商標 |
Surfcom Crest |
2013/9/3 |
2013182305 |
特許 |
充放電試験装置 |
2013/8/19 |
2013169674 |
特許 |
自動清掃ユニット及び充放電試験システム |
2013/8/14 |
2013168586 |
特許 |
プローブ装置及びプローブ方法 |
2013/8/13 |
2013168196 |
特許 |
イオン抽出装置及びイオン抽出方法 |
2013/8/6 |
2013163030 |
特許 |
レーザトラッカ |
2013/7/19 |
2013056037 |
商標 |
VEGADB |
2013/6/29 |
2013137616 |
特許 |
エンコーダ |
2013/6/14 |
2015096460 |
特許 |
ダイシング装置及びダイシング方法 |
2013/6/12 |
2018216208 |
特許 |
ウエハ面取り装置 |
2013/6/12 |
2013124243 |
特許 |
ウエハ面取り装置 |
2013/5/30 |
2013113970 |
特許 |
ワーク分割装置及びワーク分割方法 |
2013/5/28 |
2013112252 |
特許 |
ウェーハの検査方法 |
2013/5/24 |
2013109713 |
特許 |
温度制御装置 |
2013/5/24 |
2017081990 |
特許 |
温度制御装置 |
2013/5/24 |
2013110113 |
特許 |
ウェーハ研磨装置 |
2013/4/24 |
2014505300 |
特許 |
ダイシングブレード |
2013/4/24 |
2014236666 |
特許 |
ダイシングブレード |
2013/4/24 |
2015112414 |
特許 |
ダイシングブレード |
2013/4/24 |
2015018699 |
特許 |
ダイシングブレード |
2013/4/15 |
2016253763 |
特許 |
エッジ検出装置 |
2013/4/15 |
2013084651 |
特許 |
エッジ検出装置 |
2013/4/11 |
2017128895 |
特許 |
三次元測定機 |
2013/4/11 |
2013083128 |
特許 |
測定機、及び、測定機の移動ガイド機構 |
2013/4/11 |
2020009852 |
特許 |
三次元測定機 |
2013/4/11 |
2018154107 |
特許 |
三次元測定機 |
2013/3/27 |
2013067324 |
特許 |
半導体ウエハマッピング方法及び半導体ウエハのレーザ加工方法 |
2013/3/25 |
2013061586 |
特許 |
白色干渉測定方法及び白色干渉測定装置 |
2013/3/4 |
2013042106 |
特許 |
充放電試験システムおよび校正ユニット |
2013/2/25 |
2016253764 |
特許 |
エッジ検出装置 |
2013/2/25 |
2013034503 |
特許 |
エッジ検出装置 |
2013/2/22 |
2013032983 |
特許 |
充放電試験システム |
2013/2/12 |
2013558688 |
特許 |
回転角度測定装置及び回転角度測定方法 |
2013/2/12 |
2017023932 |
特許 |
回転角度測定装置及び回転角度測定方法 |
2013/2/12 |
2013024486 |
特許 |
回転角度測定装置及び回転角度測定方法 |
2013/2/1 |
2015022009 |
特許 |
位置決め固定装置 |
2013/2/1 |
2013018213 |
特許 |
プローバ及びプローブ検査方法 |
2013/2/1 |
2014250650 |
特許 |
測定装置及び測定方法 |