2022/11/4 |
2022126613 |
商標 |
ユージェミニ |
2022/9/13 |
2022019613 |
意匠 |
基板搬送用トレイ |
2022/9/13 |
2022019614 |
意匠 |
基板搬送用トレイのクランプ |
2022/6/3 |
2022063734 |
商標 |
§ULVAC∞70th\Anniversary |
2022/4/18 |
2022044865 |
商標 |
SEGul |
2022/4/13 |
2022043128 |
商標 |
SELION |
2022/4/13 |
2022043136 |
商標 |
SCH |
2022/4/13 |
2022043132 |
商標 |
ZELDA |
2022/4/13 |
2022043124 |
商標 |
CME |
2022/4/13 |
2022043133 |
商標 |
CMD |
2022/4/13 |
2022043135 |
商標 |
EWE |
2022/4/13 |
2022043130 |
商標 |
DFM |
2022/4/13 |
2022043137 |
商標 |
EWA |
2022/4/13 |
2022043134 |
商標 |
SPW |
2022/4/13 |
2022043126 |
商標 |
SRH |
2022/4/13 |
2022043125 |
商標 |
EVD |
2022/4/13 |
2022043127 |
商標 |
ULDiS |
2022/4/13 |
2022043129 |
商標 |
DFB |
2022/4/13 |
2022043138 |
商標 |
EGN |
2022/3/4 |
2022024907 |
商標 |
§ULVAC CRYOGENICS |
2022/2/22 |
2022025738 |
特許 |
膜厚監視方法および膜厚監視装置 |
2021/12/3 |
2021197113 |
特許 |
真空処理装置のクリーニング方法 |
2021/11/9 |
2021567838 |
特許 |
成膜方法及び成膜装置 |
2021/11/4 |
2022536599 |
特許 |
真空ポンプ、真空ポンプの制御方法、真空ポンプ用電力変換装置、圧縮機用電力変換装置および圧縮機 |
2021/8/24 |
2022502496 |
特許 |
高周波電力回路、プラズマ処理装置、およびプラズマ処理方法 |
2021/7/1 |
2021109925 |
特許 |
センサ装置 |
2021/6/22 |
2021559565 |
特許 |
金属配線構造体及び金属配線構造体の製造方法 |
2021/6/11 |
2022550351 |
特許 |
積層構造体及び積層構造体の製造方法 |
2021/6/8 |
2021070409 |
商標 |
uGmni |
2021/4/26 |
2021051154 |
商標 |
Mag-tune |
2021/4/26 |
2021051155 |
商標 |
Expert Eyes |
2021/2/5 |
2021017797 |
特許 |
スクリューポンプ |
2021/1/27 |
2021011166 |
特許 |
真空ポンプ及び真空ポンプの復圧方法 |
2020/12/22 |
2021512596 |
特許 |
蒸着源、蒸着装置 |
2020/12/22 |
2021529726 |
特許 |
成膜装置 |
2020/12/22 |
2021527109 |
特許 |
薄膜製造装置 |
2020/12/10 |
2020205420 |
特許 |
ニオブ粉末、ニオブ粉末製造用部材及びこれらの製造方法並びにニオブ部材の製造方法 |
2020/11/12 |
2020188813 |
特許 |
スパッタリング装置 |
2020/10/29 |
2020181634 |
特許 |
圧力測定方法及び熱陰極電離真空計 |
2020/9/3 |
2021507088 |
特許 |
アルミニウム合金ターゲット、アルミニウム合金配線膜、及びアルミニウム合金配線膜の製造方法 |
2020/8/7 |
2020134678 |
特許 |
真空凍結乾燥方法および真空凍結乾燥装置 |
2020/8/6 |
2020568564 |
特許 |
成膜装置 |
2020/7/29 |
2020128516 |
特許 |
搬送駆動機構 |
2020/7/21 |
2020567062 |
特許 |
イオンガン |
2020/7/9 |
2021511673 |
特許 |
成膜方法 |
2020/7/7 |
2020544968 |
特許 |
蒸着源及び真空処理装置 |
2020/6/4 |
2020560499 |
特許 |
吸着装置及び真空処理装置 |
2020/6/4 |
2020541465 |
特許 |
真空蒸着装置用の蒸着源 |
2020/5/26 |
2020091637 |
特許 |
測定異常検出装置、および、測定異常検出方法 |
2020/4/27 |
2020560509 |
特許 |
スパッタリングターゲット及びスパッタリングターゲットの製造方法 |
2020/4/27 |
2020560496 |
特許 |
スパッタリングターゲット及びスパッタリングターゲットの製造方法 |
2020/4/27 |
2020543832 |
特許 |
スパッタリングターゲットの製造方法 |
2020/4/27 |
2020560508 |
特許 |
スパッタリングターゲット及びスパッタリングターゲットの製造方法 |
2020/3/24 |
2020537555 |
特許 |
スパッタリング装置、薄膜製造方法 |
2020/3/11 |
2021534530 |
特許 |
真空処理装置 |
2020/2/19 |
2020026370 |
特許 |
水晶振動子の収容ケース |
2020/2/13 |
2020544973 |
特許 |
プラズマCVD装置、および、プラズマCVD法 |
2020/2/4 |
2020536305 |
特許 |
蒸着源及び蒸着装置 |
2020/1/29 |
2020529772 |
特許 |
Cu合金ターゲット、配線膜、半導体装置、液晶表示装置 |
2019/12/27 |
2020565717 |
特許 |
真空処理装置 |
2019/12/27 |
2020520683 |
特許 |
蒸着ユニット及びこの蒸着ユニットを備える真空蒸着装置 |
2019/12/27 |
2020565725 |
特許 |
真空処理装置、真空処理装置のクリーニング方法 |
2019/12/27 |
2020511829 |
特許 |
真空処理装置用のキャンローラ |
2019/12/24 |
2019232930 |
特許 |
電子銃装置及び蒸着装置 |
2019/12/20 |
2020536293 |
特許 |
成膜装置 |
2019/12/17 |
2020514770 |
特許 |
測定異常検出装置、および、測定異常検出方法 |
2019/12/11 |
2020538736 |
特許 |
成膜方法 |
2019/12/9 |
2020563026 |
特許 |
防着部材及び真空処理装置 |
2019/10/28 |
2020506372 |
特許 |
真空蒸着装置 |
2019/10/15 |
2019188732 |
特許 |
基板搬送装置、および、基板搬送方法 |
2019/10/9 |
2019185756 |
特許 |
プラズマ装置、電源装置、プラズマ維持方法 |
2019/10/3 |
2020511393 |
特許 |
カソード装置、および、スパッタ装置 |
2019/10/2 |
2019182143 |
特許 |
基板搬送装置、および、基板搬送方法 |
2019/9/12 |
2020556638 |
特許 |
真空処理装置 |
2019/9/12 |
2020562352 |
特許 |
スパッタリング装置及びスパッタリング方法 |
2019/9/10 |
2020559732 |
特許 |
成膜装置および成膜方法 |
2019/9/10 |
2019565967 |
特許 |
蒸着装置 |
2019/9/2 |
2019567742 |
特許 |
真空処理装置 |
2019/8/29 |
2020559717 |
特許 |
成膜装置及び成膜方法 |
2019/8/26 |
2020556616 |
特許 |
真空加熱装置、リフレクタ装置 |
2019/8/8 |
2020559708 |
特許 |
静電チャック、真空処理装置及び基板処理方法 |
2019/8/8 |
2019146379 |
特許 |
成膜装置及び成膜方法並びに太陽電池の製造方法 |
2019/7/29 |
2019139075 |
特許 |
イオン注入方法及びイオン注入装置 |
2019/7/26 |
2019137677 |
特許 |
半導体装置の製造方法 |
2019/7/23 |
2020540152 |
特許 |
スパッタリング装置及び成膜方法 |
2019/7/23 |
2019135472 |
特許 |
仕切りバルブ |
2019/7/23 |
2020548049 |
特許 |
マグネトロンスパッタリング装置用の磁石ユニット |
2019/7/23 |
2020554764 |
特許 |
真空処理装置 |
2019/7/23 |
2020513370 |
特許 |
真空処理装置 |
2019/7/23 |
2020562326 |
特許 |
真空処理装置 |
2019/7/11 |
2019547522 |
特許 |
圧力測定システム |
2019/7/4 |
2020536386 |
特許 |
スパッタリング装置 |
2019/6/28 |
2020527680 |
特許 |
スパッタ成膜装置 |
2019/6/26 |
2019118165 |
特許 |
スパッタリング装置 |
2019/6/25 |
2019116915 |
特許 |
ドライエッチング方法及びデバイスの製造方法 |
2019/6/25 |
2019117502 |
特許 |
表面処理方法 |
2019/6/25 |
2019117501 |
特許 |
表面処理方法 |
2019/6/21 |
2019115700 |
特許 |
仕切りバルブ |
2019/6/20 |
2019114915 |
特許 |
仕切りバルブ |
2019/6/19 |
2019561204 |
特許 |
酸化物半導体薄膜、薄膜トランジスタおよびその製造方法、ならびにスパッタリングターゲット |
2019/6/17 |
2019111992 |
特許 |
真空蒸着装置 |
2019/6/17 |
2019554002 |
特許 |
電離真空計及び制御装置 |
2019/6/17 |
2019111697 |
特許 |
巻取り式成膜装置、および、巻取り式成膜装置の調整方法 |
2019/6/14 |
2020525679 |
特許 |
真空処理装置、支持シャフト |
2019/6/14 |
2020525676 |
特許 |
スパッタリング方法、スパッタリング装置 |
2019/6/12 |
2020525604 |
特許 |
防着部材及び真空処理装置 |
2019/6/7 |
2020525520 |
特許 |
真空処理装置、ダミー基板装置 |
2019/6/7 |
2019107067 |
特許 |
プラズマ処理装置 |
2019/6/5 |
2019105167 |
特許 |
イオン注入装置、イオン源 |
2019/5/31 |
2019102201 |
特許 |
レジストパターンの製造方法及びレジスト膜 |
2019/5/31 |
2019553136 |
特許 |
成膜方法および成膜装置 |
2019/5/30 |
2019101481 |
特許 |
真空処理装置 |
2019/5/28 |
2019099737 |
特許 |
搬送室 |
2019/5/28 |
2019541204 |
特許 |
接触式給電装置及び接触ユニット |
2019/5/24 |
2019097247 |
特許 |
イオン注入装置、半導体装置の製造方法 |
2019/5/24 |
2019097254 |
特許 |
スパッタリング装置 |
2019/5/21 |
2019095448 |
特許 |
真空蒸着装置用の蒸着源 |
2019/5/21 |
2019095305 |
特許 |
検出装置及び真空処理装置 |
2019/5/17 |
2019093417 |
特許 |
リチウム電極の製造装置及びその方法 |
2019/5/17 |
2019093839 |
特許 |
スパッタリング装置 |
2019/5/16 |
2019548085 |
特許 |
スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
2019/5/16 |
2019092846 |
特許 |
仕切りバルブ |
2019/5/16 |
2019556727 |
特許 |
巻取式成膜装置及び巻取式成膜方法 |
2019/5/13 |
2019090393 |
特許 |
スパッタ成膜装置 |
2019/5/8 |
2019088110 |
特許 |
真空搬送装置及び成膜装置 |
2019/5/8 |
2019088148 |
特許 |
巻取式成膜装置及び巻取式成膜方法 |
2019/5/8 |
2020523574 |
特許 |
真空蒸着装置用の蒸着源 |
2019/5/7 |
2019087510 |
特許 |
スパッタリングターゲットの製造方法 |
2019/4/26 |
2019086593 |
特許 |
油圧駆動システム、仕切りバルブ |
2019/4/26 |
2019086494 |
特許 |
真空処理装置 |
2019/4/26 |
2019086579 |
特許 |
油圧駆動システム、仕切りバルブ |
2019/4/25 |
2019083521 |
特許 |
成膜方法 |
2019/4/23 |
2019081856 |
特許 |
プラズマ処理装置 |
2019/4/23 |
2019081857 |
特許 |
プラズマ処理装置 |
2019/4/16 |
2019078001 |
特許 |
成膜装置及び成膜方法 |
2019/4/2 |
2019070732 |
特許 |
成膜方法 |
2019/3/29 |
2019067680 |
特許 |
真空装置、運搬装置、アラインメント方法 |
2019/3/28 |
2019536603 |
特許 |
スパッタリングターゲット及びスパッタリングターゲットの製造方法 |
2019/3/28 |
2019538464 |
特許 |
凍結真空乾燥装置及び凍結真空乾燥方法 |
2019/3/28 |
2019547523 |
特許 |
アルミニウム合金膜、その製造方法、及び薄膜トランジスタ |
2019/3/28 |
2019528147 |
特許 |
仕切弁 |
2019/3/28 |
2019535965 |
特許 |
基板保持装置、基板保持方法及び成膜装置 |
2019/3/28 |
2019547326 |
特許 |
アルミニウム合金ターゲット及びその製造方法 |
2019/3/27 |
2019059791 |
特許 |
基板収納容器 |
2019/3/26 |
2019059490 |
特許 |
凍結乾燥方法及び凍結乾燥装置 |
2019/3/25 |
2019546045 |
特許 |
仕切弁装置 |
2019/3/22 |
2019541492 |
特許 |
イオンガン |
2019/3/22 |
2019054272 |
特許 |
プラズマエッチング方法 |
2019/3/20 |
2019539304 |
特許 |
仕切弁 |
2019/3/18 |
2019050092 |
特許 |
真空アクチュエータ、仕切りバルブ |
2019/3/14 |
2019539874 |
特許 |
スライド弁 |
2019/3/13 |
2019045737 |
特許 |
バックコンタクト型太陽電池セルの製造方法 |
2019/3/13 |
2019045735 |
特許 |
バックコンタクト型太陽電池セルの製造方法 |
2019/3/13 |
2019046042 |
特許 |
成膜装置 |
2019/3/12 |
2019044356 |
特許 |
真空蒸着装置 |
2019/3/7 |
2019041655 |
特許 |
イオン注入装置、イオン源 |
2019/2/27 |
2019529273 |
特許 |
スパッタリング方法 |
2019/2/25 |
2019032042 |
特許 |
イオン注入装置、イオン源 |
2019/2/25 |
2019032057 |
特許 |
コアシェル型量子ドット分散液の製造方法及び量子ドット分散液の製造方法 |
2019/2/19 |
2019537199 |
特許 |
窒化ガリウム薄膜の製造方法 |
2019/2/19 |
2019027809 |
特許 |
成膜方法および成膜装置 |
2019/2/14 |
2019546933 |
特許 |
磁性膜の形成方法、および、磁気記憶素子の製造方法 |
2019/2/13 |
2019023364 |
特許 |
アルミニウム製部品の酸化皮膜の再生方法 |
2019/2/13 |
2019023631 |
特許 |
蒸着装置及び蒸着方法 |
2019/2/12 |
2019022380 |
特許 |
蒸着源、真空処理装置、及び蒸着方法 |
2019/2/12 |
2019022631 |
特許 |
スパッタリング装置 |
2019/2/5 |
2019018961 |
特許 |
仕切弁 |
2019/2/5 |
2019528151 |
特許 |
仕切弁 |
2019/2/1 |
2019518126 |
特許 |
薄膜形成方法、薄膜形成装置及びリチウム電池 |
2019/2/1 |
2019017461 |
特許 |
真空アクチュエータ、仕切りバルブ |
2019/1/31 |
2019016405 |
特許 |
スパッタリング装置及びスパッタリング方法 |
2019/1/29 |
2019013609 |
特許 |
仕切りバルブ、スプール弁 |
2019/1/29 |
2020505650 |
特許 |
成膜方法 |
2019/1/24 |
2019010246 |
特許 |
スパッタリング装置及び成膜方法 |
2019/1/24 |
2019010223 |
特許 |
熱陰極電離真空計、熱陰極電離真空計を備える圧力測定システム並びに熱陰極電離真空計を用いた圧力測定方法 |
2019/1/22 |
2019008711 |
特許 |
層厚及び粘弾性係数の測定方法、及び層厚及び粘弾性係数の測定装置 |
2019/1/16 |
2019005072 |
特許 |
CoZnMn膜の形成方法、および、CoZnMnターゲット |
2019/1/16 |
2019523141 |
特許 |
ヒータベース及び処理装置 |
2019/1/16 |
2019005274 |
特許 |
真空ポンプ |
2019/1/15 |
2019004725 |
特許 |
金属窒化物ナノ粒子分散液の製造方法 |
2019/1/11 |
2019003250 |
特許 |
蒸着源、成膜装置、及び蒸着方法 |
2018/12/27 |
2018244978 |
特許 |
基板処理装置、基板処理装置のカセット取り外し方法 |
2018/12/21 |
2018240348 |
特許 |
ドライエッチング方法、ドライエッチング装置 |
2018/12/21 |
2018240169 |
特許 |
バイアル瓶の搬送移載装置及び搬送移載方法 |
2018/12/20 |
2018238061 |
特許 |
膜厚モニタリングシステム及び成膜装置 |
2018/12/19 |
2019526342 |
特許 |
ポンプ装置 |
2018/12/14 |
2018234491 |
特許 |
ロードロックチャンバ及び真空処理装置 |
2018/12/13 |
2018233532 |
特許 |
ベント装置 |
2018/12/6 |
2019567888 |
特許 |
反応性イオンエッチング装置 |
2018/12/3 |
2018226740 |
特許 |
全固体型薄膜リチウム電池用負極および全固体型薄膜リチウム電池 |
2018/11/30 |
2018224704 |
特許 |
スパッタリング方法及びスパッタリング装置 |
2018/11/30 |
2018225667 |
特許 |
薄膜製造方法、対向ターゲット式スパッタリング装置 |
2018/11/26 |
2019506749 |
特許 |
真空装置 |
2018/11/19 |
2019554444 |
特許 |
酸化物半導体薄膜、薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタの製造方法及びスパッタリングターゲット |
2018/11/19 |
2018216738 |
特許 |
スパッタリング方法及びスパッタリング装置 |
2018/11/8 |
2018210475 |
特許 |
成膜装置、成膜方法、及び高周波加速空洞管の製造方法 |
2018/11/7 |
2019508282 |
特許 |
真空装置、吸着装置、導電性薄膜製造方法 |
2018/11/2 |
2018207708 |
特許 |
ドライエッチング方法およびドライエッチング装置 |
2018/10/30 |
2020521989 |
特許 |
半導体デバイス製作用の高アスペクト比誘電孔における選択的相変化材料成長 |
2018/10/26 |
2018202183 |
特許 |
酸化インジウム粉末の製造方法 |
2018/10/26 |
2018202182 |
特許 |
酸化インジウム粉末の製造方法 |
2018/10/26 |
2018202184 |
特許 |
酸化ガリウム粉末の製造方法 |
2018/10/23 |
2019516025 |
特許 |
基板処理装置 |
2018/10/18 |
2018196780 |
特許 |
搬送装置、および、処理装置 |
2018/10/17 |
2019509580 |
特許 |
薄膜トランジスタ及びその製造方法 |
2018/10/15 |
2019521160 |
特許 |
被処理体の処理装置 |
2018/10/12 |
2020523273 |
特許 |
半導体装置の有効仕事関数調整のためのゲート構造、ゲート構造を備えた半導体装置、およびゲート構造を形成する方法 |
2018/10/12 |
2019520458 |
特許 |
プラズマ処理装置 |
2018/10/11 |
2019550984 |
特許 |
スパッタリング装置及び成膜方法 |
2018/10/5 |
2018190489 |
特許 |
金属水酸化物の製造装置及び製造方法 |
2018/10/4 |
2019516003 |
特許 |
スパッタリング装置 |
2018/10/2 |
2018187162 |
特許 |
イオン銃の制御装置、および、イオン銃の制御方法 |
2018/9/28 |
2019506528 |
特許 |
イオン源及びイオン注入装置 |
2018/9/21 |
2018178067 |
特許 |
スパッタリング装置、薄膜製造方法 |
2018/9/14 |
2018172833 |
特許 |
真空処理装置 |
2018/9/13 |
2018171972 |
特許 |
金属水酸化物の製造装置及び製造方法 |
2018/9/11 |
2018170097 |
特許 |
抵抗体膜の製造方法及び抵抗体膜 |
2018/9/11 |
2018169332 |
特許 |
アクリル気化器 |
2018/8/21 |
2018154388 |
特許 |
スパッタリング装置 |
2018/8/17 |
2019540859 |
特許 |
半導体装置の製造方法 |
2018/8/13 |
2018152204 |
特許 |
成膜装置及び成膜方法 |
2018/8/10 |
2019503377 |
特許 |
イオン源及びイオン注入装置並びにイオン源の運転方法 |
2018/8/6 |
2018565082 |
特許 |
リフトピン及び真空処理装置 |
2018/7/31 |
2018143518 |
特許 |
Co膜製造方法 |
2018/7/26 |
2018140300 |
特許 |
酸化膜除去方法、および、酸化膜除去装置 |
2018/7/25 |
2018556958 |
特許 |
無菌液化ガス装置 |
2018/7/23 |
2018137423 |
特許 |
ドライエッチング方法 |
2018/7/18 |
2018135107 |
特許 |
PZT素子、PZT素子製造方法 |
2018/7/4 |
2018127478 |
特許 |
生体適合膜の形成方法、および、生体適合膜の形成装置 |
2018/6/29 |
2018125125 |
特許 |
半導体装置の製造方法 |
2018/6/29 |
2018124237 |
特許 |
対向ターゲット式スパッタ成膜装置 |
2018/6/29 |
2018124216 |
特許 |
スパッタリング装置 |
2018/6/29 |
2018123903 |
特許 |
成膜装置および成膜方法、クリーニング方法 |
2018/6/28 |
2018563188 |
特許 |
スパッタ装置 |
2018/6/28 |
2018560688 |
特許 |
成膜装置 |
2018/6/27 |
2018122379 |
特許 |
固体電解質膜の形成装置、および、固体電解質膜の形成方法 |
2018/6/27 |
2018122110 |
特許 |
基板支持機構 |
2018/6/27 |
2018121803 |
特許 |
スパッタ成膜方法 |
2018/6/26 |
2018120479 |
特許 |
パルス管冷凍機 |
2018/6/25 |
2018119951 |
特許 |
多層構造体並びにその製造方法及びその製造装置 |
2018/6/25 |
2018120067 |
特許 |
薄膜製造方法、スパッタリング装置 |
2018/6/25 |
2018553494 |
特許 |
スパッタリング装置 |
2018/6/22 |
2018118564 |
特許 |
トランスデューサ型真空計 |
2018/6/21 |
2018118308 |
特許 |
アルミニウム表面処理方法 |
2018/6/21 |
2018556947 |
特許 |
プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
2018/6/20 |
2018552082 |
特許 |
真空ポンプおよびその制御方法 |
2018/6/20 |
2018116846 |
特許 |
成膜装置及び成膜方法 |
2018/6/20 |
2018117042 |
特許 |
成膜装置、クリーニングガスノズル、クリーニング方法 |
2018/6/13 |
2018113158 |
特許 |
成膜装置及び成膜方法並びに太陽電池の製造方法 |
2018/6/13 |
2018548019 |
特許 |
真空処理装置 |
2018/6/13 |
2018112501 |
特許 |
真空蒸着装置用の蒸着源 |
2018/6/13 |
2018112499 |
特許 |
真空蒸着装置用の蒸着源 |
2018/6/11 |
2018111482 |
特許 |
BA型電離真空計及びその感度異常検知方法、並びにBA型電離真空計を用いた圧力測定方法 |
2018/6/7 |
2018109261 |
特許 |
ニオブ素管及び高周波加速空洞管 |
2018/6/7 |
2018560681 |
特許 |
基板ガイド、キャリア |
2018/6/6 |
2018108723 |
特許 |
スパッタリング方法、スパッタリング装置 |
2018/6/5 |
2018553171 |
特許 |
成膜装置、マスクフレーム、アライメント方法 |
2018/5/30 |
2018549288 |
特許 |
真空ポンプ |
2018/5/30 |
2018103705 |
特許 |
スパッタリング装置 |
2018/5/11 |
2020023516 |
特許 |
薄膜の形成方法 |
2018/5/11 |
2019525209 |
特許 |
薄膜の形成方法 |
2018/5/10 |
2018091326 |
特許 |
電磁波吸収体及び電磁波吸収体の製造方法 |
2018/5/10 |
2018091181 |
特許 |
成膜装置、成膜方法、及びスパッタリングターゲット機構 |
2018/5/8 |
2018090205 |
特許 |
成膜装置 |
2018/5/7 |
2018089587 |
特許 |
スパッタリング装置及びコリメータ |
2018/4/27 |
2018087205 |
特許 |
透明導電膜付き基板の製造装置、透明導電膜付き基板の製造方法 |
2018/4/25 |
2018558778 |
特許 |
蒸発源及び成膜装置 |
2018/4/23 |
2018082553 |
特許 |
真空蒸着装置 |
2018/4/17 |
2018079026 |
特許 |
真空蒸着装置用の蒸着源 |
2018/4/16 |
2018552026 |
特許 |
回転クランプ装置 |
2018/4/13 |
2019513612 |
特許 |
成膜装置及び成膜方法 |
2018/4/11 |
2018076165 |
特許 |
熱処理装置 |
2018/3/30 |
2018067475 |
特許 |
真空蒸着装置用の蒸着源 |
2018/3/29 |
2018064081 |
特許 |
透明電極シート |
2018/3/29 |
2019502022 |
特許 |
真空ポンプ |
2018/3/29 |
2018064827 |
特許 |
真空処理装置 |
2018/3/27 |
2018059796 |
特許 |
真空処理装置 |
2018/3/27 |
2018538786 |
特許 |
真空ポンプ及び真空ポンプの製造方法 |
2018/3/27 |
2018541231 |
特許 |
真空排気装置及び真空排気装置の冷却方法 |
2018/3/26 |
2018058777 |
特許 |
成膜装置及び成膜方法 |
2018/3/23 |
2018057163 |
特許 |
真空蒸着装置用の蒸着源及び真空蒸着方法 |
2018/3/22 |
2019509655 |
特許 |
電子部品の製造方法 |
2018/3/20 |
2018052375 |
特許 |
リチウム薄膜の製造方法及びリチウム薄膜の製造装置 |
2018/3/19 |
2018051768 |
特許 |
プラズマ処理装置 |
2018/3/16 |
2018049422 |
特許 |
磁気記憶素子、垂直磁化膜の形成方法、および、磁気記憶素子の製造方法 |
2018/3/14 |
2018558779 |
特許 |
真空ポンプ |
2018/3/14 |
2019513269 |
特許 |
抵抗変化素子の製造方法及び抵抗変化素子 |
2018/3/14 |
2018047333 |
特許 |
透明導電膜付き基板の製造方法及び透明導電膜付き基板 |
2018/3/9 |
2018042622 |
特許 |
真空処理装置、真空処理装置の製造方法、および、真空処理装置用の内部冶具 |
2018/3/9 |
2018042623 |
特許 |
真空処理装置 |
2018/3/8 |
2018042025 |
特許 |
プラズマ処理装置、および、プラズマ処理方法 |
2018/3/7 |
2018040965 |
特許 |
リチウムターゲットの製造方法及び製造装置 |
2018/3/6 |
2019508976 |
特許 |
スパッタリング装置用のカソードユニット |
2018/3/6 |
2018530812 |
特許 |
水晶発振式膜厚モニタ用のセンサヘッド |
2018/3/5 |
2019507505 |
特許 |
エッチングストップ層及び半導体デバイスの製造方法 |
2018/3/2 |
2018037157 |
特許 |
半導体装置の製造方法 |
2018/3/1 |
2018036944 |
特許 |
成膜装置 |
2018/2/26 |
2018032479 |
特許 |
窒化ガリウム薄膜の製造方法 |
2018/2/21 |
2018029108 |
特許 |
金属窒化物ナノ粒子分散液の製造方法 |
2018/2/20 |
2019501330 |
特許 |
気化器および素子構造体の製造装置 |
2018/2/20 |
2019501343 |
特許 |
樹脂膜の形成方法およびマスク |
2018/2/20 |
2019501332 |
特許 |
素子構造体の製造方法 |
2018/2/20 |
2018027535 |
特許 |
耐食性膜及び真空部品 |
2018/2/20 |
2019501327 |
特許 |
成膜方法、成膜装置、素子構造体の製造方法、及び素子構造体の製造装置 |
2018/2/20 |
2019501331 |
特許 |
樹脂膜の形成方法および樹脂膜の成膜装置 |
2018/2/19 |
2018533276 |
特許 |
成膜装置及び成膜方法 |
2018/2/13 |
2018022981 |
特許 |
イオン源及びイオン注入装置 |
2018/2/9 |
2018021962 |
特許 |
質量分析計用のイオン源 |
2018/2/8 |
2018540167 |
特許 |
真空乾燥装置及び方法 |
2018/2/7 |
2018019785 |
特許 |
蒸着装置及び蒸着方法 |
2018/2/6 |
2018018896 |
特許 |
透明電極シート及び透明電極シートの製造方法 |
2018/1/31 |
2018014628 |
特許 |
蒸着装置及び蒸着方法 |
2018/1/25 |
2018564623 |
特許 |
酸化アルミニウム膜の形成方法 |
2018/1/24 |
2018009429 |
特許 |
粘着式基板保持装置 |
2018/1/16 |
2018005186 |
特許 |
半導体装置の製造方法 |
2017/12/27 |
2019512352 |
特許 |
液晶表示装置、有機EL表示装置、半導体素子、配線膜、配線基板 |
2017/12/27 |
2018525804 |
特許 |
イオン源及びイオン注入装置 |
2017/12/26 |
2017249937 |
特許 |
有機薄膜製造装置、蒸発源 |
2017/12/22 |
2017245739 |
特許 |
測定セル及び測定装置 |
2017/12/21 |
2017244653 |
特許 |
蒸着装置 |
2017/12/14 |
2017240090 |
特許 |
透明電極シートの製造方法 |
2017/12/12 |
2017237306 |
特許 |
スパッタ装置 |
2017/12/11 |
2017236887 |
特許 |
蒸着装置 |
2017/12/8 |
2017235810 |
特許 |
ギャップ計測方法 |
2017/12/7 |
2017234866 |
特許 |
PZT素子製造方法 |
2017/12/1 |
2017231819 |
特許 |
蒸着装置及び蒸着方法 |
2017/11/30 |
2018554242 |
特許 |
配線基板の加工方法 |
2017/11/27 |
2017226687 |
特許 |
スパッタ装置 |
2017/11/24 |
2017226077 |
特許 |
イオン注入方法、イオン注入装置 |
2017/11/22 |
2018523040 |
特許 |
巻取式成膜装置及び巻取式成膜方法 |
2017/11/16 |
2017220840 |
特許 |
吸着力測定装置及び吸着力測定方法 |
2017/11/14 |
2018515900 |
特許 |
成膜方法及び巻取式成膜装置 |
2017/11/9 |
2017216053 |
特許 |
撹拌装置 |
2017/11/7 |
2018556252 |
特許 |
成膜装置及び成膜方法 |
2017/11/6 |
2018504296 |
特許 |
成膜装置 |
2017/11/6 |
2017213422 |
特許 |
スパッタリング装置及びスパッタリング方法 |
2017/11/1 |
2018504956 |
特許 |
真空処理装置 |
2017/10/24 |
2017205535 |
特許 |
Al合金導電膜、薄膜トランジスタ及びAl合金導電膜の製造方法 |
2017/10/23 |
2017204386 |
特許 |
スパッタ装置 |
2017/10/20 |
2017203732 |
特許 |
方向性結合器 |
2017/10/13 |
2017199455 |
特許 |
成膜装置、および、成膜方法 |
2017/10/4 |
2017194266 |
特許 |
位置検出装置、および、蒸着装置 |
2017/10/3 |
2018514485 |
特許 |
仕切弁 |
2017/10/2 |
2017193101 |
特許 |
OTSデバイスの製造方法 |
2017/9/27 |
2017186399 |
特許 |
位置検出装置、位置検出方法、および、蒸着装置 |
2017/9/27 |
2017186400 |
特許 |
処理装置 |
2017/9/25 |
2017183444 |
特許 |
真空処理装置 |
2017/9/20 |
2017564940 |
特許 |
電源装置 |
2017/9/15 |
2017178193 |
特許 |
スパッタリング装置及び薄膜製造方法 |
2017/9/15 |
2018535434 |
特許 |
シャワーヘッド及び真空処理装置 |
2017/9/14 |
2017176506 |
特許 |
車載用PZT薄膜積層体の製造方法 |
2017/9/14 |
2017176266 |
特許 |
スパッタリング装置 |
2017/9/12 |
2018516596 |
特許 |
透明導電膜付き基板の製造方法、透明導電膜付き基板の製造装置、及び透明導電膜付き基板 |
2017/9/12 |
2017175006 |
特許 |
PZT薄膜積層体の製造方法 |
2017/9/1 |
2017168211 |
特許 |
マスクプレート及び成膜方法 |
2017/8/31 |
2017167700 |
特許 |
電源装置 |
2017/8/29 |
2017164133 |
特許 |
ゲート絶縁膜の形成方法、および、ゲート絶縁膜 |
2017/8/28 |
2017163464 |
特許 |
真空処理装置 |
2017/8/25 |
2017162819 |
特許 |
真空装置、吸着電源 |
2017/8/23 |
2017160602 |
特許 |
表面処理方法及び表面処理装置 |
2017/8/23 |
2019219912 |
特許 |
表面処理方法及び表面処理装置 |
2017/8/23 |
2019092836 |
特許 |
表面処理方法及び表面処理装置 |
2017/8/15 |
2017550660 |
特許 |
デバイス及びデバイスの製造方法並びにアレイ型の超音波プローブの製造方法 |
2017/8/8 |
2017553198 |
特許 |
成膜装置及び成膜方法並びに太陽電池の製造方法 |
2017/8/8 |
2017152995 |
特許 |
炭素ナノ構造体成長用のCVD装置及び炭素ナノ構造体の製造方法 |
2017/8/7 |
2017152249 |
特許 |
四重極型質量分析計及びその感度低下の判定方法 |
2017/7/26 |
2017144441 |
特許 |
スパッタ装置 |
2017/7/19 |
2018531821 |
特許 |
真空蒸着装置 |
2017/7/19 |
2018531822 |
特許 |
真空蒸着装置 |
2017/7/18 |
2017138881 |
特許 |
基板搬送装置 |
2017/7/18 |
2017138765 |
特許 |
成膜方法及びスパッタリング装置 |
2017/7/10 |
2017134650 |
特許 |
三極管型電離真空計及び圧力測定方法 |
2017/7/5 |
2018506351 |
特許 |
成膜装置、プラテンリング |
2017/6/21 |
2017547005 |
特許 |
スパッタリング装置用成膜ユニット |
2017/6/16 |
2018524035 |
特許 |
プラズマ処理装置 |
2017/6/16 |
2018524025 |
特許 |
ターゲット装置、スパッタリング装置 |
2017/6/15 |
2017118028 |
特許 |
プラズマ処理装置 |
2017/6/14 |
2017116358 |
特許 |
水素発生材料製造方法、燃料電池、水素発生方法 |
2017/5/31 |
2017108369 |
特許 |
スパッタリング装置 |
2017/5/31 |
2017108367 |
特許 |
スパッタリング装置 |
2017/5/26 |
2018523623 |
特許 |
保持装置 |
2017/5/16 |
2017097137 |
特許 |
炭素電極膜の形成方法 |
2017/5/16 |
2017097462 |
特許 |
粘着式保持具及び被保持体の保持方法 |
2017/5/12 |
2018518267 |
特許 |
金属蒸発材料 |
2017/5/11 |
2018500589 |
特許 |
無菌液化ガス製造装置、無菌液化ガスの製造方法 |
2017/5/11 |
2020066964 |
特許 |
無菌液化ガス製造装置、無菌液化ガスの製造方法 |
2017/5/2 |
2018518217 |
特許 |
Cu膜の形成方法 |
2017/4/28 |
2018516975 |
特許 |
有機薄膜製造装置、有機薄膜製造方法 |
2017/4/28 |
2017564654 |
特許 |
静電チャック、および、プラズマ処理装置 |
2017/4/26 |
2018515709 |
特許 |
薄膜製造装置、薄膜製造方法 |
2017/4/24 |
2018514575 |
特許 |
成膜用マスク及び成膜装置 |
2017/4/4 |
2018519120 |
特許 |
成膜方法及びスパッタリング装置 |
2017/3/24 |
2017059089 |
特許 |
評価方法及び計測装置 |
2017/3/23 |
2018509178 |
特許 |
透明導電膜付き基板の製造方法、透明導電膜付き基板の製造装置、透明導電膜付き基板、及び太陽電池 |
2017/3/21 |
2018511285 |
特許 |
透明導電層付き基板及び液晶パネル |
2017/3/15 |
2017050338 |
特許 |
コアシェル型量子ドット及びコアシェル型量子ドット分散液の製造方法 |
2017/3/14 |
2017048677 |
特許 |
積層型ミニチュアライズ薄膜電池及びその製造方法 |
2017/3/7 |
2017042513 |
特許 |
バックコンタクト型結晶系太陽電池の製造方法およびマスク |
2017/2/27 |
2018508815 |
特許 |
成膜装置、および、成膜方法 |
2017/2/22 |
2017031561 |
特許 |
仕切りバルブ及び真空処理装置 |
2017/2/21 |
2017030466 |
特許 |
電磁波吸収体及び電磁波吸収体の製造方法 |
2017/2/15 |
2017002893 |
意匠 |
真空成膜装置用基板ガイド |
2017/2/15 |
2017002894 |
意匠 |
真空成膜装置用基板ガイド |
2017/2/2 |
2017017533 |
特許 |
蒸着用金材料製造方法 |
2017/1/25 |
2018518073 |
特許 |
内部応力制御膜の形成方法 |
2017/1/16 |
2017005307 |
特許 |
ターゲットアッセンブリ、ターゲットアッセンブリの製造方法、ターゲットとバッキングプレートとの分離方法 |
2017/1/16 |
2017005291 |
特許 |
部材接合方法 |
2017/1/16 |
2017005432 |
特許 |
仕切弁装置 |
2017/1/12 |
2017003338 |
特許 |
基板ホルダ、縦型基板搬送装置及び基板処理装置 |
2017/1/11 |
2017002381 |
特許 |
真空処理装置 |
2016/12/27 |
2016252406 |
特許 |
吸着圧力分布の測定方法 |
2016/12/22 |
2016250026 |
特許 |
成膜方法 |
2016/12/21 |
2017558206 |
特許 |
酸化物焼結体スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
2016/12/16 |
2016244717 |
特許 |
多孔質乾燥食品の製造方法及び多孔質乾燥食品製造装置 |
2016/12/16 |
2017548485 |
特許 |
真空処理装置 |
2016/12/14 |
2016242168 |
特許 |
基板搬送装置用のキャリア |
2016/12/6 |
2016236514 |
特許 |
成膜方法 |
2016/11/29 |
2016231126 |
特許 |
薄膜リチウム二次電池及びその製造方法 |
2016/11/22 |
2017552420 |
特許 |
薄膜トランジスタ、酸化物半導体膜及びスパッタリングターゲット |
2016/11/22 |
2016226639 |
特許 |
成膜方法 |
2016/11/16 |
2016223242 |
特許 |
有機金属化学気相成長装置 |
2016/11/10 |
2016219438 |
特許 |
成膜方法及び成膜装置 |
2016/11/10 |
2017553740 |
特許 |
蒸気放出装置及び成膜装置 |
2016/11/8 |
2016218189 |
特許 |
真空処理装置及び希ガス回収装置 |
2016/11/8 |
2016218373 |
特許 |
静電チャック付きトレイ |
2016/11/1 |
2017517135 |
特許 |
深紫外LED及びその製造方法 |
2016/10/31 |
2016120758 |
商標 |
ゆるドライ |
2016/10/14 |
2016202781 |
特許 |
微細機能素子及び微細機能素子の製造方法 |
2016/10/7 |
2016199107 |
特許 |
成膜装置 |
2016/10/5 |
2017527376 |
特許 |
混合器、真空処理装置 |
2016/10/5 |
2017544534 |
特許 |
材料供給装置および蒸着装置 |
2016/10/3 |
2016195499 |
特許 |
ハースユニット、蒸発源および成膜装置 |
2016/10/3 |
2016195498 |
特許 |
成膜装置 |
2016/9/21 |
2017516967 |
特許 |
スパッタリングターゲット、ターゲット製造方法 |
2016/9/14 |
2016179423 |
特許 |
固体電解質膜の形成方法 |
2016/9/6 |
2016173297 |
特許 |
膜厚センサ |
2016/9/6 |
2016173636 |
特許 |
成膜装置及び成膜方法並びに太陽電池の製造方法 |
2016/9/2 |
2017508579 |
特許 |
深紫外LED及びその製造方法 |
2016/8/26 |
2016166236 |
特許 |
マスク材走行ユニット |
2016/8/22 |
2017551519 |
特許 |
カーボン膜の成膜方法 |
2016/8/22 |
2016162172 |
特許 |
成膜方法 |
2016/8/18 |
2016160754 |
特許 |
搬送装置 |
2016/8/17 |
2017537726 |
特許 |
ワーク保持体および成膜装置 |
2016/8/17 |
2017536769 |
特許 |
電子部品の製造方法および処理システム |
2016/8/12 |
2016158649 |
特許 |
成膜方法 |
2016/8/8 |
2016155395 |
特許 |
半導体デバイス |
2016/8/5 |
2016016823 |
意匠 |
スパッタリングターゲット |
2016/8/5 |
2016016824 |
意匠 |
スパッタリングターゲット |
2016/8/5 |
2016016825 |
意匠 |
スパッタリングターゲット |
2016/8/5 |
2016016821 |
意匠 |
スパッタリングターゲット |
2016/8/5 |
2016016820 |
意匠 |
スパッタリングターゲット |
2016/8/5 |
2016016822 |
意匠 |
スパッタリングターゲット |
2016/8/4 |
2016153439 |
特許 |
スパッタリング装置用成膜ユニット及び成膜装置 |
2016/7/29 |
2016149937 |
特許 |
基板搬送ロボット、真空処理装置 |
2016/7/28 |
2017535312 |
特許 |
基板処理方法、および、基板処理装置 |
2016/7/22 |
2016144606 |
特許 |
酸化亜鉛化合物膜の成膜方法、および、酸化亜鉛化合物膜 |
2016/7/11 |
2016136510 |
特許 |
火山灰焼結体及びその製造方法 |
2016/6/29 |
2016128394 |
特許 |
成膜方法 |
2016/6/23 |
2016124478 |
特許 |
応力調整方法 |
2016/6/23 |
2017526170 |
特許 |
基板搬送方法 |
2016/6/22 |
2016123924 |
特許 |
HBC型結晶系太陽電池の製造方法 |
2016/6/20 |
2016121649 |
特許 |
透明導電膜付き基板、液晶パネル及び透明導電膜付き基板の製造方法 |
2016/6/15 |
2017525275 |
特許 |
ゲートバルブ |
2016/6/15 |
2017525276 |
特許 |
パターン成膜装置 |
2016/6/10 |
2016115950 |
特許 |
シリコン酸化層形成方法 |
2016/6/10 |
2016548388 |
特許 |
スパッタリング装置及びその状態判別方法 |
2016/6/8 |
2017526255 |
特許 |
基板処理装置 |
2016/6/8 |
2016114624 |
特許 |
成膜方法及び成膜装置 |
2016/6/7 |
2017523645 |
特許 |
基板保持装置及び成膜装置 |
2016/6/6 |
2016563493 |
特許 |
巻取式成膜装置及び巻取式成膜方法 |
2016/6/1 |
2016110397 |
特許 |
成膜装置 |
2016/5/30 |
2016107179 |
特許 |
透明導電膜付き基板の製造方法 |
2016/5/27 |
2017520818 |
特許 |
光学薄膜製造方法、光学フィルム製造方法 |
2016/5/24 |
2017521682 |
特許 |
静電チャック付き搬送ロボットの制御システム |
2016/5/24 |
2016103578 |
特許 |
イオンプレーティング装置 |
2016/5/17 |
2017518765 |
特許 |
マグネトロンスパッタリング装置用の回転式カソードユニット |
2016/5/16 |
2016098206 |
特許 |
電子部品の製造方法および処理システム |
2016/5/13 |
2017519188 |
特許 |
基板除電機構及びこれを用いた真空処理装置 |
2016/5/11 |
2017520213 |
特許 |
マグネトロンスパッタリング装置 |
2016/5/10 |
2016094874 |
特許 |
水分検出素子製造方法、水崩壊性配線膜製造方法、水崩壊性薄膜製造方法、水分検出素子 |
2016/4/28 |
2016091020 |
特許 |
培養装置及び培養方法 |
2016/4/18 |
2017514109 |
特許 |
透明導電性基板及びその製造方法、並びに、透明導電性基板の製造装置 |
2016/4/14 |
2016081277 |
特許 |
スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
2016/4/12 |
2017512536 |
特許 |
基板の保持方法 |
2016/4/11 |
2017512529 |
特許 |
吸着装置、真空処理装置 |
2016/4/5 |
2016075561 |
特許 |
蒸発源、真空蒸着装置および真空蒸着方法 |
2016/4/1 |
2016073834 |
特許 |
ピラニ真空計 |
2016/4/1 |
2017510247 |
特許 |
吸着方法及び真空処理方法 |
2016/3/31 |
2017510190 |
特許 |
吸着装置及び真空処理装置 |
2016/3/15 |
2016533669 |
特許 |
高周波スパッタリング装置及びスパッタリング方法 |
2016/3/15 |
2017509243 |
特許 |
カソードアッセンブリ |
2016/3/11 |
2017508222 |
特許 |
透明導電性基板及び透明積層構造体 |
2016/3/9 |
2016045530 |
特許 |
凸版反転印刷用導電性金属インク及びそれを用いた金属配線の形成方法 |
2016/2/25 |
2016004086 |
意匠 |
溶液撹拌器具 |
2016/2/24 |
2016556907 |
特許 |
成膜装置及び成膜方法 |
2016/2/17 |
2016027579 |
特許 |
電源装置、真空処理装置 |
2016/2/16 |
2016027145 |
特許 |
溶接方法及び溶接装置 |
2016/2/16 |
2016524622 |
特許 |
酸化アルミニウム膜の成膜方法及び形成方法並びにスパッタリング装置 |
2016/2/10 |
2017503333 |
特許 |
三極管型電離真空計 |
2016/2/10 |
2017507357 |
特許 |
三極管型電離真空計 |
2016/2/5 |
2016020676 |
特許 |
成膜装置及び基板判別方法 |
2016/2/4 |
2016020114 |
特許 |
プラズマ処理装置 |
2016/1/29 |
2017506125 |
特許 |
薄膜形成装置 |
2016/1/27 |
2016013457 |
特許 |
成膜方法 |
2016/1/8 |
2017500311 |
特許 |
接触式給電装置 |
2016/1/8 |
2017501884 |
特許 |
マグネトロンスパッタリング装置用の回転式カソードユニット |
2016/1/8 |
2016543086 |
特許 |
プラズマ処理装置 |
2016/1/6 |
2016001348 |
特許 |
成膜方法 |
2016/1/6 |
2016001389 |
特許 |
成膜方法 |
2015/12/24 |
2015252620 |
特許 |
スパッタリング装置及びスパッタリング方法 |
2015/12/21 |
2015248469 |
特許 |
レーザー加工装置、レーザー加工方法、および、接合体の製造方法 |
2015/12/18 |
2015247913 |
特許 |
フィルム搬送装置 |
2015/12/18 |
2015247066 |
特許 |
油回転真空ポンプ |
2015/12/18 |
2015247915 |
特許 |
蒸発源および巻取式真空蒸着装置 |
2015/12/15 |
2016568175 |
特許 |
スクリュー真空ポンプ |
2015/12/4 |
2016518207 |
特許 |
電子ビーム蒸発源及び真空蒸着装置 |
2015/12/1 |
2015234755 |
特許 |
熱CVD装置 |
2015/11/30 |
2016562619 |
特許 |
基板監視装置、および、基板監視方法 |
2015/11/9 |
2015109515 |
商標 |
ULVirom |
2015/11/5 |
2015107829 |
商標 |
MICROPADDLE |
2015/11/5 |
2015217287 |
特許 |
インターロック装置および気体圧装置 |
2015/10/26 |
2015209832 |
特許 |
スクリューポンプ |
2015/10/14 |
2015203295 |
特許 |
スパッタリング装置 |
2015/10/7 |
2016570212 |
特許 |
撹拌装置 |
2015/10/2 |
2015196865 |
特許 |
生体材料の製造方法、人工血管用材料の製造方法、及び生体材料 |
2015/9/18 |
2015185914 |
特許 |
真空処理装置 |
2015/9/14 |
2016513920 |
特許 |
XYステージ、アライメント装置、蒸着装置 |
2015/9/4 |
2016547415 |
特許 |
真空処理装置 |
2015/8/26 |
2015167095 |
特許 |
抗菌部材の形成方法、および、抗菌部材 |
2015/8/24 |
2015559340 |
特許 |
水反応性Al複合材料、水反応性Al合金溶射膜、このAl合金溶射膜の製造方法、及び成膜室用構成部材 |
2015/8/21 |
2015164005 |
特許 |
樹脂基板の加工方法 |
2015/8/21 |
2015164182 |
特許 |
タッチパネル |
2015/8/20 |
2015162603 |
特許 |
ターゲットアッセンブリ |
2015/8/20 |
2015018294 |
意匠 |
溶液撹拌器具 |
2015/7/30 |
2015150369 |
特許 |
非接触式の給電システム |
2015/7/29 |
2015559356 |
特許 |
深紫外LED及びその製造方法 |
2015/7/29 |
2016544925 |
特許 |
膜厚モニタおよび膜厚測定方法 |
2015/7/28 |
2016538347 |
特許 |
基板処理装置及び基板処理方法 |
2015/7/23 |
2016538297 |
特許 |
基板処理装置 |
2015/7/21 |
2016537739 |
特許 |
水晶振動子の交換方法および膜厚モニタ |
2015/7/15 |
2016549903 |
特許 |
スパッタリング装置 |
2015/7/15 |
2015141191 |
特許 |
スパッタ装置及びスパッタ装置の駆動方法 |
2015/7/15 |
2015141601 |
特許 |
温度測定方法 |
2015/7/13 |
2015139979 |
特許 |
真空乾燥装置および真空乾燥方法 |
2015/7/10 |
2016534107 |
特許 |
膜厚制御装置、膜厚制御方法および成膜装置 |
2015/6/18 |
2016539811 |
特許 |
ターゲットアッセンブリ |
2015/6/16 |
2016562198 |
特許 |
ターゲットアッセンブリ |
2015/6/11 |
2016529293 |
特許 |
多層膜並びにその製造方法及びその製造装置 |
2015/6/11 |
2016529290 |
特許 |
PZT薄膜積層体の製造方法 |
2015/6/11 |
2016529292 |
特許 |
多層膜及びその製造方法 |
2015/6/2 |
2015562974 |
特許 |
絶縁物ターゲット |
2015/5/22 |
2016523133 |
特許 |
成膜装置、有機膜の膜厚測定方法および有機膜用膜厚センサ |
2015/5/18 |
2015101129 |
特許 |
正極活物質膜、および、成膜方法 |
2015/5/15 |
2016530808 |
特許 |
回転機構及びこの回転機構を備えた膜厚モニター |
2015/5/13 |
2015097879 |
特許 |
シート状のマスク |
2015/4/28 |
2016516393 |
特許 |
タッチパネル及びその製造方法、並びに、表示装置及びその製造方法 |
2015/4/15 |
2015083674 |
特許 |
保持装置、真空処理装置 |
2015/3/18 |
2015054699 |
特許 |
イオンビーム装置、イオン注入装置、イオンビーム放出方法 |
2015/3/10 |
2016509978 |
特許 |
成膜装置及び成膜方法 |
2015/3/4 |
2015042858 |
特許 |
タッチパネルおよび透明導電性基板 |
2015/3/3 |
2015041536 |
特許 |
冷陰極電離真空計 |
2015/2/27 |
2015539326 |
特許 |
イオン照射装置、イオン照射方法 |
2015/2/25 |
2015542505 |
特許 |
プラズマエッチング方法、プラズマエッチング装置、プラズマ処理方法、およびプラズマ処理装置 |
2015/2/25 |
2015035572 |
特許 |
隔膜真空計、および、隔膜真空計の製造方法 |
2015/2/24 |
2015034569 |
特許 |
マグネトロンスパッタリング装置用の磁石ユニット及びこの磁石ユニットを用いたスパッタリング方法 |
2015/2/13 |
2016503967 |
特許 |
抵抗変化素子及びその製造方法 |
2015/2/10 |
2016509937 |
特許 |
真空溶解鋳造装置 |
2015/2/5 |
2015562727 |
特許 |
カーボン電極膜の形成方法および相変化型メモリ素子の製造方法 |
2015/2/3 |
2015560980 |
特許 |
薄膜製造装置、薄膜製造方法 |
2015/1/30 |
2015016983 |
特許 |
成膜方法及び発光ダイオードの製造方法 |
2015/1/21 |
2015559091 |
特許 |
プラズマ処理装置、及びウェハ搬送用トレイ |
2015/1/20 |
2015008701 |
特許 |
スパッタリング装置、薄膜製造方法 |
2015/1/8 |
2015002293 |
特許 |
マイクロバンプの製造方法 |
2015/1/8 |
2015002292 |
特許 |
レジスト構造体の製造方法 |
2014/12/19 |
2014256798 |
特許 |
スパッタリング装置 |
2014/12/18 |
2014256519 |
特許 |
アルカリ金属-硫黄電池用正極及びこれを備えた二次電池の製造方法 |
2014/12/12 |
2014251865 |
特許 |
吸着装置、真空処理装置、真空処理方法 |
2014/12/12 |
2014251866 |
特許 |
真空処理方法 |
2014/12/11 |
2014251250 |
特許 |
ロータリーカソード、および、スパッタ装置 |
2014/12/9 |
2014249370 |
特許 |
ロータリーカソード、および、スパッタ装置 |
2014/12/9 |
2014249369 |
特許 |
ロータリーカソード、および、スパッタ装置 |
2014/12/5 |
2014246677 |
特許 |
真空乾燥の終点検知方法及び真空乾燥装置 |
2014/12/5 |
2015553358 |
特許 |
電子銃装置及び真空蒸着装置 |
2014/11/26 |
2015552306 |
特許 |
インライン式成膜装置の成膜準備方法及びインライン式成膜装置並びにキャリア |
2014/11/10 |
2014228015 |
特許 |
基板搬送方法 |
2014/11/4 |
2014224427 |
特許 |
基板割れ判定方法 |
2014/10/24 |
2015508911 |
特許 |
深紫外LED及びその製造方法 |
2014/10/15 |
2015553344 |
特許 |
リチウム硫黄二次電池用の正極 |
2014/10/15 |
2015553343 |
特許 |
リチウム硫黄二次電池用の正極及びその形成方法 |
2014/10/15 |
2015548967 |
特許 |
超音波プローブ及びこの超音波プローブを用いた生体の血圧測定方法 |
2014/10/1 |
2014202910 |
特許 |
機能性素子、二酸化バナジウム薄膜製造方法 |
2014/10/1 |
2014202909 |
特許 |
機能性素子、二酸化バナジウム薄膜製造方法 |
2014/9/25 |
2014194686 |
特許 |
水晶振動子、この水晶振動子を有するセンサヘッド、成膜制御装置、および成膜制御装置の製造方法 |
2014/9/25 |
2014195132 |
特許 |
燃料電池用金属セパレータの製造方法 |
2014/9/17 |
2015539136 |
特許 |
基板処理装置、および、成膜装置 |
2014/9/9 |
2014183644 |
特許 |
冷却ファンの取付構造 |
2014/9/5 |
2014181684 |
特許 |
水反応性Al合金溶射膜の製造方法 |
2014/9/4 |
2014180071 |
特許 |
排ガス浄化用触媒の製造方法 |
2014/9/2 |
2014177934 |
特許 |
排ガス浄化用触媒の製造方法 |
2014/9/1 |
2014176970 |
特許 |
真空処理装置 |
2014/8/20 |
2014167944 |
特許 |
洗浄廃水の電気透析装置及び電気透析方法 |
2014/8/20 |
2014167946 |
特許 |
電気分解装置及びその製造方法並びに電気分解方法 |
2014/8/5 |
2014159818 |
特許 |
基板ホルダおよび基板着脱方法 |
2014/7/31 |
2014156932 |
特許 |
永久磁石の製造方法 |
2014/7/22 |
2014148442 |
特許 |
真空処理装置 |
2014/7/18 |
2014147600 |
特許 |
漏洩検知方法 |
2014/7/16 |
2015119913 |
特許 |
フォトニック結晶周期構造のパラメータ計算方法、プログラム及び記録媒体 |
2014/7/16 |
2014555004 |
特許 |
半導体発光素子及びフォトニック結晶周期構造のパラメータ計算方法 |
2014/7/10 |
2015504805 |
特許 |
タッチパネル、その製造方法、光学薄膜基板、およびその製造方法 |
2014/7/10 |
2014057941 |
商標 |
DRYMONI |
2014/7/2 |
2014136815 |
特許 |
成膜装置及び成膜装置のメンテナンス方法 |
2014/6/30 |
2014133868 |
特許 |
スパッタリング方法 |
2014/6/17 |
2014124507 |
特許 |
透明導電性基板およびその製造方法、並びにタッチパネル |
2014/5/21 |
2015521279 |
特許 |
素子構造体及びその製造方法 |
2014/5/20 |
2014104772 |
特許 |
凹部形成方法及び熱処理炉 |
2014/5/20 |
2014104774 |
特許 |
放射線像変換パネルの製造方法及び放射線像変換パネル |
2014/5/2 |
2015517036 |
特許 |
搭載装置およびその製造方法 |
2014/3/28 |
2014069893 |
特許 |
窒化ガリウム膜のエッチング方法 |
2014/3/20 |
2014058711 |
特許 |
熱陰極電離真空計 |
2014/3/14 |
2014051229 |
特許 |
量子ドット分散液 |
2014/3/13 |
2014050497 |
特許 |
基板吸着離脱機構、基板搬送装置及び真空装置 |
2014/3/4 |
2014042189 |
特許 |
スパッタリングカソード |
2014/2/13 |
2014025899 |
特許 |
ハードマスク形成方法及びハードマスク形成装置 |
2014/2/12 |
2014023994 |
特許 |
基板吸着離脱機構及び真空装置 |
2014/2/4 |
2014019831 |
特許 |
成膜方法 |
2014/1/29 |
2014014580 |
特許 |
タッチパネル |
2014/1/24 |
2014011237 |
特許 |
成膜方法 |
2014/1/22 |
2014009365 |
特許 |
成膜装置および成膜方法 |
2014/1/22 |
2014009367 |
特許 |
基板保持装置および成膜装置 |
2014/1/7 |
2014000982 |
特許 |
有機ELデバイスの製造装置 |
2014/1/7 |
2014000981 |
特許 |
有機ELデバイスの製造装置 |
2013/12/27 |
2013273001 |
特許 |
透明導電膜の製造方法、及び透明導電膜の製造装置 |
2013/12/17 |
2013259738 |
特許 |
リチウム硫黄二次電池用正極の形成方法 |
2013/12/16 |
2013259237 |
特許 |
リチウム硫黄二次電池用の正極及びその形成方法 |
2013/12/9 |
2013254439 |
特許 |
リチウム硫黄二次電池用の正極の形成方法及びリチウム硫黄二次電池用正極 |
2013/12/6 |
2013253368 |
特許 |
位置合装置、薄膜形成装置 |
2013/12/3 |
2013249928 |
特許 |
液相エピタキシャル成長装置及び液相エピタキシャル成長方法 |
2013/11/18 |
2013238125 |
特許 |
電流測定装置、および、イオン電流測定システム |
2013/11/18 |
2013238126 |
特許 |
電流測定装置、および、イオン電流測定システム |
2013/11/11 |
2013232794 |
特許 |
スパッタリング方法 |
2013/11/11 |
2013232873 |
特許 |
酸化膜形成方法、ボロメータ素子製造方法 |
2013/10/31 |
2013227645 |
特許 |
蒸発装置、成膜装置 |
2013/10/21 |
2013218488 |
特許 |
基板搬送装置および基板処理装置 |
2013/10/16 |
2013215682 |
特許 |
ワイヤーグリッド偏光子の製造方法、および、ワイヤーグリッド偏光子用基材 |
2013/10/10 |
2013212676 |
特許 |
成膜装置、成膜方法及び金属酸化物薄膜の製造方法 |
2013/10/3 |
2014547590 |
特許 |
反応性スパッタ装置 |
2013/10/3 |
2015117781 |
特許 |
反応性スパッタ装置 |
2013/10/1 |
2013206485 |
特許 |
金属水酸化物の製造方法及びスパッタリングターゲットの製造方法 |
2013/9/12 |
2013189799 |
特許 |
タッチパネルおよびタッチパネルの製造方法 |
2013/8/29 |
2013177683 |
特許 |
磁気抵抗素子の製造方法 |
2013/8/29 |
2013178628 |
特許 |
量子ドット増感型太陽電池用光電極の作製方法 |
2013/8/29 |
2013177686 |
特許 |
磁気抵抗素子の製造方法 |
2013/8/29 |
2013178627 |
特許 |
量子ドット増感型太陽電池用光電極の作製方法 |
2013/8/29 |
2013178082 |
特許 |
成膜装置及び成膜方法 |
2013/8/28 |
2013019745 |
意匠 |
成膜機 |
2013/8/27 |
2014534171 |
特許 |
抵抗変化素子及びその製造方法 |
2013/8/26 |
2013174232 |
特許 |
イオン注入装置及びイオン注入方法 |
2013/7/25 |
2014511620 |
特許 |
成膜方法および成膜装置 |
2013/7/9 |
2013144007 |
特許 |
漏洩検知装置 |
2013/7/8 |
2013142297 |
特許 |
ドライエッチング装置 |
2013/7/8 |
2013143073 |
特許 |
Cu配線構造の形成方法 |
2013/6/27 |
2013135567 |
特許 |
位置合わせ装置、真空装置、位置合わせ方法 |
2013/6/24 |
2013131588 |
特許 |
成膜装置 |
2013/6/24 |
2017012178 |
特許 |
成膜装置 |
2013/6/24 |
2013131545 |
特許 |
ターゲットアセンブリ及びその製造方法 |
2013/6/21 |
2013131031 |
特許 |
成膜装置 |
2013/6/21 |
2013130641 |
特許 |
熱処理装置 |
2013/6/19 |
2014522563 |
特許 |
有機薄膜形成装置 |
2013/6/18 |
2013127128 |
特許 |
ガスクラスターイオンビーム装置 |
2013/6/13 |
2013124815 |
特許 |
真空処理装置 |
2013/6/12 |
2014522529 |
特許 |
成膜装置 |
2013/5/23 |
2013109216 |
特許 |
成膜装置 |
2013/5/23 |
2013108688 |
特許 |
真空処理装置、制振装置 |
2013/5/10 |
2014520883 |
特許 |
ハードマスクの製造方法 |
2013/4/26 |
2014515483 |
特許 |
成膜方法 |
2013/4/25 |
2013092178 |
特許 |
酸化皮膜の形成方法 |
2013/4/19 |
2013088505 |
特許 |
基板加熱機構、成膜装置 |
2013/4/8 |
2014509065 |
特許 |
ドライエッチング方法 |
2013/3/29 |
2013071214 |
特許 |
有機EL薄膜形成基板の製造方法 |
2013/3/29 |
2013073328 |
特許 |
金属セラミック接合体、隔膜真空計、金属とセラミックとの接合方法、および、隔膜真空計の製造方法 |
2013/3/27 |
2013067318 |
特許 |
真空成膜装置及び成膜方法 |
2013/3/27 |
2013066700 |
特許 |
容器搬送装置 |
2013/3/26 |
2014507907 |
特許 |
多関節ロボット、搬送装置 |
2013/3/22 |
2013059786 |
特許 |
窒化ガリウム膜の形成方法、及び、窒化ガリウム膜の形成装置 |
2013/3/7 |
2013016255 |
商標 |
Optius |
2013/3/7 |
2013044987 |
特許 |
電子銃及び電子ビームの放出方法 |
2013/2/19 |
2013030482 |
特許 |
アラインメント方法 |
2013/2/18 |
2013549085 |
特許 |
素子の製造方法 |
2013/2/13 |
2013558704 |
特許 |
イオンビーム照射装置 |
2013/2/4 |
2013019768 |
特許 |
薄型基板処理装置 |
2013/2/4 |
2013019767 |
特許 |
薄型基板処理装置 |
2013/1/30 |
2013015454 |
特許 |
基板吸着検知方法 |
2013/1/23 |
2013010441 |
特許 |
インクジェット装置および液滴測定方法 |
2013/1/18 |
2013007182 |
特許 |
レーザ転写装置 |
2013/1/18 |
2013007457 |
特許 |
姿勢制御装置 |
2013/1/18 |
2013132345 |
特許 |
レーザ転写装置 |
2013/1/15 |
2013554292 |
特許 |
成膜装置 |
2013/1/15 |
2013004357 |
特許 |
アラインメント装置、及びアラインメント方法 |
2013/1/8 |
2013001219 |
特許 |
物質の粘弾性係数の測定方法 |