2022/10/20 |
2022022684 |
意匠 |
サセプタ |
2022/10/20 |
2022022686 |
意匠 |
サセプタ用カバーベース |
2022/10/20 |
2022022682 |
意匠 |
サセプタカバー |
2022/10/20 |
2022022683 |
意匠 |
半導体ウェハ及びサセプタ加熱用ヒータ |
2022/10/20 |
2022022685 |
意匠 |
サセプタ |
2022/2/18 |
2022003102 |
意匠 |
半導体製造装置用トラップの部品 |
2021/10/22 |
2021022981 |
意匠 |
サセプタリング |
2021/10/22 |
2021022982 |
意匠 |
サセプタカバー |
2021/8/18 |
2021017778 |
意匠 |
リフレクタ |
2021/5/25 |
2021011039 |
意匠 |
トッププレート |
2021/3/12 |
2021005051 |
意匠 |
リフレクタ |
2020/12/10 |
2020026580 |
意匠 |
トッププレート |
2020/12/10 |
2020026581 |
意匠 |
カバーリング |
2020/4/22 |
2021518340 |
特許 |
気相成長方法及び気相成長装置 |
2020/4/8 |
2021514909 |
特許 |
SiCエピタキシャル成長装置 |
2019/11/12 |
2019204800 |
特許 |
半導体装置 |
2019/8/20 |
2019150243 |
特許 |
荷電粒子ビーム装置および真空用配管 |
2019/7/25 |
2019137072 |
特許 |
マルチビーム描画方法及びマルチビーム描画装置 |
2019/7/11 |
2019129422 |
特許 |
マルチビーム描画方法及びマルチビーム描画装置 |
2019/7/8 |
2019127076 |
特許 |
検査装置及び検査方法 |
2019/7/2 |
2019123994 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム画像取得装置およびマルチ荷電粒子ビーム画像取得方法 |
2019/6/28 |
2019121985 |
特許 |
マルチ電子ビーム画像取得装置及びマルチ電子ビーム画像取得方法 |
2019/6/18 |
2019112525 |
特許 |
マルチ電子ビーム照射装置、マルチ電子ビーム照射方法、及びマルチ電子ビーム検査装置 |
2019/6/14 |
2019111319 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2019/6/14 |
2019111579 |
特許 |
マルチビーム検査装置 |
2019/6/14 |
2019111580 |
特許 |
検査装置 |
2019/5/8 |
2019088439 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 |
2019/5/8 |
2019088437 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 |
2019/4/22 |
2019081222 |
特許 |
マルチ電子ビーム偏向器及びマルチビーム画像取得装置 |
2019/4/16 |
2019077792 |
特許 |
荷電粒子発生装置 |
2019/4/11 |
2019075739 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2019/4/9 |
2019074110 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及びアパーチャ |
2019/4/9 |
2019074272 |
特許 |
ステージ装置 |
2019/3/6 |
2019041027 |
特許 |
マルチ電子ビーム検査装置及びマルチ電子ビーム検査方法 |
2019/3/1 |
2019037984 |
特許 |
気相成長装置 |
2019/2/27 |
2019034559 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 |
2019/2/18 |
2019026163 |
特許 |
マルチ電子ビーム検出器、マルチ電子ビーム検出器の製造方法、及びマルチ電子ビーム検査装置 |
2019/2/14 |
2019024764 |
特許 |
描画装置および描画方法 |
2019/2/12 |
2019022938 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2019/2/8 |
2019021742 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2019/1/31 |
2019015460 |
特許 |
試料検査装置及び試料検査方法 |
2019/1/24 |
2019010353 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置 |
2019/1/22 |
2019008202 |
特許 |
マルチ電子ビーム照射装置、マルチ電子ビーム検査装置、及びマルチ電子ビーム照射方法 |
2019/1/18 |
2019007370 |
特許 |
マルチ電子ビーム照射装置、マルチ電子ビーム検査装置及びマルチ電子ビーム照射方法 |
2018/12/27 |
2018245587 |
特許 |
観察または測定装置、及び、観察または測定方法 |
2018/12/7 |
2018229825 |
特許 |
連続成膜方法、連続成膜装置、サセプタユニット、及びサセプタユニットに用いられるスペーサセット |
2018/12/4 |
2018227658 |
特許 |
マルチ電子ビーム検査装置 |
2018/12/4 |
2018227659 |
特許 |
検査装置 |
2018/11/29 |
2018223798 |
特許 |
セトリング時間の取得方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2018/11/19 |
2018216474 |
特許 |
パターン検査装置及びパターン検査方法 |
2018/11/15 |
2018214574 |
特許 |
パターン検査装置及びパターン検査方法 |
2018/11/15 |
2018214428 |
特許 |
マルチ電子ビーム検査装置及びマルチ電子ビーム検査方法 |
2018/11/9 |
2018211261 |
特許 |
気相成長装置 |
2018/10/30 |
2018204059 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置およびマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2018/10/25 |
2018200897 |
特許 |
マルチビームの個別ビーム検出器、マルチビーム照射装置、及びマルチビームの個別ビーム検出方法 |
2018/10/15 |
2018194505 |
特許 |
描画データ生成方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2018/10/12 |
2018193816 |
特許 |
電子銃及び電子線装置 |
2018/10/11 |
2018192684 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2018/10/1 |
2018186473 |
特許 |
荷電粒子ビーム装置 |
2018/10/1 |
2018186348 |
特許 |
検査方法および検査装置 |
2018/9/28 |
2018184856 |
特許 |
パターン検査装置及び参照画像の作成方法 |
2018/9/26 |
2018180819 |
特許 |
検査方法および検査装置 |
2018/9/19 |
2018175432 |
特許 |
半導体装置 |
2018/9/18 |
2018173891 |
特許 |
マスク検査装置及びマスク検査方法 |
2018/9/3 |
2018164862 |
特許 |
荷電粒子装置 |
2018/8/31 |
2018163839 |
特許 |
異常判定方法および描画装置 |
2018/8/29 |
2018160592 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2018/8/10 |
2018151710 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2018/8/8 |
2019539147 |
特許 |
気相成長装置、及び、気相成長方法 |
2018/8/3 |
2018147234 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2018/8/2 |
2018146121 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2018/7/27 |
2018141419 |
特許 |
検査装置 |
2018/7/18 |
2018135232 |
特許 |
描画データ生成方法、プログラム、及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2018/7/6 |
2018129251 |
特許 |
照射量補正量の取得方法、荷電粒子ビーム描画方法、及び荷電粒子ビーム描画装置 |
2018/6/27 |
2018122081 |
特許 |
荷電粒子ビーム画像取得装置 |
2018/6/21 |
2018117896 |
特許 |
ドライ洗浄装置及び、そのドライ洗浄方法 |
2018/6/20 |
2018117267 |
特許 |
気相成長装置 |
2018/6/8 |
2018110463 |
特許 |
データ処理方法、データ処理装置、及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2018/6/5 |
2018107830 |
特許 |
クリーニング装置 |
2018/6/4 |
2018107009 |
特許 |
真空装置 |
2018/6/1 |
2018106526 |
特許 |
電子ビーム検査装置及び電子ビーム検査方法 |
2018/5/31 |
2018105030 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びその調整方法 |
2018/5/28 |
2018101372 |
特許 |
ケーブル固定具及びケーブル固定具を備える移動ステージ装置 |
2018/5/24 |
2018099831 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置、マルチ荷電粒子ビーム描画装置用ブランキングアパーチャアレイ、マルチ荷電粒子ビーム描画装置の運用方法、及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2018/5/24 |
2018099312 |
特許 |
マルチ電子ビーム画像取得装置及びマルチ電子ビーム光学系の位置決め方法 |
2018/5/22 |
2018098297 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム検査装置及びマルチ荷電粒子ビーム検査方法 |
2018/5/22 |
2018098298 |
特許 |
電子ビーム照射方法、電子ビーム照射装置、及びプログラム |
2018/5/16 |
2018094858 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2018/5/15 |
2018093885 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2018/4/25 |
2018084213 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2018/4/12 |
2018076787 |
特許 |
パターン検査装置 |
2018/3/29 |
2018064445 |
特許 |
荷電粒子ビーム照射装置 |
2018/3/29 |
2018063857 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2018/3/29 |
2018063810 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2018/3/28 |
2018062471 |
特許 |
アパーチャ部材及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2018/3/8 |
2018042048 |
特許 |
検査装置、検査方法、及びプログラム |
2018/3/6 |
2018040165 |
特許 |
パターン検査方法及びパターン検査装置 |
2018/3/6 |
2018039615 |
特許 |
電子ビーム検査装置及び電子ビーム走査のスキャン順序取得方法 |
2018/3/1 |
2018036075 |
特許 |
可変成形型荷電粒子ビーム照射装置及び可変成形型荷電粒子ビーム照射方法 |
2018/3/1 |
2018036381 |
特許 |
気相成長方法 |
2018/2/21 |
2018028553 |
特許 |
荷電粒子ビーム検査方法 |
2018/2/8 |
2018021350 |
特許 |
検査装置および検査方法 |
2018/1/31 |
2018015846 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 |
2018/1/16 |
2018005160 |
特許 |
成膜装置および成膜方法 |
2018/1/11 |
2018002957 |
特許 |
マルチビーム検査装置 |
2018/1/10 |
2018001782 |
特許 |
アパーチャのアライメント方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2017/12/26 |
2017249436 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置 |
2017/12/22 |
2017245903 |
特許 |
マルチビーム画像取得装置及びマルチビーム画像取得方法 |
2017/12/21 |
2017244773 |
特許 |
カソード |
2017/12/15 |
2017240731 |
特許 |
半導体装置の製造方法 |
2017/12/14 |
2017239397 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2017/12/14 |
2017239396 |
特許 |
マルチビーム用アパーチャセット |
2017/12/7 |
2017235482 |
特許 |
カソード形成方法 |
2017/11/10 |
2017217013 |
特許 |
パターン検査装置及びパターン検査方法 |
2017/11/2 |
2017212783 |
特許 |
集塵装置 |
2017/11/2 |
2017213139 |
特許 |
パターン検査方法およびパターン検査装置 |
2017/10/27 |
2017208463 |
特許 |
描画装置およびその制御方法 |
2017/10/25 |
2017206280 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2017/10/20 |
2017203668 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2017/10/20 |
2017203667 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2017/9/29 |
2017190882 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2017/9/28 |
2017187690 |
特許 |
電子ビーム画像取得装置および電子ビーム画像取得方法 |
2017/9/28 |
2017188995 |
特許 |
検査方法および検査装置 |
2017/9/21 |
2017181808 |
特許 |
荷電粒子ビーム装置及び荷電粒子ビームの位置ずれ補正方法 |
2017/9/21 |
2017181809 |
特許 |
電子ビーム装置及び電子ビームの位置ずれ補正方法 |
2017/9/20 |
2017180067 |
特許 |
描画データ生成方法、プログラム、マルチ荷電粒子ビーム描画装置、及びパターン検査装置 |
2017/9/13 |
2017175848 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及びブランキング回路の故障診断方法 |
2017/9/11 |
2017174119 |
特許 |
荷電粒子装置、荷電粒子描画装置および荷電粒子ビーム制御方法 |
2017/9/11 |
2017173834 |
特許 |
半導体装置及びその製造方法 |
2017/8/30 |
2017165423 |
特許 |
気相成長方法 |
2017/8/25 |
2017162076 |
特許 |
パターン検査装置及びパターン検査方法 |
2017/8/10 |
2017155470 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2017/8/10 |
2017155374 |
特許 |
画像取得装置の光学系調整方法 |
2017/8/4 |
2017151690 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2017/8/2 |
2017149854 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2017/7/28 |
2017146953 |
特許 |
検査装置 |
2017/7/28 |
2017146751 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2017/7/18 |
2017138883 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2017/7/18 |
2017139347 |
特許 |
パターン検査方法およびパターン検査装置 |
2017/7/11 |
2017135506 |
特許 |
マルチビーム検査用アパーチャ、マルチビーム用ビーム検査装置、及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2017/6/29 |
2017127431 |
特許 |
導通接点針 |
2017/6/22 |
2017121996 |
特許 |
半導体装置 |
2017/6/19 |
2017119850 |
特許 |
偏光イメージ取得装置、パターン検査装置、偏光イメージ取得方法、及びパターン検査方法 |
2017/6/14 |
2017116910 |
特許 |
データ処理方法、荷電粒子ビーム描画装置、及び荷電粒子ビーム描画システム |
2017/6/7 |
2017112753 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム調整方法 |
2017/6/6 |
2017111983 |
特許 |
検査方法および検査装置 |
2017/6/2 |
2017110175 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2017/5/30 |
2017106588 |
特許 |
描画装置および描画方法 |
2017/5/30 |
2017106795 |
特許 |
気相成長装置及び気相成長方法 |
2017/5/25 |
2017103778 |
特許 |
パターン検査装置及びパターン検査方法 |
2017/5/23 |
2017101451 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 |
2017/4/21 |
2017084618 |
特許 |
検査方法 |
2017/4/19 |
2017082861 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2017/4/6 |
2017076216 |
特許 |
成長速度測定装置および成長速度検出方法 |
2017/3/30 |
2017067617 |
特許 |
電子ビーム照射装置及び電子ビームのダイナミックフォーカス調整方法 |
2017/3/15 |
2017050094 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 |
2017/3/9 |
2017044533 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置 |
2017/3/8 |
2017043971 |
特許 |
マップ作成方法、マスク検査方法およびマスク検査装置 |
2017/2/24 |
2017033439 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びその調整方法 |
2017/2/22 |
2017031347 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画方法およびマルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2017/2/2 |
2017009938 |
商標 |
MBM |
2017/1/26 |
2017012459 |
特許 |
ステージ機構の位置補正方法及び荷電粒子ビーム描画装置 |
2016/12/28 |
2016255362 |
特許 |
マルチビーム用アパーチャセット及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2016/12/22 |
2016249229 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置およびマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2016/12/13 |
2016241426 |
特許 |
ブランキングアパーチャアレイ装置および荷電粒子ビーム描画装置 |
2016/12/8 |
2016238500 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム露光方法及びマルチ荷電粒子ビーム露光装置 |
2016/12/8 |
2016238499 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置およびマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2016/12/8 |
2016238803 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム露光装置およびマルチ荷電粒子ビーム露光方法 |
2016/12/7 |
2016137683 |
商標 |
§NUFLARE |
2016/12/6 |
2016236419 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2016/12/6 |
2016236860 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びその調整方法 |
2016/12/6 |
2016236420 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2016/11/16 |
2016223561 |
特許 |
成膜装置 |
2016/11/16 |
2016223573 |
特許 |
成膜装置 |
2016/11/9 |
2016218841 |
特許 |
マルチビーム光学系の調整方法 |
2016/11/7 |
2016217151 |
特許 |
パターン検査方法及びパターン検査装置 |
2016/10/31 |
2016213499 |
特許 |
成膜装置および成膜方法 |
2016/10/28 |
2016211750 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2016/10/26 |
2016209573 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2016/10/26 |
2016209987 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2016/10/26 |
2016209897 |
特許 |
検査装置および変位量検出方法 |
2016/10/26 |
2016209664 |
特許 |
偏光イメージ取得装置、パターン検査装置、偏光イメージ取得方法、及びパターン検査方法 |
2016/10/25 |
2016208600 |
特許 |
気相成長装置、環状ホルダ、及び、気相成長方法 |
2016/10/18 |
2016204503 |
特許 |
マルチビーム焦点調整方法およびマルチビーム焦点測定方法 |
2016/10/13 |
2016201835 |
特許 |
荷電粒子ビームの分解能測定方法及び荷電粒子ビーム描画装置 |
2016/10/11 |
2016200163 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2016/9/26 |
2016186687 |
特許 |
成膜装置及び成膜方法 |
2016/9/26 |
2016186897 |
特許 |
基板処理装置、搬送方法およびサセプタ |
2016/9/26 |
2016187520 |
特許 |
気相成長速度測定装置、気相成長装置および成長速度検出方法 |
2016/9/14 |
2016179664 |
特許 |
成膜装置、および成膜方法 |
2016/9/9 |
2016176933 |
特許 |
ブランキングアパーチャアレイ装置、荷電粒子ビーム描画装置、および電極テスト方法 |
2016/9/5 |
2016172750 |
特許 |
評価方法、補正方法、プログラム、及び電子線描画装置 |
2016/9/1 |
2016171047 |
特許 |
描画データの作成方法 |
2016/8/29 |
2016167132 |
特許 |
気相成長方法 |
2016/8/25 |
2016165061 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム露光装置 |
2016/8/24 |
2016163389 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2016/8/19 |
2016161276 |
特許 |
マスク検査方法 |
2016/7/29 |
2016150037 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 |
2016/7/29 |
2016149640 |
特許 |
クリーニング装置およびクリーニング方法 |
2016/7/27 |
2016146962 |
特許 |
荷電粒子ビーム検査装置及び荷電粒子ビーム検査方法 |
2016/7/25 |
2016145619 |
特許 |
電子ビーム検査装置及び電子ビーム検査方法 |
2016/7/19 |
2016141737 |
特許 |
パターン検査装置 |
2016/7/12 |
2016137692 |
特許 |
電子ビーム描画装置及び電子ビーム描画方法 |
2016/7/4 |
2016132690 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2016/7/1 |
2016131993 |
特許 |
合焦装置、合焦方法、及びパターン検査方法 |
2016/6/23 |
2016124870 |
特許 |
伝熱板および描画装置 |
2016/6/17 |
2016066103 |
商標 |
§NUFLARE∞NFTbook |
2016/6/9 |
2016115479 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びその調整方法 |
2016/6/3 |
2016112085 |
特許 |
検査方法 |
2016/6/3 |
2016112198 |
特許 |
検査方法 |
2016/6/3 |
2016111997 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム露光方法及びマルチ荷電粒子ビーム露光装置 |
2016/6/1 |
2016110057 |
特許 |
パターン検査装置及びパターン検査方法 |
2016/5/31 |
2016108726 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビームのブランキング装置及びマルチ荷電粒子ビーム照射装置 |
2016/4/28 |
2016091388 |
特許 |
パターン欠陥検査方法およびパターン欠陥検査装置 |
2016/4/28 |
2016090747 |
特許 |
パターン検査方法及びパターン検査装置 |
2016/4/28 |
2016090845 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2016/4/26 |
2016088431 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム照射装置、マルチ荷電粒子ビームの照射方法及びマルチ荷電粒子ビームの調整方法 |
2016/4/21 |
2016085369 |
特許 |
荷電粒子ビーム装置 |
2016/4/19 |
2016083411 |
特許 |
シャワープレート、気相成長装置及び気相成長方法 |
2016/4/18 |
2016083002 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2016/4/15 |
2016081880 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム露光方法及びマルチ荷電粒子ビームのブランキング装置 |
2016/3/25 |
2016062227 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 |
2016/3/8 |
2016044092 |
特許 |
パターン検査装置及びパターン検査方法 |
2016/3/1 |
2016039270 |
特許 |
成膜装置 |
2016/2/23 |
2016032156 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2016/2/23 |
2016032249 |
特許 |
診断方法、荷電粒子ビーム描画装置、及びプログラム |
2016/2/22 |
2016031170 |
特許 |
検査装置及び検査方法 |
2016/2/9 |
2016022951 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置 |
2016/1/29 |
2016016125 |
特許 |
ヒータおよびこれを用いた半導体製造装置 |
2016/1/19 |
2016008017 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム露光方法及びマルチ荷電粒子ビーム露光装置 |
2016/1/18 |
2016007206 |
特許 |
パターン検査装置 |
2016/1/18 |
2016007308 |
特許 |
マスク検査方法およびマスク検査装置 |
2016/1/18 |
2016007329 |
特許 |
マスク検査方法およびマスク検査装置 |
2016/1/8 |
2016002676 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2016/1/5 |
2016000563 |
特許 |
描画データ作成方法 |
2015/12/22 |
2015249309 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム装置 |
2015/12/10 |
2015241287 |
特許 |
データ処理方法、データ処理プログラム、荷電粒子ビーム描画方法、及び荷電粒子ビーム描画装置 |
2015/11/25 |
2015229833 |
特許 |
アパーチャのアライメント方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2015/11/18 |
2015225453 |
特許 |
荷電粒子ビームの照射量補正用パラメータの取得方法、荷電粒子ビーム描画方法、及び荷電粒子ビーム描画装置 |
2015/11/6 |
2015218287 |
特許 |
偏光イメージ取得装置、パターン検査装置、及び偏光イメージ取得方法 |
2015/11/5 |
2015217962 |
特許 |
検査装置および検査方法 |
2015/11/5 |
2015217593 |
特許 |
シャワープレート、気相成長装置および気相成長方法 |
2015/11/2 |
2015216089 |
特許 |
パターン検査装置 |
2015/10/28 |
2015211998 |
特許 |
パターン検査方法及びパターン検査装置 |
2015/10/27 |
2015211020 |
特許 |
温度測定マスクおよび温度測定方法 |
2015/10/27 |
2015211244 |
特許 |
検査方法および検査装置 |
2015/10/20 |
2015206464 |
特許 |
支持ケース及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2015/10/8 |
2015200418 |
特許 |
ステージ装置および荷電粒子ビーム描画装置 |
2015/10/5 |
2015197623 |
特許 |
検査装置および検査方法 |
2015/10/2 |
2015196919 |
特許 |
位置ずれ検出装置、気相成長装置および位置ずれ検出方法 |
2015/10/1 |
2015196137 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2015/9/14 |
2015180370 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2015/9/1 |
2015171781 |
特許 |
オゾン供給装置、オゾン供給方法、荷電粒子ビーム描画システム、および荷電粒子ビーム描画方法 |
2015/8/28 |
2015168860 |
特許 |
気相成長装置及び気相成長方法 |
2015/8/28 |
2019153867 |
特許 |
気相成長装置及び気相成長方法 |
2015/8/27 |
2015167674 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビームのブランキング装置の検査方法 |
2015/8/27 |
2015167673 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビームのブランキング装置、マルチ荷電粒子ビーム描画装置、及びマルチ荷電粒子ビームの不良ビーム遮蔽方法 |
2015/8/11 |
2015158747 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2015/7/31 |
2019205554 |
特許 |
パターン検査装置及びパターン検査方法 |
2015/7/31 |
2015151655 |
特許 |
パターン検査装置及びパターン検査方法 |
2015/7/28 |
2015148735 |
特許 |
電子源のクリーニング方法及び電子ビーム描画装置 |
2015/7/28 |
2015148976 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム用のブランキング装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2015/7/16 |
2015142262 |
特許 |
描画データ作成方法及び荷電粒子ビーム描画装置 |
2015/7/16 |
2015142257 |
特許 |
描画データの作成方法 |
2015/7/10 |
2015138853 |
特許 |
データ生成装置、エネルギービーム描画装置、及びエネルギービーム描画方法 |
2015/7/6 |
2015135407 |
特許 |
気相成長方法および気相成長装置 |
2015/6/15 |
2015120206 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 |
2015/6/15 |
2015120548 |
特許 |
検査方法およびテンプレート |
2015/5/27 |
2019142543 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2015/5/19 |
2015101953 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2015/5/13 |
2015097891 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置、及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2015/4/28 |
2015091846 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2015/4/21 |
2015087042 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2015/4/20 |
2015086014 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2015/4/20 |
2015086013 |
特許 |
ビームドリフト量の測定方法 |
2015/4/17 |
2015085085 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2015/4/10 |
2015081146 |
特許 |
気相成長方法 |
2015/4/10 |
2015081147 |
特許 |
気相成長方法 |
2015/4/10 |
2015080824 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2015/4/1 |
2015075454 |
特許 |
検査方法、テンプレート基板およびフォーカスオフセット方法 |
2015/4/1 |
2015075259 |
特許 |
検査方法および検査装置 |
2015/3/31 |
2015073512 |
特許 |
撮像装置、検査装置および検査方法 |
2015/3/26 |
2015064281 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2015/3/20 |
2018196856 |
特許 |
曲率測定装置及び曲率測定方法 |
2015/3/20 |
2015058132 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置、荷電粒子ビームのビーム分解能測定方法、及び荷電粒子ビーム描画装置の調整方法 |
2015/3/20 |
2015057144 |
特許 |
曲率測定装置及び曲率測定方法 |
2015/3/16 |
2015005626 |
意匠 |
加熱器 |
2015/3/12 |
2015049580 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2015/3/9 |
2015046478 |
特許 |
検査装置 |
2015/2/25 |
2015035796 |
特許 |
線幅誤差取得方法、線幅誤差取得装置および検査システム |
2015/1/21 |
2015009641 |
特許 |
エネルギービーム描画装置の描画データ作成方法 |
2015/1/19 |
2015008109 |
特許 |
欠陥検査装置 |
2015/1/19 |
2015007880 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム像の回転角測定方法、マルチ荷電粒子ビーム像の回転角調整方法、及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2015/1/19 |
2015007879 |
特許 |
パターン検査方法 |
2015/1/8 |
2015002623 |
特許 |
検査方法 |
2014/12/22 |
2014259469 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2014/12/19 |
2014257024 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2014/12/18 |
2014255808 |
特許 |
気相成長装置および気相成長方法 |
2014/12/17 |
2014254658 |
特許 |
気相成長装置及び気相成長方法 |
2014/12/15 |
2014252961 |
特許 |
検査方法および検査装置 |
2014/12/2 |
2014244000 |
特許 |
マルチビームのブランキングアパーチャアレイ装置、及びマルチビームのブランキングアパーチャアレイ装置の製造方法 |
2014/11/28 |
2014240857 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2014/11/20 |
2014235901 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2014/11/7 |
2014227547 |
特許 |
気相成長装置、貯留容器および気相成長方法 |
2014/11/7 |
2014227546 |
特許 |
気相成長装置および気相成長方法 |
2014/11/7 |
2014227431 |
特許 |
気相成長方法および気相成長装置 |
2014/10/21 |
2014214314 |
特許 |
描画データ検証方法、プログラム、及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2014/10/20 |
2014213906 |
特許 |
放射温度計及び温度測定方法 |
2014/10/8 |
2014207255 |
特許 |
基板カバー |
2014/10/8 |
2019084261 |
特許 |
描画データ生成方法、プログラム、マルチ荷電粒子ビーム描画装置、及びパターン検査装置 |
2014/10/3 |
2014204873 |
特許 |
ブランキングアパーチャアレイ及び荷電粒子ビーム描画装置 |
2014/10/1 |
2014203185 |
特許 |
半導体製造装置 |
2014/9/29 |
2014081798 |
商標 |
NuFlare, Beyond The Leading Edge |
2014/9/24 |
2014193431 |
特許 |
基板処理装置 |
2014/9/19 |
2014191659 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビームのビーム位置測定方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2014/9/10 |
2014184658 |
特許 |
試料高さ検出装置およびパターン検査システム |
2014/9/4 |
2014180693 |
特許 |
検査方法 |
2014/9/3 |
2014179657 |
特許 |
電子銃装置 |
2014/8/25 |
2014170659 |
特許 |
異常検出方法及び電子線描画装置 |
2014/8/25 |
2014171011 |
特許 |
撮像装置、検査装置および検査方法 |
2014/8/22 |
2014169665 |
特許 |
アパーチャ部材製造方法 |
2014/8/8 |
2014162396 |
特許 |
マスク検査装置及びマスク検査方法 |
2014/7/31 |
2014156999 |
特許 |
気相成長装置および気相成長方法 |
2014/7/24 |
2014150763 |
特許 |
成膜装置、サセプタ、及び成膜方法 |
2014/7/16 |
2014146352 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法 |
2014/7/15 |
2014145114 |
特許 |
マスク検査装置及びマスク検査方法 |
2014/6/26 |
2014131938 |
特許 |
マスク検査装置、マスク評価方法及びマスク評価システム |
2014/6/26 |
2014131516 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び方法 |
2014/6/6 |
2014118180 |
特許 |
検査方法 |
2014/6/6 |
2014117454 |
特許 |
マスク検査装置及びマスク検査方法 |
2014/6/3 |
2014114526 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2014/5/12 |
2014099012 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビームのドーズ量異常検出方法 |
2014/5/12 |
2014098901 |
特許 |
気相成長方法及び気相成長装置 |
2014/4/30 |
2014093924 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2014/4/16 |
2014085050 |
特許 |
電子ビーム描画装置、及び電子ビームの収束半角調整方法 |
2014/4/16 |
2014084467 |
特許 |
サセプタ処理方法及びサセプタ処理用プレート |
2014/4/15 |
2014083477 |
特許 |
マルチビーム描画方法およびマルチビーム描画装置 |
2014/3/27 |
2014066700 |
特許 |
成膜装置、成膜方法及びリフレクタユニット |
2014/3/26 |
2014064628 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2014/3/20 |
2014059155 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビームの照射量変調係数の取得方法 |
2014/3/19 |
2014056400 |
特許 |
荷電粒子ビームのドリフト補正方法及び荷電粒子ビーム描画装置 |
2014/3/18 |
2014055338 |
特許 |
偏向器用クリーニング装置及び偏向器のクリーニング方法 |
2014/3/4 |
2014041814 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2014/2/13 |
2014025787 |
特許 |
セトリング時間の取得方法 |
2014/2/3 |
2014018263 |
特許 |
照明装置及びパターン検査装置 |
2014/1/30 |
2014016203 |
特許 |
検査装置 |
2014/1/23 |
2014010839 |
特許 |
焦点位置調整方法および検査方法 |
2014/1/22 |
2014009591 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2014/1/16 |
2014006241 |
特許 |
露光用マスクの製造方法、露光用マスクの製造システム、及び半導体装置の製造方法 |
2013/12/9 |
2013254300 |
特許 |
試料支持装置 |
2013/12/4 |
2013250843 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2013/11/20 |
2013090953 |
商標 |
EPIREVO |
2013/11/12 |
2013233821 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビームのブランキング装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2013/11/12 |
2018097442 |
特許 |
描画データの作成方法 |
2013/11/6 |
2013230593 |
特許 |
計測装置 |
2013/11/6 |
2013230592 |
特許 |
計測装置 |
2013/10/11 |
2013214123 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビームのブランキング装置 |
2013/10/2 |
2013207534 |
特許 |
成膜装置及び成膜方法 |
2013/10/2 |
2013207430 |
特許 |
半導体製造装置および半導体製造方法 |
2013/9/18 |
2013193517 |
特許 |
検査方法および検査装置 |
2013/9/2 |
2013181215 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2013/8/30 |
2013180622 |
特許 |
検査装置および検査方法 |
2013/8/22 |
2013172358 |
特許 |
熱陰極、電子放射装置、及び熱陰極の製造方法 |
2013/8/9 |
2013165885 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画方法、および荷電粒子ビーム描画装置 |
2013/8/8 |
2013165494 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2013/8/8 |
2013165493 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
2013/7/10 |
2013144461 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
2013/7/8 |
2013142616 |
特許 |
気相成長装置および気相成長方法 |
2013/7/8 |
2013142617 |
特許 |
気相成長装置および気相成長方法 |
2013/7/2 |
2013139086 |
特許 |
気相成長装置および気相成長方法 |
2013/6/21 |
2013130836 |
特許 |
炭化珪素半導体成膜装置およびそれを用いた成膜方法 |
2013/6/13 |
2013124848 |
特許 |
気相成長装置および気相成長方法 |
2013/6/13 |
2013124437 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2013/6/13 |
2013124435 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2013/6/13 |
2013124847 |
特許 |
気相成長装置 |
2013/6/10 |
2013121717 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2013/5/22 |
2013107837 |
特許 |
検査感度評価方法 |
2013/5/22 |
2013107645 |
特許 |
焦点位置調整方法および検査方法 |
2013/4/30 |
2013095032 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置、フォーマット検査装置及びフォーマット検査方法 |
2013/4/26 |
2013093686 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置 |
2013/4/26 |
2013094044 |
特許 |
検査装置 |
2013/4/24 |
2013091143 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画方法 |
2013/4/16 |
2013086107 |
特許 |
検査装置および検査方法 |
2013/4/12 |
2013084256 |
特許 |
検査方法および検査装置 |
2013/4/8 |
2013080796 |
特許 |
照明装置および検査装置 |
2013/4/1 |
2013075922 |
特許 |
検査方法および検査装置 |
2013/3/25 |
2013062150 |
特許 |
成膜装置および成膜方法 |
2013/3/21 |
2013058125 |
特許 |
セトリング時間の取得方法 |
2013/3/13 |
2013050927 |
特許 |
マルチビームの電流調整方法 |
2013/3/8 |
2013047092 |
特許 |
マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
2013/3/8 |
2013047094 |
特許 |
電子銃装置、描画装置、電子銃電源回路のリーク電流測定方法、及び電子銃電源回路のリーク電流判定方法 |
2013/3/4 |
2013042248 |
特許 |
炭化珪素の成膜装置および炭化珪素の成膜方法 |
2013/2/26 |
2013036257 |
特許 |
カソードの動作温度調整方法、及び描画装置 |
2013/2/25 |
2013034498 |
特許 |
パターン検査方法及びパターン検査装置 |
2013/2/21 |
2013032269 |
特許 |
電子線描画装置の故障診断方法、電子線描画装置 |
2013/2/18 |
2013028504 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置、及びバッファメモリのデータ格納方法 |
2013/2/18 |
2013028505 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置、および荷電粒子ビーム描画方法 |
2013/2/18 |
2013029453 |
特許 |
検査方法および検査装置 |
2013/2/15 |
2013027410 |
特許 |
電子ビーム描画装置および電子ビーム描画方法 |
2013/1/30 |
2013016015 |
特許 |
気相成長装置および気相成長方法 |
2013/1/18 |
2013007820 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置 |
2013/1/18 |
2013007682 |
特許 |
荷電粒子ビーム描画装置、試料面へのビーム入射角調整方法、および荷電粒子ビーム描画方法 |
2013/1/18 |
2013007793 |
特許 |
検査装置 |
2013/1/17 |
2013006162 |
特許 |
検査方法 |