2022/8/31 |
2022100481 |
商標 |
ここは、小さな地球だ。 |
2022/8/31 |
2022100480 |
商標 |
§AQUAPONICS |
2022/8/29 |
2022099322 |
商標 |
E‐PONIX |
2022/8/9 |
2022569487 |
特許 |
めっき装置、及び、めっき方法 |
2022/8/8 |
2022569485 |
特許 |
プリウェットモジュール |
2022/8/2 |
2022560522 |
特許 |
めっき方法、及び、めっき装置 |
2022/7/1 |
2022106977 |
特許 |
基板ホルダ、めっき装置、及びめっき方法 |
2022/6/24 |
2022013601 |
意匠 |
ポンプ用羽根車 |
2022/6/20 |
2022548586 |
特許 |
アノード室の液管理方法、及びめっき装置 |
2022/6/17 |
2022549279 |
特許 |
リーク判定方法およびめっき装置 |
2022/6/17 |
2022554797 |
特許 |
めっき装置 |
2022/6/1 |
2022557181 |
特許 |
めっき装置 |
2022/5/27 |
2022553636 |
特許 |
めっき装置用抵抗体、及び、めっき装置 |
2022/5/10 |
2022077347 |
特許 |
めっき装置 |
2022/4/22 |
2022070681 |
特許 |
めっき装置 |
2022/4/21 |
2022549277 |
特許 |
めっき装置 |
2022/4/18 |
2022044484 |
商標 |
荏原は女性技術者の活躍を推進します |
2022/4/15 |
2022043815 |
商標 |
§EBARA |
2022/4/5 |
2022007380 |
意匠 |
渦巻ポンプ |
2022/3/31 |
2022542036 |
特許 |
めっき装置及びめっき方法 |
2022/3/28 |
2022035106 |
商標 |
§EBARA∞清流こまち |
2022/3/22 |
2022032058 |
商標 |
REIHAKu |
2022/3/16 |
2022005390 |
意匠 |
振動センサのバッテリーユニット用部材 |
2022/3/16 |
2022005389 |
意匠 |
振動センサのバッテリーユニット用部材 |
2022/3/16 |
2022005388 |
意匠 |
振動センサのバッテリーユニット用ケース |
2022/3/1 |
2022030876 |
特許 |
めっき装置 |
2022/2/16 |
2022531467 |
特許 |
めっき装置、及びめっき方法 |
2022/2/14 |
2022002725 |
意匠 |
モータ |
2022/2/14 |
2022002726 |
意匠 |
モータ |
2022/2/7 |
2022521682 |
特許 |
めっき装置 |
2022/1/31 |
2022527768 |
特許 |
めっき装置、およびめっき方法 |
2022/1/27 |
2022001515 |
意匠 |
ポンプケーシング |
2022/1/27 |
2022001512 |
意匠 |
ポンプケーシング |
2022/1/27 |
2022001513 |
意匠 |
ポンプケーシング |
2022/1/27 |
2022001514 |
意匠 |
ポンプケーシング |
2022/1/12 |
2022000387 |
意匠 |
キャンドモータポンプ |
2021/12/20 |
2022507852 |
特許 |
めっき装置のメンテナンス方法 |
2021/12/6 |
2022066972 |
特許 |
めっき方法及びめっき装置 |
2021/12/6 |
2022516674 |
特許 |
めっき方法及びめっき装置 |
2021/11/25 |
2021191263 |
特許 |
めっき装置、およびめっき方法 |
2021/11/9 |
2021575491 |
特許 |
めっき装置 |
2021/11/5 |
2021138092 |
商標 |
EBARAメンテナンスクラウド |
2021/11/5 |
2022516208 |
特許 |
めっき装置、及びめっき装置の製造方法 |
2021/11/4 |
2022521687 |
特許 |
めっき装置および基板洗浄方法 |
2021/11/4 |
2022505331 |
特許 |
めっき装置および基板洗浄方法 |
2021/11/4 |
2022519586 |
特許 |
めっき装置およびコンタクト洗浄方法 |
2021/10/28 |
2022517964 |
特許 |
めっき装置 |
2021/10/28 |
2022513966 |
特許 |
めっき装置 |
2021/10/18 |
2022506282 |
特許 |
めっき方法及びめっき装置 |
2021/10/18 |
2022505330 |
特許 |
めっき処理方法 |
2021/10/14 |
2022531464 |
特許 |
プリウェット処理方法 |
2021/9/28 |
2022515042 |
特許 |
めっき装置 |
2021/9/22 |
2021154525 |
特許 |
プリウェットモジュール、脱気液循環システム、およびプリウェット方法 |
2021/9/10 |
2021575490 |
特許 |
めっき装置及びリンス処理方法 |
2021/8/17 |
2021101912 |
商標 |
エバラクラウド |
2021/8/17 |
2021101911 |
商標 |
EBARA CLOUD |
2021/8/17 |
2021101913 |
商標 |
荏原クラウド |
2021/6/18 |
2022516191 |
特許 |
めっき装置及びめっき方法 |
2021/6/17 |
2021557259 |
特許 |
めっき装置及びめっき方法 |
2021/6/17 |
2021559593 |
特許 |
抵抗体、及び、めっき装置 |
2021/6/11 |
2021571619 |
特許 |
めっき装置 |
2021/6/4 |
2021561022 |
特許 |
めっき装置 |
2021/6/1 |
2022523945 |
特許 |
めっき装置およびめっき方法 |
2021/5/31 |
2021555540 |
特許 |
プリウェットモジュール、およびプリウェット方法 |
2021/5/27 |
2021011298 |
意匠 |
カップリングガード |
2021/4/12 |
2021007650 |
意匠 |
自動給水ポンプ |
2021/4/12 |
2021007651 |
意匠 |
自動給水ポンプ |
2021/3/17 |
2021533421 |
特許 |
めっき装置及びめっき装置のコンタクト部材洗浄方法 |
2021/3/10 |
2021145546 |
特許 |
めっき装置及び気泡除去方法 |
2021/3/10 |
2021541623 |
特許 |
めっき装置、およびめっき方法 |
2021/3/10 |
2021538049 |
特許 |
めっき装置及び気泡除去方法 |
2021/3/5 |
2021539013 |
特許 |
めっきモジュールを調整する方法 |
2021/3/3 |
2021539016 |
特許 |
基板ホルダ、めっき装置、及びめっき装置の製造方法 |
2021/2/26 |
2022516187 |
特許 |
基板ホルダの保管方法、めっき装置 |
2021/2/25 |
2021530232 |
特許 |
めっき装置及びめっき装置の気泡除去方法 |
2021/2/22 |
2021527215 |
特許 |
めっき装置 |
2021/1/20 |
2021523519 |
特許 |
めっき装置及び基板の膜厚測定方法 |
2021/1/15 |
2021004406 |
商標 |
荏原レスキュー |
2021/1/8 |
2022516184 |
特許 |
基板ホルダ、めっき装置、めっき方法、及び記憶媒体 |
2020/12/28 |
2021520452 |
特許 |
基板の接液方法、およびめっき装置 |
2020/12/28 |
2021518198 |
特許 |
めっき装置、およびめっき装置の動作制御方法 |
2020/12/28 |
2021519676 |
特許 |
めっき装置 |
2020/12/25 |
2021523520 |
特許 |
めっき装置、めっき装置の制御方法 |
2020/12/23 |
2021520236 |
特許 |
めっき装置、およびめっき処理方法 |
2020/12/22 |
2021518979 |
特許 |
めっき装置、プリウェット処理方法及び洗浄処理方法 |
2020/12/21 |
2021517503 |
特許 |
めっき装置及びめっき液の撹拌方法 |
2020/12/18 |
2020027290 |
意匠 |
半導体ウェハ研磨装置用弾性膜 |
2020/12/18 |
2020027291 |
意匠 |
基板保持リング |
2020/12/10 |
2020152655 |
商標 |
§Q∞QiDe |
2020/12/9 |
2021516709 |
特許 |
めっき装置、および基板ホルダ操作方法 |
2020/12/8 |
2021512282 |
特許 |
めっき装置及びめっき処理方法 |
2020/12/3 |
2021510988 |
特許 |
めっき装置、およびめっき方法 |
2020/11/24 |
2020025275 |
意匠 |
ラインポンプ |
2020/11/16 |
2021512281 |
特許 |
プレート、めっき装置、及びプレートの製造方法 |
2020/11/12 |
2020024423 |
意匠 |
ポンプケーシング |
2020/11/12 |
2020024422 |
意匠 |
ポンプケーシング |
2020/11/2 |
2020023676 |
意匠 |
ラインポンプ |
2020/9/30 |
2020164735 |
特許 |
機械学習装置、摺動面診断装置、推論装置、機械学習方法、機械学習プログラム、摺動面診断方法、摺動面診断プログラム、推論方法、及び、推論プログラム |
2020/9/8 |
2020111443 |
商標 |
DHECR-TB2 |
2020/9/4 |
2020110060 |
商標 |
§X bility |
2020/9/4 |
2020110058 |
商標 |
クロスビリティー |
2020/9/4 |
2020110059 |
商標 |
X-bility |
2020/8/18 |
2020101896 |
商標 |
§Z∞ZERUNOS |
2020/7/15 |
2020121115 |
特許 |
基板洗浄装置、基板処理装置、基板洗浄方法およびノズル |
2020/6/1 |
2020067246 |
商標 |
つながるポンプ |
2020/5/29 |
2020010642 |
意匠 |
ポンプ振動センサ用ケース |
2020/5/26 |
2020119246 |
特許 |
金属担持不織布及びその製造方法、触媒、不飽和化合物の水素化方法、並びに炭素-窒素結合の形成方法 |
2020/5/26 |
2020091324 |
特許 |
金属担持不織布及びその製造方法、触媒、不飽和化合物の水素化方法、並びに炭素-窒素結合の形成方法 |
2020/5/25 |
2020064445 |
商標 |
QiDe |
2020/5/25 |
2020064450 |
商標 |
キーディコンソール |
2020/5/25 |
2020064447 |
商標 |
QiDe‐Link |
2020/5/25 |
2020064449 |
商標 |
QiDe‐Console |
2020/5/25 |
2020064446 |
商標 |
キーディ |
2020/5/25 |
2020064448 |
商標 |
キーディリンク |
2020/5/15 |
2020009569 |
意匠 |
基板洗浄用ローラ軸 |
2020/4/28 |
2020008706 |
意匠 |
モータ |
2020/4/28 |
2020008707 |
意匠 |
モータ |
2020/4/28 |
2020008708 |
意匠 |
モータ |
2020/2/21 |
2020028444 |
特許 |
ポンプ装置の状態を表示する表示方法、ポンプ装置、ポンプシステム、コンピュータプログラム、および表示器 |
2020/2/20 |
2020027004 |
特許 |
パドル、該パドルを備えた処理装置、および該パドルの製造方法 |
2019/12/25 |
2019234071 |
特許 |
洗浄装置、研磨装置、洗浄装置において基板の回転速度を算出する装置および方法 |
2019/12/20 |
2019230480 |
特許 |
基板処理装置および基板処理方法 |
2019/12/17 |
2019226914 |
特許 |
レジスト除去システムおよびレジスト除去方法 |
2019/12/17 |
2019226972 |
特許 |
レジスト除去システムおよびレジスト除去方法 |
2019/12/16 |
2019226547 |
特許 |
渦電流センサの出力信号処理回路および出力信号処理方法 |
2019/12/13 |
2019225776 |
特許 |
基板ホルダ |
2019/12/13 |
2019225777 |
特許 |
基板ホルダ |
2019/12/10 |
2019222916 |
特許 |
ポンプ装置及びポンプシステム |
2019/12/9 |
2019221931 |
特許 |
パッドの表面温度を調整するためのシステムおよび研磨装置 |
2019/11/28 |
2019215519 |
特許 |
学習機能付き給水装置、学習機能付き給水システム |
2019/11/15 |
2020135818 |
特許 |
ポンプを備えるシステムの制御パラメータを変更する方法、制御パラメータを管理する管理方法、表示方法、管理装置、およびシステム |
2019/11/15 |
2019207029 |
特許 |
ポンプを備えるシステムの制御パラメータを変更する方法、制御パラメータを管理する管理方法、表示方法、管理装置、およびシステム |
2019/10/17 |
2019134226 |
商標 |
§bility |
2019/10/15 |
2019188807 |
特許 |
真空ポンプ装置 |
2019/10/10 |
2019186629 |
特許 |
排気システムおよび排気方法 |
2019/10/4 |
2019183674 |
特許 |
基板ホルダ及び基板処理装置 |
2019/10/2 |
2019182083 |
特許 |
中間ケーシングおよびこれを備える水中ポンプ |
2019/9/30 |
2019127168 |
商標 |
X-bility |
2019/9/18 |
2019169007 |
特許 |
機械学習装置、基板処理装置、学習済みモデル、機械学習方法、機械学習プログラム |
2019/9/11 |
2019165527 |
特許 |
ポンプ装置の状態を表示する表示方法、ポンプ装置、ポンプシステム、コンピュータプログラム、表示器、および試験方法 |
2019/9/10 |
2019164407 |
特許 |
基板ホルダ及びそれを備えた基板めっき装置、並びに電気接点 |
2019/9/5 |
2019118388 |
商標 |
清流こまち |
2019/8/27 |
2019114373 |
商標 |
エバラナラバ |
2019/8/26 |
2019153950 |
特許 |
電磁石制御装置および電磁石システム |
2019/8/22 |
2019151825 |
特許 |
基板ホルダおよびめっき装置 |
2019/8/9 |
2019017841 |
意匠 |
電気接続端子 |
2019/7/31 |
2019017173 |
意匠 |
真空ポンプ用台座 |
2019/7/26 |
2019137755 |
特許 |
真空式液体搬送装置 |
2019/7/22 |
2019134833 |
特許 |
基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
2019/7/19 |
2019133217 |
特許 |
ガス溶解液製造装置 |
2019/7/19 |
2019016239 |
意匠 |
ガス処理用カラム |
2019/7/19 |
2019016241 |
意匠 |
ガス処理用カラム |
2019/7/19 |
2019016242 |
意匠 |
ガス処理用カラム |
2019/7/19 |
2019016240 |
意匠 |
ガス処理用カラム |
2019/7/19 |
2019133660 |
特許 |
水槽の状態を表示するための表示方法、ポンプ装置の水槽方式を設定するための設定方法、ポンプ装置、ポンプシステム、及び表示器 |
2019/7/12 |
2019129715 |
特許 |
調整方法及び電子線装置 |
2019/7/9 |
2019127501 |
特許 |
めっき装置 |
2019/7/2 |
2019123764 |
特許 |
AM装置 |
2019/6/28 |
2019120613 |
特許 |
電子ビーム照射装置 |
2019/6/27 |
2019119300 |
特許 |
排水機場 |
2019/6/27 |
2020527628 |
特許 |
バンプ高さ測定装置、基板処理装置、バンプ高さ測定方法、記憶媒体 |
2019/6/27 |
2019119895 |
特許 |
光学式膜厚測定装置の最適な動作レシピを決定する方法、装置、およびシステム |
2019/6/25 |
2019116821 |
特許 |
電子線検査装置の二次光学系を評価する方法 |
2019/6/25 |
2019013968 |
意匠 |
測定治具 |
2019/6/25 |
2019013967 |
意匠 |
測定治具 |
2019/6/25 |
2019013966 |
意匠 |
測定治具 |
2019/6/24 |
2019116348 |
特許 |
基板処理装置の揺動部品用のカバー、基板処理装置の揺動部品、および、基板処理装置 |
2019/6/20 |
2019114437 |
特許 |
液体供給装置の液抜き方法、液体供給装置 |
2019/6/14 |
2019111339 |
特許 |
めっき方法、めっき装置、プログラムを記憶する不揮発性の記憶媒体 |
2019/6/13 |
2019110430 |
特許 |
めっき装置 |
2019/6/12 |
2019109718 |
特許 |
研磨ヘッド、当該研磨ヘッドを備える研磨装置、および当該研磨装置を用いた研磨方法 |
2019/6/11 |
2019108375 |
特許 |
洗浄部材の着脱用治具 |
2019/6/10 |
2019107724 |
特許 |
アノードホルダ、及びめっき装置 |
2019/6/4 |
2019104150 |
特許 |
ガス溶解液供給装置およびガス溶解液供給方法 |
2019/5/31 |
2019102408 |
特許 |
温度調整装置および研磨装置 |
2019/5/30 |
2019101123 |
特許 |
ポンプ設備 |
2019/5/30 |
2019101611 |
特許 |
ダンパー制御システムおよびダンパー制御方法 |
2019/5/27 |
2019098753 |
特許 |
湿式基板処理装置 |
2019/5/24 |
2019097482 |
特許 |
ドローンシステム |
2019/5/24 |
2019097882 |
特許 |
両吸込渦巻ポンプ |
2019/5/21 |
2019095153 |
特許 |
造形物を製造するためのAM装置およびAM装置におけるビームの照射位置を試験する方法 |
2019/5/17 |
2019093404 |
特許 |
めっき方法、めっき用の不溶性アノード、及びめっき装置 |
2019/5/10 |
2019089756 |
特許 |
コバルトイオン吸着材及びその製造方法 |
2019/4/26 |
2019009604 |
意匠 |
ポンプ用羽根車 |
2019/4/26 |
2019009603 |
意匠 |
ポンプ用羽根車 |
2019/4/26 |
2019009605 |
意匠 |
ポンプ用羽根車 |
2019/4/24 |
2019009107 |
意匠 |
電気接続端子 |
2019/4/24 |
2019009106 |
意匠 |
電気接続端子 |
2019/4/23 |
2019081737 |
特許 |
先行待機型ポンプ |
2019/4/19 |
2019080389 |
特許 |
ポンプシステム、ポンプシステムの清掃方法 |
2019/4/16 |
2019052678 |
商標 |
§Z∞ZERUNOS |
2019/4/12 |
2019076464 |
特許 |
検査装置 |
2019/4/9 |
2019074012 |
特許 |
基板処理装置および基板洗浄方法 |
2019/4/9 |
2019074397 |
特許 |
搬送装置、ワーク処理装置、搬送装置の制御方法、プログラムを記憶する記録媒体 |
2019/4/4 |
2019072182 |
特許 |
渦抑制装置を備えたポンプ |
2019/4/4 |
2019071994 |
特許 |
研磨パッドの表面性状測定装置を備えた研磨装置および研磨システム |
2019/3/29 |
2019067930 |
特許 |
熱交換器の洗浄装置、および研磨装置 |
2019/3/28 |
2019062460 |
特許 |
セシウム及び/又はストロンチウムを含有する廃液の処理方法 |
2019/3/27 |
2019060336 |
特許 |
立軸ポンプおよび摩耗量検出方法 |
2019/3/26 |
2019058460 |
特許 |
異物除去装置を備えたポンプ |
2019/3/11 |
2019043274 |
特許 |
信号処理装置、信号処理方法 |
2019/3/8 |
2019042511 |
特許 |
光触媒を用いた基板処理装置および基板処理方法 |
2019/3/6 |
2019041015 |
特許 |
基板処理装置 |
2019/3/4 |
2019038173 |
特許 |
研磨方法および研磨装置 |
2019/3/1 |
2019037464 |
特許 |
荷電粒子マルチビーム装置 |
2019/2/28 |
2019036719 |
特許 |
めっき装置 |
2019/2/28 |
2019035594 |
特許 |
多段カスケードポンプ装置、及び多段カスケードポンプ装置の羽根車隙間調整方法 |
2019/2/28 |
2019036056 |
特許 |
スケジューラ、基板処理装置、及び基板搬送方法 |
2019/2/27 |
2019034542 |
特許 |
研磨装置、研磨方法、プログラムを格納した記憶媒体 |
2019/2/22 |
2019030179 |
特許 |
基板研磨システム及び方法並びに基板研磨装置 |
2019/2/21 |
2019029446 |
特許 |
電子線照射装置および電子ビームの位置合わせ方法 |
2019/2/21 |
2019029543 |
特許 |
研磨装置、研磨方法、および研磨液供給位置決定プログラムを記録した記録媒体 |
2019/2/20 |
2019028534 |
特許 |
ドローンシステム |
2019/2/20 |
2019028126 |
特許 |
基板ホルダおよび当該基板ホルダを備えるめっき装置 |
2019/2/18 |
2019026263 |
特許 |
研磨装置および研磨方法 |
2019/2/18 |
2019026255 |
特許 |
研磨装置および研磨方法 |
2019/2/15 |
2019025572 |
特許 |
基板ホルダ及びめっき装置 |
2019/2/7 |
2019020880 |
特許 |
基板洗浄方法および基板洗浄装置 |
2019/2/6 |
2019019951 |
特許 |
表示操作器、給水装置、及び給水装置におけるポンプの運転方法 |
2019/2/1 |
2019017336 |
特許 |
制御システム、制御システムのプログラムを記録した記録媒体、および制御システムの方法 |
2019/1/31 |
2019001910 |
意匠 |
モータ |
2019/1/31 |
2019001911 |
意匠 |
モータ |
2019/1/31 |
2019001913 |
意匠 |
モータ |
2019/1/31 |
2019001912 |
意匠 |
モータ |
2019/1/30 |
2019014133 |
特許 |
基板洗浄装置、基板処理装置、洗浄部材のセルフクリーニング方法 |
2019/1/28 |
2019017163 |
商標 |
ZERUNOS |
2019/1/28 |
2019012298 |
特許 |
研磨方法および研磨装置 |
2019/1/24 |
2019010209 |
特許 |
情報処理システム、情報処理方法、プログラム及び基板処理装置 |
2019/1/22 |
2019008636 |
特許 |
単相誘導電動機 |
2019/1/22 |
2019008628 |
特許 |
内燃機関始動用空気供給システム及びポンプ設備 |
2019/1/21 |
2019007698 |
特許 |
希ガス回収システムおよび希ガス回収方法 |
2019/1/11 |
2019003449 |
特許 |
基板処理装置および基板処理装置において部分研磨されるべき領域を特定する方法 |
2019/1/10 |
2019002430 |
特許 |
研磨装置 |
2019/1/9 |
2019001969 |
特許 |
窒素酸化物を含むガスの処理装置、および処理方法 |
2018/12/28 |
2018247443 |
特許 |
めっき方法 |
2018/12/28 |
2018246913 |
特許 |
研磨レシピ決定装置 |
2018/12/28 |
2018247920 |
特許 |
移載機及びベベル研磨装置 |
2018/12/28 |
2018247321 |
特許 |
真空ポンプ装置 |
2018/12/27 |
2018028703 |
意匠 |
自動給水ポンプ |
2018/12/27 |
2018244439 |
特許 |
研磨装置および静止リングの傾きを制御する方法 |
2018/12/27 |
2018244440 |
特許 |
研磨装置および研磨方法 |
2018/12/27 |
2018244780 |
特許 |
渦抑制装置を備えたポンプ |
2018/12/27 |
2018028702 |
意匠 |
自動給水ポンプ |
2018/12/27 |
2018028704 |
意匠 |
自動給水ポンプ |
2018/12/26 |
2018243656 |
特許 |
研磨装置及び研磨部材のドレッシング方法 |
2018/12/25 |
2018241552 |
特許 |
回転機械装置 |
2018/12/21 |
2018240102 |
特許 |
研磨装置及び研磨部材のドレッシング方法 |
2018/12/21 |
2018239893 |
特許 |
基板ホルダのシールから液体を除去するための方法 |
2018/12/19 |
2018237427 |
特許 |
電動機組立体 |
2018/12/19 |
2018237428 |
特許 |
電動機組立体 |
2018/12/19 |
2018237430 |
特許 |
複数の電動機組立体を備えた駆動装置 |
2018/12/19 |
2018237429 |
特許 |
複数の電動機組立体を備えた駆動装置 |
2018/12/13 |
2018233823 |
特許 |
めっき可能な基板の枚数を予測する予測モデルを構築する方法、不具合を引き起こす構成部材を予想するための選択モデルを構築する方法、およびめっき可能な基板の枚数を予測する方法 |
2018/12/13 |
2018233019 |
特許 |
基板洗浄装置 |
2018/12/13 |
2018233413 |
特許 |
基板ホルダに使用するシール |
2018/12/7 |
2018229985 |
特許 |
すべり軸受装置及びポンプ |
2018/11/30 |
2018225355 |
特許 |
研磨装置 |
2018/11/29 |
2018223344 |
特許 |
動翼、タービン、および動翼の製造方法 |
2018/11/28 |
2018222266 |
特許 |
温度調整装置及び研磨装置 |
2018/11/21 |
2018217947 |
特許 |
水素搬送装置、および水素搬送方法 |
2018/11/21 |
2018218246 |
特許 |
基板ホルダに基板を保持させる方法 |
2018/11/20 |
2018216944 |
特許 |
立軸ポンプ |
2018/11/16 |
2018215456 |
特許 |
洗浄モジュール、洗浄モジュールを備える基板処理装置と洗浄方法 |
2018/11/15 |
2018214402 |
特許 |
基板ホルダ、めっき装置および基板のめっき方法 |
2018/11/13 |
2018212949 |
特許 |
ポンプ装置の懸架方法、およびポンプ装置 |
2018/11/13 |
2018213059 |
特許 |
ドローンを用いた消火システム |
2018/11/8 |
2018210865 |
特許 |
渦電流検出装置及び研磨装置 |
2018/11/6 |
2018209055 |
特許 |
ポンプケーシングおよびポンプ装置 |
2018/11/2 |
2018207197 |
特許 |
ポンプ装置、ポンプシステム、及び無線通信方法 |
2018/10/25 |
2019553775 |
特許 |
ブレーカ用ロックアウトキー取付具 |
2018/10/25 |
2018200762 |
特許 |
給水装置 |
2018/10/23 |
2018199150 |
特許 |
ポンプシステム |
2018/10/18 |
2018196732 |
特許 |
複数のポンプからなるポンプ群、およびポンプ選定装置 |
2018/10/18 |
2018196733 |
特許 |
ポンプに使用される羽根車 |
2018/10/17 |
2018195990 |
特許 |
磁性素子、及びそれを用いた渦電流式センサ |
2018/10/15 |
2018194305 |
特許 |
基板保持装置、および該基板保持装置を動作させる方法 |
2018/10/12 |
2018193042 |
特許 |
除害装置、除害装置の配管部の交換方法及び除害装置の配管の洗浄方法 |
2018/10/12 |
2018193312 |
特許 |
基板洗浄部材および基板洗浄装置 |
2018/10/10 |
2018192109 |
特許 |
制御盤構造および給水装置 |
2018/10/5 |
2018190133 |
特許 |
洗浄装置、これを備えためっき装置、及び洗浄方法 |
2018/10/5 |
2018190269 |
特許 |
弾性膜のストレッチ動作プログラム、弾性膜のストレッチ動作方法、および研磨装置 |
2018/10/5 |
2018190116 |
特許 |
基板ホルダに基板を保持させるためおよび/又は基板ホルダによる基板の保持を解除するための装置、および同装置を有するめっき装置 |
2018/10/4 |
2018188817 |
特許 |
基板処理装置および基板処理方法 |
2018/10/3 |
2018188416 |
特許 |
ポンプ装置 |
2018/10/3 |
2018188415 |
特許 |
立形ポンプ |
2018/10/2 |
2018187716 |
特許 |
ケーシングおよび回転機械 |
2018/10/2 |
2018187714 |
特許 |
回転機械 |
2018/9/27 |
2018182138 |
特許 |
給水装置 |
2018/9/27 |
2018182119 |
特許 |
制御盤および給水装置 |
2018/9/21 |
2018177881 |
特許 |
基板搬送装置および基板搬送装置を備える基板処理装置 |
2018/9/21 |
2018177379 |
特許 |
給水システム、および、給水システムの制御方法 |
2018/9/20 |
2018176354 |
特許 |
研磨ヘッドおよび研磨装置 |
2018/9/20 |
2020515697 |
特許 |
PVAブラシの洗浄方法及び装置 |
2018/9/20 |
2018175619 |
特許 |
回転式流体機械 |
2018/9/19 |
2019543670 |
特許 |
摺動部を具備する機械設備の運転管理方法 |
2018/9/18 |
2019544972 |
特許 |
情報処理システム、情報処理装置、通信端末、電子機器及び情報処理方法 |
2018/9/11 |
2018169289 |
特許 |
ポンプ装置の制御ユニット、及びポンプ装置 |
2018/9/5 |
2018166156 |
特許 |
コバルトイオン吸着剤及びその製造方法並びにコバルトイオン含有液処理装置 |
2018/9/5 |
2018165908 |
特許 |
電動機の駆動装置 |
2018/9/4 |
2018165306 |
特許 |
アウタロータ型のモータのためのロータ、当該ロータを備えるモータ、当該モータを備えるターボ分子ポンプおよび当該モータを備える基板回転装置 |
2018/8/29 |
2018018793 |
意匠 |
研磨パッド |
2018/8/29 |
2018018794 |
意匠 |
研磨パッド |
2018/8/29 |
2018018791 |
意匠 |
研磨パッド |
2018/8/29 |
2018018789 |
意匠 |
研磨パッド |
2018/8/29 |
2018018790 |
意匠 |
研磨パッド |
2018/8/29 |
2018018792 |
意匠 |
研磨パッド |
2018/8/29 |
2018018795 |
意匠 |
研磨パッド |
2018/8/29 |
2018018788 |
意匠 |
研磨パッド |
2018/8/23 |
2018156497 |
特許 |
研磨パッド高さを決定する方法、および研磨システム |
2018/8/22 |
2018155392 |
特許 |
基板のめっきに使用される酸化銅固形物、該酸化銅固形物を製造する方法、およびめっき液をめっき槽まで供給するための装置 |
2018/8/21 |
2018154534 |
特許 |
希ガス回収装置 |
2018/8/21 |
2018154489 |
特許 |
研磨装置および研磨方法 |
2018/8/21 |
2018154527 |
特許 |
フッ素化合物除去装置、酸素除去装置 |
2018/8/10 |
2018151378 |
特許 |
基板回転装置、基板洗浄装置および基板処理装置ならびに基板回転装置の制御方法 |
2018/8/9 |
2018150053 |
特許 |
基板用洗浄具、基板洗浄装置、基板処理装置、基板処理方法および基板用洗浄具の製造方法 |
2018/8/7 |
2018148638 |
特許 |
液面検出センサと組み合わせて使用されるセンサターゲットカバー、および湿式処理装置 |
2018/8/7 |
2018148768 |
特許 |
位置調節装置 |
2018/8/6 |
2018147661 |
特許 |
基板保持装置および基板研磨装置 |
2018/8/6 |
2018147917 |
特許 |
研磨装置、及び、研磨方法 |
2018/8/6 |
2018147915 |
特許 |
研磨装置、及び、研磨方法 |
2018/8/2 |
2018146096 |
特許 |
基板を保持するためのトップリングおよび基板処理装置 |
2018/8/2 |
2018146100 |
特許 |
研磨装置用の治具 |
2018/7/20 |
2018137067 |
特許 |
研磨装置および研磨方法 |
2018/7/20 |
2018136645 |
特許 |
排気ガスの排出構造および庇ユニット |
2018/7/18 |
2018015735 |
意匠 |
基板保持部材 |
2018/7/18 |
2018015737 |
意匠 |
基板保持部材 |
2018/7/18 |
2018015736 |
意匠 |
基板保持部材 |
2018/7/18 |
2018015734 |
意匠 |
基板保持部材 |
2018/7/17 |
2018133861 |
特許 |
ゲートバルブ |
2018/7/13 |
2018133606 |
特許 |
研磨装置および研磨方法 |
2018/7/13 |
2018133604 |
特許 |
研磨装置およびキャリブレーション方法 |
2018/7/13 |
2018132962 |
特許 |
信号処理装置、信号処理システム及び探索方法 |
2018/7/12 |
2018132231 |
特許 |
基板搬送装置および基板搬送装置を備える基板処理装置 |
2018/7/11 |
2018015358 |
意匠 |
ポンプ用主軸ハブ付き軸 |
2018/7/6 |
2018129086 |
特許 |
基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
2018/7/5 |
2018128355 |
特許 |
治具、及び治具を用いた設置方法 |
2018/6/28 |
2018122875 |
特許 |
ポンプ選定図作成装置、およびポンプ選定装置 |
2018/6/28 |
2018122874 |
特許 |
ポンプ選定装置、ポンプ選定システム、およびポンプ選定方法 |
2018/6/27 |
2018122076 |
特許 |
基板研磨装置のための研磨パッドおよび当該研磨パッドを備える基板研磨装置 |
2018/6/27 |
2018122083 |
特許 |
基板ホルダ |
2018/6/27 |
2021178956 |
特許 |
基板ホルダ |
2018/6/26 |
2018120959 |
特許 |
ポンプシステム、およびポンプ駆動機用の冷却システム |
2018/6/25 |
2018119875 |
特許 |
基板ホルダ及びめっき装置 |
2018/6/25 |
2018119667 |
特許 |
流体の漏洩を確認する方法、および研磨装置 |
2018/6/22 |
2018119242 |
特許 |
渦電流センサの軌道を特定する方法、基板の研磨の進行度を算出する方法、基板研磨装置の動作を停止する方法および基板研磨の進行度を均一化する方法、これらの方法を実行するためのプログラムならびに当該プログラムが記録された非一過性の記録媒体 |
2018/6/21 |
2018118164 |
特許 |
めっき装置、及びめっき方法 |
2018/6/20 |
2018116849 |
特許 |
研磨装置、研磨方法、及び研磨制御プログラム |
2018/6/20 |
2018116659 |
特許 |
研磨パッドの研磨面の温度を調整するための熱交換器、該熱交換器を備えた研磨装置、該熱交換器を用いた基板の研磨方法、および研磨パッドの研磨面の温度を調整するためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
2018/6/13 |
2018112757 |
特許 |
パージ方法、パージのための制御装置、および制御装置を備えるシステム |
2018/6/5 |
2018107889 |
特許 |
制御装置、制御システム、制御方法、プログラム及び機械学習装置 |
2018/6/5 |
2018107541 |
特許 |
めっき方法、めっき装置、及び限界電流密度を推定する方法 |
2018/6/5 |
2018107710 |
特許 |
ポンプ装置の羽根車隙間調整方法 |
2018/6/1 |
2018105987 |
特許 |
Ni-Fe基合金粉末、及び当該Ni-Fe基合金粉末を用いる合金皮膜の製造方法 |
2018/5/31 |
2018105089 |
特許 |
給水装置を制御するための制御ユニット、及び給水装置 |
2018/5/31 |
2018104218 |
特許 |
ポンプ設備およびポンプ設備の維持管理方法 |
2018/5/31 |
2018104217 |
特許 |
ポンプ設備およびポンプ設備の点検方法 |
2018/5/31 |
2018105094 |
特許 |
給水装置を制御するための制御ユニット、及び給水装置 |
2018/5/30 |
2018103662 |
特許 |
給水装置 |
2018/5/29 |
2018102067 |
特許 |
高高度到達装置 |
2018/5/29 |
2018102313 |
特許 |
ポンプシステム |
2018/5/29 |
2018102517 |
特許 |
ポンプ設備及びポンプ設備の管理方法 |
2018/5/29 |
2018102321 |
特許 |
ポンプシステム |
2018/5/21 |
2018097314 |
特許 |
基板保持装置、基板研磨装置、弾性部材および基板保持装置の製造方法 |
2018/5/18 |
2018096411 |
特許 |
基板処理装置 |
2018/5/11 |
2018092546 |
特許 |
バンプ高さ検査装置、基板処理装置、バンプ高さ検査方法、記憶媒体 |
2018/5/10 |
2018091086 |
特許 |
検査装置及び検査方法 |
2018/5/8 |
2018090094 |
特許 |
光透過性部材、研磨パッドおよび基板研磨装置 |
2018/5/7 |
2018089347 |
特許 |
めっき装置 |
2018/4/27 |
2018086597 |
特許 |
検査方法、検査装置、及びこれを備えためっき装置 |
2018/4/27 |
2018087489 |
特許 |
燃焼炉の燃焼状態の推定方法、燃焼炉の燃焼制御方法、および燃焼炉の燃焼制御装置 |
2018/4/27 |
2018087421 |
特許 |
解析パラメータの推定方法 |
2018/4/25 |
2018083724 |
特許 |
ポンプ設備に使用されるケーブル支持装置 |
2018/4/20 |
2018081298 |
特許 |
電磁石制御装置および電磁石システム |
2018/4/19 |
2018080715 |
特許 |
ライナーリングを備えたポンプのケーシングの補修方法 |
2018/4/18 |
2018080025 |
特許 |
研磨装置及び基板処理装置 |
2018/4/17 |
2018079388 |
特許 |
基板ホルダ及びめっき装置 |
2018/4/17 |
2021156382 |
特許 |
基板ホルダ及びめっき装置 |
2018/4/16 |
2018078563 |
特許 |
基板処理装置および基板保持装置 |
2018/4/12 |
2018077065 |
特許 |
有線ドローンシステム |
2018/4/11 |
2018076040 |
特許 |
有線ドローンシステム |
2018/4/5 |
2018072906 |
特許 |
給水システム及び給水装置 |
2018/4/5 |
2018072976 |
特許 |
洗浄液供給システム、基板処理装置および基板処理システム |
2018/4/5 |
2018073013 |
特許 |
横軸ポンプ装置 |
2018/3/28 |
2018061931 |
特許 |
軸継手および該軸継手を備えた回転装置 |
2018/3/27 |
2018060350 |
特許 |
洗浄装置、これを備えためっき装置、及び洗浄方法 |
2018/3/27 |
2018059670 |
特許 |
基板保持装置およびドライブリングの製造方法 |
2018/3/27 |
2018059393 |
特許 |
回転機器のための保護カバー及びこれを備える回転機器 |
2018/3/26 |
2018057591 |
特許 |
フランジ分解用押しボルト |
2018/3/23 |
2018033915 |
商標 |
eDYNAMiQ\Eco,Dynamic and Integrated Quality |
2018/3/22 |
2018054171 |
特許 |
ポンプ設備に使用されるケーブル保持装置 |
2018/3/22 |
2018055260 |
特許 |
カスケードポンプ |
2018/3/20 |
2018052185 |
特許 |
点検用の歩廊を備えたポンプシステム |
2018/3/15 |
2018047605 |
特許 |
ポンプ設備及びポンプ設備の管理方法 |
2018/3/15 |
2018047537 |
特許 |
横軸ポンプ |
2018/3/15 |
2018047538 |
特許 |
横軸ポンプ |
2018/3/15 |
2018048217 |
特許 |
基板洗浄装置、及び基板洗浄方法 |
2018/3/13 |
2018005191 |
意匠 |
多段ポンプ |
2018/3/8 |
2018042410 |
特許 |
弾性膜、基板保持装置、及び研磨装置 |
2018/3/8 |
2018041762 |
特許 |
真空用接続機構、電子光学装置 |
2018/3/8 |
2019507525 |
特許 |
多段ポンプ |
2018/3/5 |
2018038242 |
特許 |
ポンプ設備及びポンプ設備の運転方法 |
2018/3/2 |
2018037914 |
特許 |
水中モータポンプ |
2018/3/1 |
2018036693 |
特許 |
めっき液を撹拌するために用いるパドルおよびパドルを備えるめっき装置 |
2018/2/27 |
2018033087 |
特許 |
ポンプ装置およびポンプ装置のメンテナンス方法 |
2018/2/26 |
2018032275 |
特許 |
燃料供給システム、ポンプ設備、及び燃料供給システムの管理運転方法 |
2018/2/26 |
2018031823 |
特許 |
湿式除害装置 |
2018/2/26 |
2018031812 |
特許 |
真空ポンプシステム、および真空ポンプシステムの制御方法 |
2018/2/23 |
2018030411 |
特許 |
ガス溶解液製造装置 |
2018/2/23 |
2018030592 |
特許 |
遠心ポンプ |
2018/2/23 |
2021124365 |
特許 |
基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
2018/2/22 |
2018029369 |
特許 |
インバータユニットおよび電動機組立体 |
2018/2/22 |
2018029810 |
特許 |
めっき装置 |
2018/2/20 |
2018027698 |
特許 |
モータポンプ |
2018/2/15 |
2018024981 |
特許 |
昇圧方法、昇圧システム、昇圧装置および昇圧プログラム |
2018/2/14 |
2018023634 |
特許 |
ウィーンフィルタ、電子光学装置 |
2018/2/13 |
2018023302 |
特許 |
基板保持部材、基板処理装置、基板処理装置の制御方法、プログラムを格納した記憶媒体 |
2018/2/6 |
2018019032 |
特許 |
位置決めピンの位置調整に使用される治具セット |
2018/2/2 |
2018016875 |
特許 |
情報処理装置、情報処理システム、情報処理方法、プログラム及び基板処理装置 |
2018/1/31 |
2018015500 |
特許 |
ポンプ装置の制御ユニット、ポンプ装置、および、ポンプ装置における可変速制御手段のセットアップ異常を判定する方法 |
2018/1/30 |
2018013162 |
特許 |
渦抑制装置を備えたポンプ |
2018/1/30 |
2018013161 |
特許 |
渦抑制装置を備えたポンプ |
2018/1/29 |
2018012953 |
特許 |
基板処理装置、基板処理装置の制御装置、基板処理装置の制御方法、プログラムを格納した記憶媒体 |
2018/1/29 |
2018012320 |
特許 |
自吸ポンプ及びポンプユニット |
2018/1/29 |
2018012442 |
特許 |
偏向感度算出方法および偏向感度算出システム |
2018/1/24 |
2018009755 |
特許 |
研磨方法および研磨装置 |
2018/1/22 |
2018008435 |
特許 |
ポンプ装置 |
2018/1/22 |
2018007879 |
特許 |
ライナーリング、および該ライナーリングを備えたポンプ、並びにライナーリングの交換方法 |
2018/1/22 |
2018008436 |
特許 |
ポンプ装置 |
2018/1/22 |
2018008437 |
特許 |
ポンプ装置 |
2018/1/22 |
2018008438 |
特許 |
ポンプ装置 |
2018/1/18 |
2018006358 |
特許 |
研磨装置 |
2018/1/18 |
2018006570 |
特許 |
検査用基板を用いる電流測定モジュールおよび検査用基板 |
2018/1/11 |
2018002272 |
特許 |
基板処理装置及び制御方法 |
2018/1/5 |
2018000729 |
特許 |
フェースアップ式の研磨装置のための研磨ヘッド、当該研磨ヘッドを備える研磨装置および当該研磨装置を用いた研磨方法 |
2017/12/28 |
2017253017 |
特許 |
粉体供給装置及びめっきシステム |
2017/12/28 |
2021067601 |
特許 |
粉体供給装置及びめっきシステム |
2017/12/28 |
2021067600 |
特許 |
粉体供給装置及びめっきシステム |
2017/12/28 |
2017253424 |
特許 |
電動機組立体 |
2017/12/28 |
2017170461 |
商標 |
ポンプラス\PUMPlus |
2017/12/26 |
2017249355 |
特許 |
渦巻きポンプ用ケーシング及び渦巻きポンプ |
2017/12/25 |
2017247390 |
特許 |
ガス溶解液製造装置 |
2017/12/25 |
2017247736 |
特許 |
給水装置 |
2017/12/25 |
2017247816 |
特許 |
基板処理装置、めっき装置、及び基板処理方法 |
2017/12/25 |
2017247807 |
特許 |
給水装置 |
2017/12/25 |
2017248049 |
特許 |
カップリングガードおよび機械装置 |
2017/12/25 |
2017248048 |
特許 |
カップリングガードおよび機械装置 |
2017/12/22 |
2017246837 |
特許 |
液切リング及びこれを備えるポンプ |
2017/12/22 |
2017245645 |
特許 |
センサデバイス、制御装置及び固有アドレス設定方法 |
2017/12/21 |
2017244704 |
特許 |
羽根車及びこれを備えたポンプ |
2017/12/21 |
2017244978 |
特許 |
研磨パッドの温度を調整するためのパッド温調機構および研磨装置 |
2017/12/20 |
2017244060 |
特許 |
基板処理装置、基板処理装置の制御方法、プログラムを格納した記憶媒体 |
2017/12/20 |
2017243952 |
特許 |
研磨ヘッドおよび研磨装置 |
2017/12/15 |
2017240739 |
特許 |
非接触環状シール、遠心ポンプ、インペラリング、及びケーシングリング |
2017/12/15 |
2017240776 |
特許 |
パドルに取り付け可能な消波部材および消波部材を備えるめっき装置 |
2017/12/14 |
2017239505 |
特許 |
渦防止装置を備えたポンプ |
2017/12/13 |
2017238793 |
特許 |
基板処理装置、基板処理装置の制御方法、プログラムを格納した記憶媒体 |
2017/12/11 |
2017236998 |
特許 |
洗浄薬液供給装置、洗浄ユニット、及びプログラムを格納した記憶媒体 |
2017/12/7 |
2017235186 |
特許 |
画像生成装置および画像生成方法 |
2017/12/6 |
2017234500 |
特許 |
ポンプ設備 |
2017/12/6 |
2017234267 |
特許 |
半導体製造装置の設計方法 |
2017/12/5 |
2017233315 |
特許 |
研磨装置、及び研磨方法 |
2017/12/5 |
2017233334 |
特許 |
汚水用ポンプ |
2017/12/4 |
2017159280 |
商標 |
eDYNAMiQ\Eco,Dynamic and Integrated Quality |
2017/11/30 |
2017230755 |
特許 |
すべり軸受装置及びこれを備えたポンプ |
2017/11/30 |
2017229916 |
特許 |
基板搬送システム、基板処理装置、ハンド位置調整方法 |
2017/11/29 |
2017228967 |
特許 |
基板処理装置 |
2017/11/22 |
2017225079 |
特許 |
電気めっき装置における給電点の配置の決定方法および矩形の基板をめっきするための電気めっき装置 |
2017/11/21 |
2017223505 |
特許 |
弾性膜のヘッド本体への組み付け方法、組み付け治具、および組み付けシステム |
2017/11/20 |
2017222544 |
特許 |
電動機 |
2017/11/16 |
2017220668 |
特許 |
ドローンを用いた計測システムおよび計測方法 |
2017/11/16 |
2017220608 |
特許 |
研磨装置 |
2017/11/14 |
2017219223 |
特許 |
スクラブ部材の保存容器及びそのパッケージ |
2017/11/14 |
2017219165 |
特許 |
検査装置、検査システム、プログラムを記憶した記憶媒体 |
2017/11/13 |
2017218563 |
特許 |
基板を平坦化するための装置および方法 |
2017/11/13 |
2017218024 |
特許 |
ストロンチウムイオン吸着材及びその製造方法 |
2017/11/13 |
2017218564 |
特許 |
基板保持装置および基板保持装置を備える基板処理装置 |
2017/11/9 |
2017216096 |
特許 |
軸受カバー、カップリングガード、および機械装置 |
2017/11/8 |
2017215369 |
特許 |
基板処理装置および基板処理方法 |
2017/11/7 |
2017214570 |
特許 |
基板研磨装置および研磨方法 |
2017/11/7 |
2017214429 |
特許 |
デバイスが形成された基板を個々のチップに分割するための方法および装置 |
2017/11/7 |
2017214416 |
特許 |
めっき解析方法、めっき解析システム、及びめっき解析のためのコンピュータプログラム |
2017/11/6 |
2017213658 |
特許 |
研磨方法および研磨装置 |
2017/10/31 |
2017211115 |
特許 |
ポンプ装置およびフィルター構造体 |
2017/10/31 |
2017209864 |
特許 |
基板処理装置 |
2017/10/31 |
2017210426 |
特許 |
研磨装置、および研磨具を押圧する押圧パッド |
2017/10/31 |
2017210618 |
特許 |
めっき装置及びめっき方法 |
2017/10/27 |
2017208327 |
特許 |
基板保持装置並びに基板保持装置を備えた基板処理装置および基板処理方法 |
2017/10/26 |
2017207025 |
特許 |
給水装置 |
2017/10/25 |
2017206648 |
特許 |
研磨装置 |
2017/10/24 |
2017205400 |
特許 |
研磨方法および研磨装置 |
2017/10/24 |
2017023499 |
意匠 |
ポンプ |
2017/10/20 |
2017203632 |
特許 |
ポンプ、ポンプ装置、及びポンプ装置の分解方法 |
2017/10/19 |
2017202620 |
特許 |
研磨装置、及び研磨方法 |
2017/10/19 |
2017202848 |
特許 |
研磨装置 |
2017/10/12 |
2017198557 |
特許 |
めっき装置及びめっき方法 |
2017/10/12 |
2017198172 |
特許 |
燃料供給システムおよび燃料供給方法 |
2017/10/11 |
2017197641 |
特許 |
基板洗浄方法 |
2017/10/10 |
2017022370 |
意匠 |
電気接続端子 |
2017/10/4 |
2017194095 |
特許 |
基板洗浄装置及び基板洗浄方法 |
2017/10/2 |
2017130705 |
商標 |
EDAS |
2017/9/29 |
2017190059 |
特許 |
ポンプ及びポンプ組立体 |
2017/9/27 |
2017185751 |
特許 |
研磨方法および研磨装置 |
2017/9/22 |
2017182161 |
特許 |
遠心ポンプ |
2017/9/22 |
2017182570 |
特許 |
めっき装置 |
2017/9/19 |
2017178932 |
特許 |
ポンプ |
2017/9/19 |
2017178534 |
特許 |
ブレークイン装置及びブレークインシステム |
2017/9/15 |
2017177611 |
特許 |
情報処理装置、情報処理システム、情報処理方法及びプログラム |
2017/9/11 |
2017173835 |
特許 |
給水装置、および給水装置の試験運転方法 |
2017/9/8 |
2017173207 |
特許 |
配管システム、ポンプ、および配管システムの組み立て方法 |
2017/9/5 |
2021053348 |
特許 |
機能性チップを備える基板を研磨する方法 |
2017/9/5 |
2017170302 |
特許 |
機能性チップを備える基板を研磨する方法 |
2017/9/4 |
2017019081 |
意匠 |
ポンプケーシング |
2017/9/4 |
2017019082 |
意匠 |
ポンプケーシング |
2017/9/1 |
2017168558 |
特許 |
モータ及びポンプ装置 |
2017/9/1 |
2017168323 |
特許 |
防食システムおよび防食方法 |
2017/8/31 |
2017166520 |
特許 |
基板を研磨する方法および装置 |
2017/8/29 |
2017164139 |
特許 |
立軸ポンプ |
2017/8/29 |
2017164279 |
特許 |
シールシステム |
2017/8/29 |
2017164280 |
特許 |
シールシステム |
2017/8/29 |
2017164278 |
特許 |
シールシステム |
2017/8/29 |
2017114535 |
商標 |
プライミング\Priming |
2017/8/28 |
2017163747 |
特許 |
単相誘導電動機 |
2017/8/25 |
2017162029 |
特許 |
スイッチドリラクタンスモータおよび発電機などの回転電力機械のセンサレス駆動装置、並びに該センサレス駆動装置および回転電力機械を備えた回転システム |
2017/8/21 |
2017158473 |
特許 |
基板研磨装置および基板研磨装置における研磨液吐出方法 |
2017/8/17 |
2017157599 |
特許 |
基板を研磨する方法および装置 |
2017/8/16 |
2017157146 |
特許 |
基板処理装置および基板を基板処理装置のテーブルから離脱させる方法 |
2017/8/10 |
2017155275 |
特許 |
排ガス処理装置用のバーナヘッドおよびその製造方法、ならびに、排ガス処理装置用の燃焼室、その製造方法およびメンテナンス方法 |
2017/8/10 |
2017155213 |
特許 |
基板処理装置 |
2017/8/9 |
2017154114 |
特許 |
基板加工方法および基板加工装置 |
2017/8/9 |
2017153762 |
特許 |
騒音防止システム、除塵システム、騒音防止方法 |
2017/8/8 |
2017153238 |
特許 |
基板研磨装置及び方法 |
2017/8/4 |
2017151765 |
特許 |
画面制御プログラムおよび半導体製造装置 |
2017/7/24 |
2017142991 |
特許 |
基板処理装置、および基板に形成された切り欠きを検出する方法 |
2017/7/24 |
2017142408 |
特許 |
基板処理装置および基板処理方法 |
2017/7/24 |
2017142578 |
特許 |
研磨装置および研磨方法 |
2017/7/24 |
2017142534 |
特許 |
風速信号処理装置、風速信号処理システムおよび風速信号処理方法 |
2017/7/24 |
2017142545 |
特許 |
基板研磨装置及び方法 |
2017/7/20 |
2017015676 |
意匠 |
給水装置用表示器 |
2017/7/20 |
2017015675 |
意匠 |
給水装置用表示器 |
2017/7/20 |
2017141271 |
特許 |
ポンプ装置 |
2017/7/19 |
2017139869 |
特許 |
ポンプ |
2017/7/14 |
2017137848 |
特許 |
制御装置、制御方法、プログラム及び異常検知システム |
2017/7/14 |
2017137924 |
特許 |
基板保持装置 |
2017/7/14 |
2017138270 |
特許 |
膜厚測定装置、研磨装置、および研磨方法 |
2017/7/11 |
2017135370 |
特許 |
レギュレーションプレート、アノードホルダ、及び基板ホルダ |
2017/7/6 |
2017132958 |
特許 |
ポンプユニット |
2017/7/6 |
2017132975 |
特許 |
給水装置、給水装置の搬送方法、及び給水装置の搬送用治具 |
2017/7/5 |
2017131833 |
特許 |
立軸ポンプ |
2017/7/5 |
2017131809 |
特許 |
シリコチタネート成形体及びその製造方法、シリコチタネート成形体を含むセシウム又はストロンチウムの吸着剤、及び当該吸着剤を用いる放射性廃液の除染方法 |
2017/7/5 |
2017131968 |
特許 |
基板研磨装置及び方法 |
2017/7/4 |
2017131191 |
特許 |
消音装置およびこれを組立てる方法 |
2017/7/4 |
2017131391 |
特許 |
立軸ポンプ |
2017/7/4 |
2017131393 |
特許 |
立軸ポンプ |
2017/6/30 |
2017129497 |
特許 |
給水装置、および該給水装置に使用される樹脂プレート |
2017/6/30 |
2017014181 |
意匠 |
給水機用カバー |
2017/6/30 |
2017128708 |
特許 |
給水装置 |
2017/6/30 |
2017129092 |
特許 |
給水装置 |
2017/6/30 |
2017129450 |
特許 |
ポンプ装置及びポンプ装置の制御方法 |
2017/6/30 |
2017014180 |
意匠 |
装飾シート |
2017/6/30 |
2017014185 |
意匠 |
給水機監視制御機能付き電子計算機 |
2017/6/30 |
2017129228 |
特許 |
給水装置 |
2017/6/30 |
2017129449 |
特許 |
給水装置 |
2017/6/30 |
2017129333 |
特許 |
給水装置 |
2017/6/30 |
2017014213 |
意匠 |
装飾シート |
2017/6/30 |
2017014184 |
意匠 |
給水機用カバー |
2017/6/30 |
2017128405 |
特許 |
ポンプ設備及びその運転支援方法 |
2017/6/30 |
2017014186 |
意匠 |
運転状況表示機能付き電子計算機 |
2017/6/30 |
2017129096 |
特許 |
給水装置 |
2017/6/30 |
2017129448 |
特許 |
ポンプ装置 |
2017/6/30 |
2017014179 |
意匠 |
給水機 |
2017/6/30 |
2017128861 |
特許 |
システム、給水装置の管理方法、および、管理装置 |
2017/6/30 |
2017014183 |
意匠 |
給水機 |
2017/6/29 |
2017127520 |
特許 |
渦抑止システム及び浮遊体 |
2017/6/29 |
2017014045 |
意匠 |
半導体製造機 |
2017/6/29 |
2017014044 |
意匠 |
半導体製造機 |
2017/6/29 |
2017014046 |
意匠 |
半導体製造機 |
2017/6/20 |
2017120210 |
特許 |
ポンプ装置及びその運転支援方法 |
2017/6/19 |
2017080827 |
商標 |
§フレッシャーLINK |
2017/6/16 |
2017118663 |
特許 |
めっき装置 |
2017/6/16 |
2017013000 |
意匠 |
データ送受信機 |
2017/6/16 |
2017012999 |
意匠 |
給水装置用表示器 |
2017/6/12 |
2017115005 |
特許 |
ガス溶解液製造装置 |
2017/6/12 |
2021015359 |
特許 |
基板処理装置 |
2017/6/12 |
2017115202 |
特許 |
基板処理装置 |
2017/6/9 |
2017113959 |
特許 |
水中ロボット制御システム及び水中ロボット制御方法 |
2017/6/7 |
2017112460 |
特許 |
ポンプ点検システム |
2017/6/6 |
2017111605 |
特許 |
研磨テーブル及びこれを備える研磨装置 |
2017/6/6 |
2017111283 |
特許 |
立軸ポンプ観察装置及び立軸ポンプ観察方法 |
2017/5/31 |
2017108156 |
特許 |
消音ユニットおよびこの消音ユニットを用いた消音構造体 |
2017/5/30 |
2017106426 |
特許 |
キャリブレーション方法およびキャリブレーションプログラム |
2017/5/29 |
2017105167 |
特許 |
送水システムおよび送水方法 |
2017/5/26 |
2017104585 |
特許 |
基板研磨装置および基板研磨方法 |
2017/5/19 |
2017099561 |
特許 |
ガス溶解液製造装置 |
2017/5/18 |
2017098899 |
特許 |
情報処理装置、基準データ決定装置、情報処理方法、基準データ決定方法及びプログラム |
2017/5/18 |
2017099141 |
特許 |
基板処理装置、プログラムを記録した記録媒体 |
2017/5/18 |
2017098691 |
特許 |
情報処理装置、基準データ決定装置、情報処理方法、基準データ決定方法及びプログラム |
2017/5/17 |
2017098254 |
特許 |
研磨装置および研磨方法 |
2017/5/17 |
2017097855 |
特許 |
横軸ポンプ |
2017/5/16 |
2017097621 |
特許 |
基板洗浄装置および基板処理装置 |
2017/5/15 |
2017096441 |
特許 |
映像表示システムおよび映像表示方法 |
2017/5/15 |
2017096604 |
特許 |
研磨装置および研磨方法 |
2017/5/10 |
2017094029 |
特許 |
洗浄装置および基板処理装置、洗浄装置のメンテナンス方法、並びにプログラム |
2017/5/1 |
2017091413 |
特許 |
基板処理装置、及びその制御方法 |
2017/4/26 |
2017087080 |
特許 |
渦電流センサのキャリブレーション方法 |
2017/4/26 |
2017086899 |
特許 |
渦発生防止装置およびポンプ設備 |
2017/4/25 |
2017058552 |
商標 |
デフリークレス |
2017/4/24 |
2017085051 |
特許 |
基板の研磨装置 |
2017/4/21 |
2017084224 |
特許 |
漏れ検査方法、およびこの漏れ検査方法を実行するためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
2017/4/18 |
2017081941 |
特許 |
中間部材、ポンプ、及びポンプのメンテナンス方法 |
2017/4/18 |
2017081723 |
特許 |
真空暖房ポンプ装置 |
2017/4/14 |
2017080169 |
特許 |
横軸ポンプ |
2017/4/12 |
2017078698 |
特許 |
真空式液体収集装置、真空式液体収集装置に用いられる制御装置、及び、真空ポンプを制御する方法 |
2017/4/11 |
2017078060 |
特許 |
研磨装置、及び、研磨方法 |
2017/4/11 |
2021123228 |
特許 |
研磨装置、及び、研磨方法 |
2017/4/11 |
2017077924 |
特許 |
ポンプ装置、悪臭防止型排水設備、ポンプ |
2017/4/7 |
2017076547 |
特許 |
コイル一体型ヨークおよびその製造方法 |
2017/4/7 |
2017076894 |
特許 |
基板洗浄装置及び基板処理装置 |
2017/4/7 |
2017076781 |
特許 |
電気めっき装置および電気めっき装置における洗浄方法 |
2017/4/5 |
2017075436 |
特許 |
半導体製造装置、半導体製造装置の故障予知方法、および半導体製造装置の故障予知プログラム |
2017/4/5 |
2017007187 |
意匠 |
ポンプ制御盤用表示器被覆フィルム |
2017/4/5 |
2017075076 |
特許 |
基板洗浄装置、基板洗浄方法および基板洗浄装置の制御方法 |
2017/4/5 |
2021054088 |
特許 |
半導体製造装置、半導体製造装置の故障予知方法、および半導体製造装置の故障予知プログラム |
2017/4/4 |
2017091152 |
特許 |
研磨装置、及び研磨方法 |
2017/4/4 |
2019116181 |
特許 |
研磨装置、及び研磨方法 |
2017/4/4 |
2018113733 |
特許 |
研磨装置、及び研磨方法 |
2017/4/4 |
2021025129 |
特許 |
研磨装置、及び研磨方法 |
2017/4/4 |
2017074167 |
特許 |
研磨装置、及び研磨方法 |
2017/4/3 |
2017073851 |
特許 |
めっきシステム、およびめっき方法 |
2017/4/3 |
2019023569 |
特許 |
液体供給装置及び液体供給方法 |
2017/4/3 |
2017073791 |
特許 |
液体供給装置及び液体供給方法 |
2017/3/31 |
2017070966 |
特許 |
基板保持装置、基板処理装置、基板処理方法、およびプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
2017/3/31 |
2017071807 |
特許 |
ポンプ、犠牲陽極、犠牲陽極の余寿命予測方法 |
2017/3/31 |
2017043763 |
商標 |
Looking ahead,going beyond expectations\Ahead Beyond |
2017/3/31 |
2017070755 |
特許 |
真空吸着パッドおよび基板保持装置 |
2017/3/31 |
2017071563 |
特許 |
基板処理装置および基板処理装置を含む基板処理システム |
2017/3/31 |
2017071392 |
特許 |
基板保持装置、弾性膜、研磨装置、および弾性膜の交換方法 |
2017/3/31 |
2017071573 |
特許 |
基板処理装置 |
2017/3/31 |
2017006855 |
意匠 |
真空吸着パッド |
2017/3/31 |
2017070972 |
特許 |
半導体製造装置の動作に関する表示を制御する方法を実行するプログラム、当該方法及び半導体製造装置の動作に関する表示を行うシステム |
2017/3/31 |
2017071160 |
特許 |
めっき方法及びめっき装置 |
2017/3/31 |
2017071564 |
特許 |
ルーツ型真空ポンプ |
2017/3/30 |
2017067804 |
特許 |
基板処理装置、基板処理装置の制御方法、プログラムを格納した記憶媒体 |
2017/3/30 |
2017067836 |
特許 |
めっき方法及びめっき装置 |
2017/3/29 |
2017065781 |
特許 |
研磨装置、研磨方法、およびプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
2017/3/29 |
2017066235 |
特許 |
ポンプ装置用の始動装置 |
2017/3/29 |
2017064044 |
特許 |
ポンプの制御システムおよび制御方法、ならびに、排水システム |
2017/3/28 |
2017063070 |
特許 |
基板搬送装置、基板搬送装置の制御装置、基板搬送装置における変位補償方法、当該方法を実施するプログラムおよび当該プログラムが記録された記録媒体 |
2017/3/27 |
2017060432 |
特許 |
基板処理方法および装置 |
2017/3/27 |
2017061189 |
特許 |
排水システム及びサーバ装置 |
2017/3/23 |
2017056820 |
特許 |
洗浄装置及び基板処理装置 |
2017/3/23 |
2017057959 |
特許 |
ポンプ装置 |
2017/3/23 |
2017057560 |
特許 |
除害機能付ドライ真空ポンプ |
2017/3/22 |
2017055992 |
特許 |
基板処理装置および基板処理方法 |
2017/3/22 |
2017055976 |
特許 |
基板の研磨装置および研磨方法 |
2017/3/22 |
2017055979 |
特許 |
めっき装置及びめっき槽構成の決定方法 |
2017/3/22 |
2017055980 |
特許 |
給水システム、および、給水システムの制御方法 |
2017/3/22 |
2017056532 |
特許 |
自吸運転検出システムおよびポンプ装置 |
2017/3/22 |
2017055719 |
特許 |
シール取り付け構造およびポンプ |
2017/3/21 |
2017054235 |
特許 |
アノード電極部材及び電気防食システム |
2017/3/21 |
2017054236 |
特許 |
アノード電極部材、監視装置、及び電気防食システム |
2017/3/16 |
2017051673 |
特許 |
基板の表面を研磨する装置および方法 |
2017/3/16 |
2017051018 |
特許 |
陸上ポンプ |
2017/3/14 |
2018513067 |
特許 |
基板処理装置 |
2017/3/14 |
2017049044 |
特許 |
めっき方法 |
2017/3/14 |
2017048326 |
特許 |
基板研磨方法、トップリングおよび基板研磨装置 |
2017/3/14 |
2021075593 |
特許 |
めっき装置 |
2017/3/13 |
2017047186 |
特許 |
給水装置に配置されるバルブ、およびキャビネット型の給水装置 |
2017/3/10 |
2017046305 |
特許 |
水中ポンプ |
2017/3/8 |
2017044347 |
特許 |
給水装置 |
2017/3/8 |
2017043598 |
特許 |
アルカリ土類金属イオン吸着剤及びその製造方法並びにアルカリ土類金属イオン含有液処理装置 |
2017/3/7 |
2017042643 |
特許 |
めっき装置およびめっき方法 |
2017/3/7 |
2017042566 |
特許 |
支持体、ポンプ及び支持体の固定方法 |
2017/3/6 |
2017042195 |
特許 |
セルフクリーニング装置、基板処理装置、および洗浄具のセルフクリーニング方法 |
2017/3/6 |
2017042131 |
特許 |
研磨方法、研磨装置、および基板処理システム |
2017/3/1 |
2017038690 |
特許 |
汚水排水設備 |
2017/3/1 |
2017038386 |
特許 |
給水装置及び監視システム |
2017/2/28 |
2017036584 |
特許 |
光軸調整方法および電子線検査装置 |
2017/2/24 |
2017033700 |
特許 |
液封式真空ポンプ |
2017/2/23 |
2018501748 |
特許 |
放射性ヨウ素含有流体の処理方法 |
2017/2/22 |
2017031198 |
特許 |
遠心ポンプ |
2017/2/22 |
2017031199 |
特許 |
遠心ポンプ |
2017/2/21 |
2021014472 |
特許 |
めっき装置及びめっき方法 |
2017/2/21 |
2017029890 |
特許 |
めっき装置及びめっき方法 |
2017/2/20 |
2017029083 |
特許 |
立軸ポンプ |
2017/2/20 |
2017028800 |
特許 |
ポンプ |
2017/2/20 |
2021021478 |
特許 |
ポンプシステムおよび排水機場 |
2017/2/20 |
2017028781 |
特許 |
立軸ポンプ |
2017/2/17 |
2017028276 |
特許 |
単相誘導電動機 |
2017/2/16 |
2017026951 |
特許 |
電子ビームの照射エリア調整方法および同調整システム |
2017/2/16 |
2017026909 |
特許 |
基板ホルダ、めっき装置、めっき方法、及び電気接点 |
2017/2/16 |
2017003017 |
意匠 |
ポンプ用羽根車 |
2017/2/15 |
2017025924 |
特許 |
情報処理装置、情報処理システム、情報処理方法及びプログラム |
2017/2/14 |
2017025159 |
特許 |
液封式真空ポンプ |
2017/2/9 |
2017014254 |
商標 |
ECO-BRES\エコブレス |
2017/2/8 |
2017021309 |
特許 |
めっき装置およびめっき装置とともに使用される基板ホルダ |
2017/2/7 |
2017020207 |
特許 |
電動機組立体 |
2017/2/7 |
2017020208 |
特許 |
電動機組立体 |
2017/2/6 |
2017019507 |
特許 |
パドル、該パドルを備えためっき装置、およびめっき方法 |
2017/2/6 |
2017012035 |
商標 |
FRESHER LINK\フレッシャーリンク |
2017/2/3 |
2017018304 |
特許 |
カップリングガードおよび機械装置 |
2017/2/1 |
2017016389 |
特許 |
ポンプ観察システムおよびポンプ観察方法 |
2017/1/31 |
2017015389 |
特許 |
研磨パッドの表面温度を調整するための装置および方法 |
2017/1/30 |
2017014291 |
特許 |
モータ取付用ブラケット、モータ取付構造、基板処理装置 |
2017/1/27 |
2017012882 |
特許 |
給水装置 |
2017/1/26 |
2017011936 |
特許 |
羽根車及びポンプ |
2017/1/24 |
2017010459 |
特許 |
めっき装置、基板ホルダ、抵抗測定モジュール、および基板ホルダを検査する方法 |
2017/1/24 |
2021068922 |
特許 |
めっき装置、基板ホルダ、抵抗測定モジュール、および基板ホルダを検査する方法 |
2017/1/18 |
2017006691 |
特許 |
流体機械 |
2017/1/17 |
2017006255 |
特許 |
研磨方法 |
2017/1/17 |
2017005729 |
特許 |
スケジューラ、基板処理装置、及び基板搬送方法 |
2017/1/17 |
2019079417 |
特許 |
スケジューラ、基板処理装置、及び基板搬送方法 |
2017/1/10 |
2017001731 |
特許 |
供給液体製造装置および供給液体製造方法 |
2016/12/28 |
2016255283 |
特許 |
基板を処理するための方法および装置 |
2016/12/27 |
2016254106 |
特許 |
基板ホルダ、めっき装置、及びめっき方法 |
2016/12/22 |
2020084244 |
特許 |
研磨装置 |
2016/12/22 |
2016249745 |
特許 |
軸スリーブ、ポンプ、および軸スリーブの製造方法 |
2016/12/22 |
2016249631 |
特許 |
基板着脱装置、めっき装置、基板着脱装置の制御装置、基板着脱装置の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納した記憶媒体 |
2016/12/21 |
2016027638 |
意匠 |
モータ用スペーサー |
2016/12/21 |
2016027639 |
意匠 |
モータ用スペーサー |
2016/12/19 |
2016245651 |
特許 |
めっき装置、めっき方法、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
2016/12/16 |
2016244469 |
特許 |
洗浄薬液供給装置、洗浄ユニット、及びプログラムを格納した記憶媒体 |
2016/12/14 |
2016242365 |
特許 |
電解めっき装置 |
2016/12/12 |
2016240315 |
特許 |
基板処理装置、排出方法およびプログラム |
2016/12/6 |
2016236576 |
特許 |
悪臭防止型排水設備 |
2016/12/6 |
2021072081 |
特許 |
悪臭防止型排水設備 |
2016/12/6 |
2017555061 |
特許 |
放射性セシウム及び放射性ストロンチウムを含む放射性廃液の処理方法 |
2016/12/5 |
2016235654 |
特許 |
先行待機運転ポンプ |
2016/12/2 |
2016235243 |
特許 |
ドローン用エアロック装置 |
2016/12/1 |
2016234169 |
特許 |
基板ホルダ、めっき装置、及び基板ホルダの製造方法 |
2016/11/30 |
2016233063 |
特許 |
水中ドローンの通信システム |
2016/11/24 |
2016227499 |
特許 |
立軸ポンプ |
2016/11/24 |
2016133027 |
商標 |
YOKOZUNA PUMP |
2016/11/22 |
2016226860 |
特許 |
水中モータ及び防水コネクタ |
2016/11/22 |
2016226807 |
特許 |
処理装置、これを備えためっき装置、搬送装置、及び処理方法 |
2016/11/22 |
2016226861 |
特許 |
水中モータ及び防水コネクタ |
2016/11/14 |
2016221906 |
特許 |
漏れ検査方法、漏れ検査装置、電解めっき方法、および電解めっき装置 |
2016/11/11 |
2016220952 |
特許 |
めっき槽にめっき液を供給するための装置および方法、並びにめっきシステム |
2016/11/7 |
2016217397 |
特許 |
悪臭防止型排水設備 |
2016/11/7 |
2016217345 |
特許 |
有線式ドローン群 |
2016/11/4 |
2016216377 |
特許 |
排水システムおよび排水方法 |
2016/10/19 |
2016204965 |
特許 |
水中モータ及び防水コネクタ |
2016/10/18 |
2016204675 |
特許 |
基板処理制御システム、基板処理制御方法、およびプログラム |
2016/10/18 |
2016204678 |
特許 |
研磨装置、研磨方法およびプログラム |
2016/10/18 |
2016204676 |
特許 |
局所研磨装置、局所研磨方法およびプログラム |
2016/10/17 |
2016203430 |
特許 |
風洞装置 |
2016/10/17 |
2016203421 |
特許 |
アノードユニットおよび該アノードユニットを備えためっき装置 |
2016/10/14 |
2016202185 |
特許 |
羽根車の製造方法、溶接システム及び制御装置 |
2016/10/14 |
2016203119 |
特許 |
悪臭防止型排水設備 |
2016/10/14 |
2016202545 |
特許 |
基板のめっきに使用される酸化銅粉体、該酸化銅粉体を用いて基板をめっきする方法、該酸化銅粉体を用いてめっき液を管理する方法 |
2016/10/13 |
2016201468 |
特許 |
基板研磨装置、基板処理装置、ドレッサディスク、ドレッサディスクの取り外し方法、ドレッサディスクの取り付け方法およびドレッサディスクの交換方法 |
2016/10/12 |
2016200815 |
特許 |
給水装置、及び、給水システム |
2016/10/11 |
2016022066 |
意匠 |
メカニカルシール用カバー |
2016/10/11 |
2016200393 |
特許 |
真空ポンプ、真空ポンプの冷却装置、真空ポンプの冷却方法、真空排気システム、及び、真空ポンプのメンテナンス方法 |
2016/10/11 |
2016022065 |
意匠 |
メカニカルシール用カバー |
2016/10/7 |
2016199246 |
特許 |
給水装置 |
2016/10/6 |
2016198063 |
特許 |
放射性ストロンチウムを含有する放射性廃液の処理方法 |
2016/10/5 |
2016196982 |
特許 |
両吸込ポンプ |
2016/10/5 |
2016197610 |
特許 |
水中モータ及び防水コネクタ |
2016/9/30 |
2016193258 |
特許 |
基板研磨装置 |
2016/9/30 |
2016194819 |
特許 |
給水装置 |
2016/9/29 |
2016191945 |
特許 |
基板洗浄装置及び基板処理装置 |
2016/9/29 |
2016190866 |
特許 |
羽根車の製造方法 |
2016/9/29 |
2020173962 |
特許 |
基板洗浄装置 |
2016/9/29 |
2016191003 |
特許 |
基板ホルダ、めっき装置、及び基板ホルダの製造方法 |
2016/9/28 |
2016190136 |
特許 |
給水装置 |
2016/9/28 |
2016189742 |
特許 |
めっき装置 |
2016/9/16 |
2016182072 |
特許 |
先行待機運転ポンプ |
2016/9/15 |
2016180682 |
特許 |
研磨方法、研磨装置を有する基板処理装置、およびプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
2016/9/13 |
2016099951 |
商標 |
Ahead,Beyond |
2016/9/8 |
2016175785 |
特許 |
基板ホルダ、めっき装置、及び基板を保持する方法 |
2016/9/7 |
2016174449 |
特許 |
研磨方法、研磨装置、およびプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
2016/9/2 |
2016171398 |
特許 |
基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
2016/8/25 |
2016164343 |
特許 |
研磨装置、及び、研磨方法 |
2016/8/23 |
2016162592 |
特許 |
研磨方法および研磨装置 |
2016/8/18 |
2016160874 |
特許 |
排ガス処理装置 |
2016/8/17 |
2016160097 |
特許 |
ボルテックス形ポンプ及びボルテックス形ポンプ内の羽根車の位置を調整する方法 |
2016/8/17 |
2016160098 |
特許 |
消音部材およびこの消音部材を用いた消音構造体 |
2016/8/17 |
2016160133 |
特許 |
排水システム、排水ポンプ車および排水方法 |
2016/8/12 |
2016158456 |
特許 |
ドレッシング装置、研磨装置、ホルダー、ハウジング及びドレッシング方法 |
2016/8/9 |
2016156533 |
特許 |
汚水ポンプ用ケーシングライナ、汚水ポンプ、汚水ポンプ用ケーシングライナの製造方法 |
2016/8/8 |
2016155710 |
特許 |
めっき装置、めっき装置の制御方法、及び、めっき装置の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納した記憶媒体 |
2016/8/5 |
2016016852 |
意匠 |
基板研磨装置用押圧部材 |
2016/8/5 |
2017533135 |
特許 |
軸封装置およびこの軸封装置を備えた立軸ポンプ |
2016/8/5 |
2016016853 |
意匠 |
基板研磨装置用押圧部材 |
2016/8/5 |
2016016854 |
意匠 |
基板研磨装置用押圧部材 |
2016/8/5 |
2016016855 |
意匠 |
基板研磨装置用押圧部材 |
2016/8/2 |
2016151858 |
特許 |
研磨装置および研磨方法 |
2016/7/28 |
2016148256 |
特許 |
研磨装置 |
2016/7/27 |
2016016016 |
意匠 |
基板保持リング |
2016/7/27 |
2016016015 |
意匠 |
基板保持リング |
2016/7/26 |
2016146069 |
特許 |
排水システムおよび排水方法 |
2016/7/22 |
2016144835 |
特許 |
カップリングガードおよび機械装置 |
2016/7/22 |
2016144713 |
特許 |
基板の表面を研磨する装置および方法、プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
2016/7/22 |
2016015581 |
意匠 |
ポンプ |
2016/7/19 |
2016141083 |
特許 |
軸受組立体およびポンプ装置 |
2016/7/14 |
2016139470 |
特許 |
給水装置 |
2016/7/13 |
2016138394 |
特許 |
ボルテックス形ポンプ用羽根車及びボルテックス形ポンプ |
2016/7/13 |
2016138434 |
特許 |
膜厚測定装置、研磨装置、膜厚測定方法、及び、研磨方法 |
2016/7/13 |
2016138538 |
特許 |
消音ユニットおよび消音ユニットを用いた消音構造体 |
2016/7/13 |
2016138393 |
特許 |
ボルテックス形ポンプ用羽根車及びボルテックス形ポンプ |
2016/7/13 |
2016138431 |
特許 |
基板ホルダ及びこれを用いためっき装置 |
2016/7/8 |
2016135677 |
特許 |
ポンプ |
2016/7/8 |
2016135947 |
特許 |
ターンテーブル用クロスの剥離治具 |
2016/7/8 |
2016135736 |
特許 |
ポンプ |
2016/7/7 |
2016134881 |
特許 |
弾性膜、基板保持装置、基板研磨装置、基板保持装置における基板吸着判定方法および圧力制御方法 |
2016/7/7 |
2018246532 |
特許 |
基板保持装置及び弾性膜 |
2016/7/7 |
2016134890 |
特許 |
ポンプ装置 |
2016/7/6 |
2016134552 |
特許 |
基板処理装置 |
2016/7/5 |
2016133540 |
特許 |
ウィーンフィルター |
2016/7/4 |
2016132453 |
特許 |
基板ホルダの検査装置、これを備えためっき装置、及び外観検査装置 |
2016/6/30 |
2016130900 |
特許 |
基板処理装置 |
2016/6/30 |
2020112458 |
特許 |
基板処理装置 |
2016/6/30 |
2016130431 |
特許 |
基板ホルダ、電子デバイス製造装置において基板を搬送する搬送システム、および電子デバイス製造装置 |
2016/6/30 |
2021205018 |
特許 |
基板処理装置 |
2016/6/29 |
2016128716 |
特許 |
膜厚信号処理装置、研磨装置、膜厚信号処理方法、及び、研磨方法 |
2016/6/29 |
2016128669 |
特許 |
悪臭防止型排水設備 |
2016/6/28 |
2016127630 |
特許 |
洗浄装置、これを備えためっき装置、及び洗浄方法 |
2016/6/28 |
2016133933 |
特許 |
洗浄装置、これを備えためっき装置、及び洗浄方法 |
2016/6/27 |
2016126429 |
特許 |
基板洗浄装置及び基板洗浄方法 |
2016/6/27 |
2016127058 |
特許 |
洗浄装置及び基板処理装置 |
2016/6/24 |
2016125358 |
特許 |
排水システムおよび排水方法 |
2016/6/16 |
2016119946 |
特許 |
整流装置 |
2016/6/15 |
2016118620 |
特許 |
ポンプ装置、運転情報送信方法、および運転情報表示プログラム |
2016/6/10 |
2016116136 |
特許 |
アノードに給電可能な給電体及びめっき装置 |
2016/6/10 |
2016116125 |
特許 |
呼水栓、および呼水栓を備えるポンプ |
2016/6/8 |
2016114170 |
特許 |
排ガス処理装置 |
2016/6/7 |
2018522193 |
特許 |
立軸ポンプ |
2016/6/7 |
2016113501 |
特許 |
基板処理装置 |
2016/6/7 |
2016113500 |
特許 |
めっき装置、めっき方法、及び記録媒体 |
2016/6/7 |
2018522192 |
特許 |
立軸ポンプ |
2016/6/3 |
2016111802 |
特許 |
めっき装置、基板ホルダ、めっき装置の制御方法、及び、めっき装置の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納した記憶媒体 |
2016/6/1 |
2016110188 |
特許 |
ポンプユニット |
2016/6/1 |
2016110186 |
特許 |
ポンプユニット |
2016/5/31 |
2016109309 |
特許 |
消音器 |
2016/5/26 |
2016105180 |
特許 |
リテーナリング、基板保持装置及び基板研磨装置 |
2016/5/24 |
2016103335 |
特許 |
ポンプ点検方法、点検装置、ガイド部材及び治具 |
2016/5/23 |
2016102379 |
特許 |
排ガス処理装置 |
2016/5/12 |
2016096154 |
特許 |
固定構造、基板搬送装置、基板処理装置、及び固定構造の高さ調整方法 |
2016/5/12 |
2016096276 |
特許 |
処理対象物を保持するためのテーブルおよび該テーブルを有する処理装置 |
2016/5/12 |
2016096466 |
特許 |
研磨装置、研磨ヘッド、およびリテーナリング |
2016/5/9 |
2016093993 |
特許 |
基板ホルダ及びこれを用いためっき装置 |
2016/5/9 |
2019145906 |
特許 |
基板洗浄装置 |
2016/5/9 |
2016093756 |
特許 |
基板洗浄装置 |
2016/5/2 |
2017529479 |
特許 |
非接触環状シール及びこれを備える回転機械 |
2016/4/28 |
2016091001 |
特許 |
給水装置、及び、給水装置の制御方法 |
2016/4/28 |
2016091003 |
特許 |
ポンプ装置 |
2016/4/27 |
2016089889 |
特許 |
悪臭防止型排水設備 |
2016/4/22 |
2016086291 |
特許 |
基板洗浄装置 |
2016/4/21 |
2016085067 |
特許 |
給水装置 |
2016/4/21 |
2016085066 |
特許 |
給水装置 |
2016/4/14 |
2016081246 |
特許 |
めっき装置及びめっき方法 |
2016/4/13 |
2016008171 |
意匠 |
基板洗浄用スポンジ |
2016/4/12 |
2016079462 |
特許 |
洗浄部材、基板洗浄装置及び基板処理装置 |
2016/4/12 |
2016079618 |
特許 |
給水装置 |
2016/4/8 |
2016078491 |
特許 |
研磨装置および研磨方法 |
2016/4/6 |
2020066362 |
特許 |
基板処理装置 |
2016/4/4 |
2016074951 |
特許 |
基板処理装置および基板有無確認方法 |
2016/4/4 |
2016075266 |
特許 |
基板搬送装置および基板処理装置ならびに結露抑制方法 |
2016/3/31 |
2016072492 |
特許 |
軸組立体、モータ軸、モータ、モータポンプ、および軸組立体の製造方法 |
2016/3/31 |
2016072546 |
特許 |
ティーチング装置およびティーチング方法 |
2016/3/31 |
2016071279 |
特許 |
ポンプ |
2016/3/31 |
2016072493 |
特許 |
モータ、直動型モータポンプ、および給水装置 |
2016/3/31 |
2016070519 |
特許 |
研磨装置 |
2016/3/31 |
2016070299 |
特許 |
熱交換器 |
2016/3/31 |
2016071000 |
特許 |
基板の製造方法及び基板 |
2016/3/30 |
2016067484 |
特許 |
排水ポンプ設備および排水方法 |
2016/3/30 |
2016068498 |
特許 |
真空式汚水収集システムに使用される流れ検知装置、真空式汚水収集システム、真空弁監視装置及び監視方法 |
2016/3/30 |
2016067067 |
特許 |
基板処理装置 |
2016/3/30 |
2016068353 |
特許 |
ポンプシステム、制御装置及び制御方法 |
2016/3/30 |
2016069697 |
特許 |
基板洗浄装置及び基板処理装置 |
2016/3/29 |
2016066008 |
特許 |
ディフューザ、及び多段ポンプ装置 |
2016/3/29 |
2016066011 |
特許 |
悪臭防止型排水設備、および、悪臭防止型排水設備のための汚水槽を設置する方法 |
2016/3/28 |
2016063760 |
特許 |
めっき方法 |
2016/3/24 |
2016059831 |
特許 |
渦巻ポンプ |
2016/3/24 |
2017509854 |
特許 |
ディフューザを備える流体機械 |
2016/3/23 |
2016058567 |
特許 |
研磨装置 |
2016/3/22 |
2017507501 |
特許 |
水溶液中のルテニウム吸着剤、及び水溶液中のルテニウムの吸着処理方法 |
2016/3/22 |
2016057028 |
特許 |
基板ホルダ及びめっき装置 |
2016/3/18 |
2017548477 |
特許 |
遠心ポンプ用羽根車 |
2016/3/18 |
2016055878 |
特許 |
研磨装置および研磨方法 |
2016/3/16 |
2016052526 |
特許 |
排水機場および排水方法 |
2016/3/16 |
2016052548 |
特許 |
排水機場および排水方法 |
2016/3/10 |
2016047483 |
特許 |
基板の研磨装置および研磨方法 |
2016/3/8 |
2016043969 |
特許 |
基板洗浄装置、基板洗浄方法、基板処理装置および基板乾燥装置 |
2016/3/7 |
2016043517 |
特許 |
摺動材料、軸スリーブ及び軸スリーブを備えたポンプ |
2016/3/4 |
2016041715 |
特許 |
モータポンプ |
2016/3/4 |
2016041900 |
特許 |
再生システム、監視システムおよび再生方法 |
2016/3/3 |
2016040801 |
特許 |
めっき装置及びめっき方法 |
2016/3/1 |
2016038726 |
特許 |
無電解めっき装置および無電解めっき方法 |
2016/2/25 |
2016034548 |
特許 |
基板処理装置および基板処理方法 |
2016/2/25 |
2020040145 |
特許 |
ポンプ制御ユニット、及び、ポンプ装置 |
2016/2/25 |
2016034056 |
特許 |
ポンプ制御ユニット、及び、ポンプ装置 |
2016/2/23 |
2016031970 |
特許 |
研磨装置 |
2016/2/22 |
2016030733 |
特許 |
熱交換器 |
2016/2/15 |
2016026134 |
特許 |
基板洗浄装置及び基板処理装置 |
2016/2/15 |
2016025687 |
特許 |
洗浄部材の初期化方法 |
2016/2/12 |
2016024620 |
特許 |
基板保持モジュール、基板処理装置、および基板処理方法 |
2016/2/10 |
2016023844 |
特許 |
基板処理装置用排水システム、排水方法及び排水制御装置並びに記録媒体 |
2016/2/10 |
2016023220 |
特許 |
ポンプシステム |
2016/2/10 |
2016023674 |
特許 |
多段水中ポンプ用の吸込ケーシング、および、多段水中ポンプ |
2016/2/9 |
2016022763 |
特許 |
診断補助装置、診断補助システム、診断補助方法および診断補助プログラム |
2016/2/9 |
2016022686 |
特許 |
基板処理装置及び制御方法 |
2016/2/4 |
2016573420 |
特許 |
検査装置 |
2016/2/3 |
2016018495 |
特許 |
給水装置、および給水装置の運転方法 |
2016/2/3 |
2016019073 |
特許 |
ポンプ機場、フラップ弁健全度確認システム、および、フラップ弁の健全度確認方法 |
2016/2/3 |
2020112545 |
特許 |
給水装置、および給水装置の運転方法 |
2016/2/3 |
2016018496 |
特許 |
給水装置、および給水装置の運転方法 |
2016/2/2 |
2016018054 |
特許 |
真空ポンプ |
2016/2/2 |
2016017766 |
特許 |
基板洗浄装置、洗浄具および基板処理装置、ならびに、洗浄具の取り外し、取り付けおよび交換方法 |
2016/1/29 |
2016016343 |
特許 |
スイッチング運転可能な多重効用式薄膜降下型蒸発濃縮装置 |
2016/1/29 |
2019164993 |
特許 |
検査装置 |
2016/1/22 |
2016011150 |
特許 |
ポンプ運転パターン制御方法およびポンプ装置 |
2016/1/21 |
2016009640 |
特許 |
ヨウ素酸イオン及びヨウ化物イオンの定量分析方法 |
2016/1/20 |
2016008931 |
特許 |
ポンプ装置 |
2016/1/20 |
2016008925 |
特許 |
ポンプ装置 |
2016/1/18 |
2016006803 |
特許 |
真空ポンプ |
2016/1/18 |
2017537516 |
特許 |
超音波溶接方法および流体作動ポンプ用のディフューザー |
2016/1/18 |
2016570619 |
特許 |
バフ研磨処理における研磨量のシミュレーション方法およびバフ研磨装置 |
2016/1/15 |
2016006213 |
特許 |
洗浄装置、基板処理装置、および基板処理方法 |
2016/1/15 |
2017087202 |
特許 |
シチナカイト構造を有するシリコチタネートを含む組成物を用いるセシウム又はストロンチウムの少なくともいずれかの吸着方法 |
2016/1/15 |
2017087203 |
特許 |
シチナカイト構造を有するシリコチタネートを含む組成物を用いるセシウム又はストロンチウムの少なくともいずれかの吸着方法 |
2016/1/14 |
2016005367 |
特許 |
検査装置及び検査方法 |
2016/1/14 |
2016004874 |
特許 |
検査装置、そのアライメント装置及びアライメント方法 |
2016/1/14 |
2016005193 |
特許 |
立軸ポンプ |
2016/1/14 |
2016005185 |
特許 |
研磨装置及び研磨方法 |
2016/1/14 |
2016005189 |
特許 |
立軸ポンプ |
2016/1/13 |
2016004108 |
特許 |
検査装置及び検査方法 |
2016/1/12 |
2016003722 |
特許 |
検査装置 |
2016/1/12 |
2016003214 |
特許 |
検査装置及び高圧基準管の製造方法 |
2016/1/12 |
2016003796 |
特許 |
電子銃及びこれを備える検査装置 |
2016/1/7 |
2016568746 |
特許 |
研磨パッドの表面性状測定装置を備えたCMP装置 |
2015/12/25 |
2015255393 |
特許 |
潤滑油の漏洩を防止する軸封装置を有する流体継手 |
2015/12/24 |
2015250838 |
特許 |
給水システム及び給水装置 |
2015/12/24 |
2015252534 |
特許 |
検査装置 |
2015/12/24 |
2015252082 |
特許 |
放射性アンチモン、放射性ヨウ素及び放射性ルテニウムの吸着剤、当該吸着剤を用いた放射性廃液の処理方法 |
2015/12/22 |
2015028536 |
意匠 |
ポンプケーシング |
2015/12/22 |
2015028534 |
意匠 |
ポンプケーシング |
2015/12/22 |
2015028537 |
意匠 |
ポンプケーシング |
2015/12/22 |
2015028535 |
意匠 |
ポンプケーシング |
2015/12/21 |
2021207984 |
特許 |
回転体の最大押付荷重決定方法、および回転体の最大押付荷重決定プログラム |
2015/12/21 |
2015249121 |
特許 |
連結機構および基板研磨装置 |
2015/12/21 |
2019041302 |
特許 |
連結機構、および基板研磨装置 |
2015/12/21 |
2020091968 |
特許 |
連結機構の回転中心位置決定方法、および連結機構の回転中心位置決定プログラム |
2015/12/21 |
2015248380 |
特許 |
レギュレーションプレート、これを備えためっき装置及びめっき方法 |
2015/12/18 |
2015246856 |
特許 |
研磨装置、制御方法及びプログラム |
2015/12/18 |
2015246850 |
特許 |
基板搬送用移載機及び基板移載方法 |
2015/12/18 |
2019106949 |
特許 |
基板搬送用移載機及び基板移載方法 |
2015/12/16 |
2015245256 |
特許 |
基板処理装置およびその品質保証方法 |
2015/12/11 |
2015242638 |
特許 |
油貯留構造体および流体継手 |
2015/12/10 |
2015240941 |
特許 |
放射性セシウム及び放射性ストロンチウムを含む放射性廃液の処理方法 |
2015/12/9 |
2015239988 |
特許 |
給水装置 |
2015/12/7 |
2015238395 |
特許 |
基板処理装置、基板処理装置の真空吸着テーブルから基板を脱着する方法、及び、基板処理装置の真空吸着テーブルに基板を載置する方法 |
2015/12/4 |
2015237725 |
特許 |
給水システム |
2015/12/1 |
2015026855 |
意匠 |
渦流防止用ブロック |
2015/12/1 |
2015026854 |
意匠 |
渦流防止用ブロック |
2015/12/1 |
2015026853 |
意匠 |
渦流防止用ブロック |
2015/12/1 |
2015026852 |
意匠 |
渦流防止用ブロック |
2015/11/30 |
2015234197 |
特許 |
ポンプ装置 |
2015/11/27 |
2015231844 |
特許 |
キャリブレーション装置及びキャリブレーション方法 |
2015/11/27 |
2015026518 |
意匠 |
シールリング |
2015/11/27 |
2015026515 |
意匠 |
シールリング |
2015/11/27 |
2015026516 |
意匠 |
シールリング |
2015/11/26 |
2015230765 |
特許 |
ポンプ |
2015/11/26 |
2015231135 |
特許 |
ポンプ装置 |
2015/11/26 |
2015231102 |
特許 |
ポンプ装置 |
2015/11/25 |
2019163657 |
特許 |
情報処理システム及び情報処理方法 |
2015/11/25 |
2015230043 |
特許 |
情報処理システム及び情報処理方法 |
2015/11/25 |
2015229709 |
特許 |
多段ポンプ |
2015/11/24 |
2015229002 |
特許 |
研磨方法 |
2015/11/19 |
2015227000 |
特許 |
水中ポンプ |
2015/11/19 |
2015226775 |
特許 |
基板保持装置 |
2015/11/18 |
2015225772 |
特許 |
リーマボルトおよびリーマボルトの取り外し方法 |
2015/11/17 |
2019130094 |
特許 |
バフ処理装置および基板処理装置 |
2015/11/17 |
2021092237 |
特許 |
バフ処理装置および基板処理装置 |
2015/11/17 |
2015224669 |
特許 |
バフ処理装置および基板処理装置 |
2015/11/16 |
2015223782 |
特許 |
液封式電動機およびこれに用いられるスリーブ付き電源ケーブルの製造方法 |
2015/11/12 |
2015025328 |
意匠 |
ポンプ用逆止弁案内具 |
2015/11/11 |
2015221576 |
特許 |
排ガス処理装置 |
2015/11/6 |
2015218517 |
特許 |
基板洗浄装置 |
2015/11/6 |
2020168861 |
特許 |
基板洗浄装置 |
2015/11/6 |
2019108364 |
特許 |
基板洗浄装置 |
2015/11/6 |
2015218460 |
特許 |
渦防止装置、および渦防止装置を備えるポンプ設備 |
2015/10/30 |
2015213909 |
特許 |
排ガス処理装置 |
2015/10/30 |
2016556681 |
特許 |
ワークピースを研磨するための化学機械研磨装置 |
2015/10/30 |
2016143076 |
特許 |
排ガス処理装置 |
2015/10/29 |
2015212609 |
特許 |
ポンプ制御装置およびポンプ制御方法ならびに排水システム |
2015/10/28 |
2015023968 |
意匠 |
基板洗浄用スポンジ |
2015/10/28 |
2015023967 |
意匠 |
基板洗浄用スポンジ |
2015/10/28 |
2015023969 |
意匠 |
基板洗浄用スポンジ |
2015/10/28 |
2015023966 |
意匠 |
基板洗浄用スポンジ |
2015/10/27 |
2015210872 |
特許 |
電磁石制御装置および電磁石システム |
2015/10/27 |
2015023832 |
意匠 |
ポンプ用制御盤 |
2015/10/27 |
2015023831 |
意匠 |
ポンプ用制御盤 |
2015/10/27 |
2015023833 |
意匠 |
ポンプ制御盤用台座 |
2015/10/21 |
2015207311 |
特許 |
抽出システム、診断システム、抽出方法及びプログラム |
2015/10/20 |
2016556206 |
特許 |
基板洗浄装置及び基板洗浄方法 |
2015/10/20 |
2015206064 |
特許 |
研磨装置 |
2015/10/20 |
2016556207 |
特許 |
基板洗浄ロール、基板洗浄装置、及び基板洗浄方法 |
2015/10/19 |
2015205791 |
特許 |
横軸ポンプ |
2015/10/14 |
2015203262 |
特許 |
基板保持装置および基板研磨装置ならびに基板保持装置の製造方法 |
2015/10/9 |
2015201150 |
特許 |
表示盤及び排水機場 |
2015/10/9 |
2015201280 |
特許 |
給水装置 |
2015/10/8 |
2017519940 |
特許 |
遠心ポンプ用の羽根車組立体 |
2015/10/7 |
2015199463 |
特許 |
すべり軸受装置 |
2015/10/6 |
2015021985 |
意匠 |
基板保持リング |
2015/10/1 |
2015195935 |
特許 |
ターボ形ポンプ |
2015/9/28 |
2015189316 |
特許 |
研磨方法 |
2015/9/25 |
2015187926 |
特許 |
すべり軸受装置 |
2015/9/24 |
2015021002 |
意匠 |
基板洗浄用ローラ |
2015/9/24 |
2015021000 |
意匠 |
基板洗浄用ローラ |
2015/9/24 |
2015021001 |
意匠 |
基板洗浄用ローラ |
2015/9/24 |
2015020999 |
意匠 |
基板洗浄用ローラ |
2015/9/16 |
2015183003 |
特許 |
渦電流センサ |
2015/9/14 |
2015180622 |
特許 |
基板ホルダおよびめっき装置 |
2015/9/14 |
2015180502 |
特許 |
反転機および基板研磨装置 |
2015/9/4 |
2015174558 |
特許 |
排水機場および排水方法 |
2015/9/4 |
2015174519 |
特許 |
めっき方法 |
2015/9/2 |
2015172679 |
特許 |
研磨装置及び研磨方法 |
2015/8/31 |
2015170270 |
特許 |
水中モータポンプ、および水中モータポンプに用いられる取付部材 |
2015/8/31 |
2015170271 |
特許 |
水中モータポンプ、および水中モータポンプにおいて用いられる取付部材 |
2015/8/31 |
2015019102 |
意匠 |
モータ冷却用パイプ固定具 |
2015/8/31 |
2015019101 |
意匠 |
モータ冷却用パイプ固定具 |
2015/8/28 |
2015168969 |
特許 |
めっき装置、めっき方法、及び基板ホルダ |
2015/8/28 |
2018057786 |
特許 |
めっき装置、めっき方法、及び基板ホルダ |
2015/8/28 |
2016546610 |
特許 |
海水淡水化システムおよびエネルギー回収装置 |
2015/8/27 |
2015167865 |
特許 |
ポンプシステム及び制御装置 |
2015/8/24 |
2015165097 |
特許 |
測定方法、傾向管理方法及び診断方法。 |
2015/8/20 |
2015018267 |
意匠 |
真空吸着パッド |
2015/8/20 |
2015018266 |
意匠 |
真空吸着パッド |
2015/8/19 |
2015161769 |
特許 |
ターボ機械 |
2015/8/18 |
2015161187 |
特許 |
基板吸着方法、トップリングおよび基板研磨装置 |
2015/8/12 |
2019002303 |
特許 |
構造体の余寿命を推定する方法 |
2015/8/12 |
2015159515 |
特許 |
材料の疲労特性の評価方法 |
2015/8/5 |
2015017445 |
意匠 |
給水装置用表示器 |
2015/8/5 |
2015017426 |
意匠 |
給水装置用表示器 |
2015/8/3 |
2015153625 |
特許 |
給水装置 |
2015/7/27 |
2015147865 |
特許 |
真空ポンプ装置 |
2015/7/27 |
2015147791 |
特許 |
スイッチドリラクタンスモータのセンサレス駆動装置、および該センサレス駆動装置を備えたモータ装置 |
2015/7/27 |
2015147867 |
特許 |
真空ポンプ装置 |
2015/7/27 |
2015147907 |
特許 |
ポンプ |
2015/7/23 |
2015145960 |
特許 |
基板処理装置、基板処理システム、および基板処理方法 |
2015/7/17 |
2017087204 |
特許 |
シチナカイト構造を有するシリコチタネートを用いるセシウム又はストロンチウムの少なくともいずれかの吸着方法 |
2015/7/15 |
2015141113 |
特許 |
気液分離器及び研磨装置 |
2015/7/13 |
2015015551 |
意匠 |
給水装置用表示器被覆フィルム |
2015/7/10 |
2015138731 |
特許 |
ファンスクラバー、及び、真空ポンプ装置 |
2015/7/10 |
2015138797 |
特許 |
ポンプ及びこれを備えたポンプ機場 |
2015/7/9 |
2016543862 |
特許 |
立軸ポンプ |
2015/7/9 |
2015137932 |
特許 |
すべり軸受装置 |
2015/7/8 |
2015015208 |
意匠 |
真空吸着パッド |
2015/7/8 |
2015015207 |
意匠 |
真空吸着パッド |
2015/7/6 |
2015135140 |
特許 |
ファンスクラバー、及び、真空ポンプ装置 |
2015/7/6 |
2015135143 |
特許 |
キャンドモータ |
2015/6/29 |
2015129639 |
特許 |
洗浄装置及びロール洗浄部材 |
2015/6/29 |
2015130012 |
特許 |
ポンプ |
2015/6/29 |
2015130044 |
特許 |
金属検知用センサー及び該センサーを用いた金属検知方法 |
2015/6/26 |
2015129104 |
特許 |
ポンプ装置 |
2015/6/26 |
2015129101 |
特許 |
ポンプ装置 |
2015/6/18 |
2015122876 |
特許 |
めっき装置の調整方法及び測定装置 |
2015/6/5 |
2015114767 |
特許 |
研磨装置 |
2015/6/4 |
2015114113 |
特許 |
ヨウ素化合物吸着剤及びその製造方法並びにヨウ素化合物吸着剤を用いる放射性廃液の処理方法及び装置 |
2015/5/28 |
2015108160 |
特許 |
電磁石制御装置及び電磁石制御方法 |
2015/5/25 |
2015105683 |
特許 |
給水装置、監視装置、及び、給水システム |
2015/5/22 |
2015104424 |
特許 |
真空ポンプ装置 |
2015/5/15 |
2015099643 |
特許 |
研磨装置、及び、研磨方法 |
2015/5/15 |
2015100331 |
特許 |
ポンプ装置、遠隔制御装置、及び、ポンプ装置の制御方法 |
2015/5/14 |
2015098706 |
特許 |
基板研磨装置 |
2015/5/14 |
2015010518 |
意匠 |
研磨装置本体 |
2015/5/11 |
2015096248 |
特許 |
電磁石装置 |
2015/5/8 |
2015095314 |
特許 |
研磨装置 |
2015/4/28 |
2015092214 |
特許 |
電解処理装置 |
2015/4/27 |
2015090813 |
特許 |
カップリングガード |
2015/4/24 |
2015089262 |
特許 |
すべり軸受装置及びこれを備えたポンプ |
2015/4/23 |
2015088741 |
特許 |
基板電解処理装置、および該基板電解処理装置に使用されるパドル |
2015/4/23 |
2015088696 |
特許 |
基板処理装置 |
2015/4/17 |
2020042861 |
特許 |
基板処理装置、基板処理システム、および基板処理方法 |
2015/4/17 |
2018234253 |
特許 |
基板処理装置、基板処理システム、および基板処理方法 |
2015/4/17 |
2016513841 |
特許 |
基板処理装置、基板処理システム、および基板処理方法 |
2015/4/17 |
2018234256 |
特許 |
基板処理装置、基板処理システム、および基板処理方法 |
2015/4/10 |
2016514859 |
特許 |
研磨方法 |
2015/4/8 |
2015079459 |
特許 |
膜厚測定方法、膜厚測定装置、研磨方法、および研磨装置 |
2015/4/6 |
2015078081 |
特許 |
給水装置および交換表示案内方法 |
2015/4/6 |
2019215169 |
特許 |
給水装置 |
2015/4/1 |
2015075406 |
特許 |
排水ポンプ機場、ポンプ管理方法、及びポンプ管理システム |
2015/3/30 |
2015006795 |
意匠 |
ポンプケーシングカバー |
2015/3/30 |
2015069918 |
特許 |
ポンプ装置、及び、ポンプ装置の監視方法 |
2015/3/30 |
2015006794 |
意匠 |
ポンプケーシング |
2015/3/27 |
2015067141 |
特許 |
渦巻ポンプ |
2015/3/25 |
2015063238 |
特許 |
真空排気システム |
2015/3/25 |
2015063239 |
特許 |
めっき装置、および基板ホルダの電気接点の電気抵抗を決定する方法 |
2015/3/25 |
2015062325 |
特許 |
圧力校正用治具、及び、基板処理装置 |
2015/3/25 |
2015063360 |
特許 |
ポンプ運転台数制御方法およびポンプ装置 |
2015/3/25 |
2019116180 |
特許 |
真空排気システム |
2015/3/25 |
2015006472 |
意匠 |
ポンプケーシング |
2015/3/24 |
2015060284 |
特許 |
基板処理装置 |
2015/3/24 |
2015061256 |
特許 |
ポンプ |
2015/3/23 |
2015059630 |
特許 |
多段ポンプ |
2015/3/23 |
2015059575 |
特許 |
モータ |
2015/3/20 |
2017121260 |
特許 |
弾性膜、基板保持装置、および研磨装置 |
2015/3/20 |
2015057994 |
特許 |
弾性膜、基板保持装置、および研磨装置 |
2015/3/19 |
2015055739 |
特許 |
液封式モータ、および、液封式モータの製造方法 |
2015/3/19 |
2015056922 |
特許 |
研磨装置およびその制御方法ならびにドレッシング条件出力方法 |
2015/3/19 |
2018221925 |
特許 |
研磨装置およびその制御方法ならびにドレッシング条件出力方法 |
2015/3/13 |
2016510232 |
特許 |
エネルギー回収システム |
2015/3/12 |
2015049896 |
特許 |
基板処理装置 |
2015/3/12 |
2015049038 |
特許 |
洗浄薬液供給装置、洗浄薬液供給方法、及び洗浄ユニット |
2015/3/11 |
2015048837 |
特許 |
半導体デバイス製造装置の構成部品を交換する装置 |
2015/3/10 |
2015047187 |
特許 |
液封式モータ、及び、ポンプ装置 |
2015/3/10 |
2015047586 |
特許 |
電子線検査装置 |
2015/3/10 |
2015046668 |
特許 |
基板搬送用ハンド |
2015/3/9 |
2015046292 |
特許 |
基板洗浄装置、基板洗浄方法、および基板処理装置 |
2015/3/6 |
2015045278 |
特許 |
ハンドシャワーガンおよびウォーターハンマー低減機構 |
2015/3/5 |
2015043306 |
特許 |
めっき装置 |
2015/3/4 |
2015042868 |
特許 |
洗浄装置及び洗浄方法 |
2015/3/4 |
2021170814 |
特許 |
洗浄装置及び洗浄方法 |
2015/3/4 |
2018206420 |
特許 |
洗浄装置及び洗浄方法 |
2015/3/4 |
2020192856 |
特許 |
洗浄装置及び洗浄方法 |
2015/2/27 |
2015038877 |
特許 |
廃油固化体の製造方法及び製造装置 |
2015/2/26 |
2019141889 |
特許 |
液体ポンプのメインテナンス・スケジューラ |
2015/2/26 |
2015036990 |
特許 |
液体ポンプのメインテナンス・スケジューラ |
2015/2/24 |
2015033910 |
特許 |
荷重測定装置および荷重測定方法 |
2015/2/20 |
2015032003 |
特許 |
除塵設備およびその製造方法、排水機場、ならびに、塵芥の除去方法 |
2015/2/19 |
2015031060 |
特許 |
ドライ真空ポンプ装置およびその制御方法 |
2015/2/19 |
2015030489 |
特許 |
基板洗浄装置および方法 |
2015/2/18 |
2015029872 |
特許 |
給水システム |
2015/2/18 |
2015029666 |
特許 |
基板洗浄装置および方法 |
2015/2/17 |
2015003142 |
意匠 |
渦巻ポンプ用ケーシングカバー |
2015/2/17 |
2015003151 |
意匠 |
渦巻ポンプ用ケーシング |
2015/2/17 |
2015003148 |
意匠 |
渦巻ポンプ用ケーシング |
2015/2/17 |
2015003152 |
意匠 |
渦巻ポンプ用ケーシング |
2015/2/17 |
2015003146 |
意匠 |
渦巻ポンプ用ケーシング |
2015/2/17 |
2015003149 |
意匠 |
渦巻ポンプ用ケーシング |
2015/2/17 |
2015003145 |
意匠 |
渦巻ポンプ用ケーシング |
2015/2/17 |
2015003147 |
意匠 |
渦巻ポンプ用ケーシング |
2015/2/17 |
2015003150 |
意匠 |
渦巻ポンプ用ケーシング |
2015/2/17 |
2015003144 |
意匠 |
渦巻ポンプ用ケーシングカバー |
2015/2/17 |
2015003143 |
意匠 |
渦巻ポンプ用ケーシングカバー |
2015/2/13 |
2015026536 |
特許 |
アノードユニットおよび該アノードユニットを備えためっき装置 |
2015/2/5 |
2015021475 |
特許 |
作業車両 |
2015/1/22 |
2015009955 |
特許 |
立軸ポンプ |
2015/1/22 |
2015001097 |
意匠 |
電気接続端子 |
2015/1/22 |
2015559899 |
特許 |
非接触環状シール及びこれを備える回転機械 |
2015/1/20 |
2015008627 |
特許 |
電子光学装置及び検査装置 |
2015/1/19 |
2015007487 |
特許 |
電動機 |
2015/1/19 |
2015000810 |
意匠 |
コネクタプラグ |
2015/1/19 |
2015000811 |
意匠 |
コネクタプラグ |
2015/1/14 |
2019082933 |
特許 |
真空式排液収集システムおよび排液収集方法 |
2015/1/14 |
2015004857 |
特許 |
真空式排液収集システムおよび排液収集方法 |
2015/1/7 |
2015136192 |
特許 |
めっき方法およびめっき装置 |
2015/1/7 |
2015001842 |
特許 |
めっき方法およびめっき装置 |
2015/1/7 |
2016247946 |
特許 |
めっき方法およびめっき装置 |
2015/1/6 |
2015000989 |
特許 |
基板研磨装置 |
2014/12/26 |
2018082072 |
特許 |
基板ホルダ、基板ホルダで基板を保持する方法、及びめっき装置 |
2014/12/26 |
2014265694 |
特許 |
研磨パッドの表面性状測定方法および装置 |
2014/12/26 |
2014265211 |
特許 |
基板ホルダ、基板ホルダで基板を保持する方法、及びめっき装置 |
2014/12/26 |
2014266199 |
特許 |
研磨装置およびその制御方法 |
2014/12/25 |
2015554982 |
特許 |
すべり軸受装置 |
2014/12/23 |
2014259614 |
特許 |
除害機能付真空ポンプ |
2014/12/22 |
2014028698 |
意匠 |
排ガス処理装置用内筒 |
2014/12/22 |
2014028697 |
意匠 |
排ガス処理装置用内筒 |
2014/12/22 |
2014258969 |
特許 |
基板処理装置 |
2014/12/22 |
2014028696 |
意匠 |
排ガス処理装置用内筒 |
2014/12/22 |
2014028699 |
意匠 |
排ガス処理装置用内筒 |
2014/12/22 |
2014028700 |
意匠 |
ポンプケーシング |
2014/12/19 |
2014028462 |
意匠 |
軸受ケーシング用被覆部材 |
2014/12/18 |
2014256365 |
特許 |
除害機能付真空ポンプ |
2014/12/18 |
2014256522 |
特許 |
基板ホルダ、めっき装置及びめっき方法 |
2014/12/18 |
2014256364 |
特許 |
ドライ真空ポンプ、およびドライ真空ポンプの製造方法 |
2014/12/15 |
2014253287 |
特許 |
基板洗浄装置および基板処理装置 |
2014/12/12 |
2014027815 |
意匠 |
ドレッサーディスク |
2014/12/12 |
2014027814 |
意匠 |
ドレッサーディスク |
2014/12/12 |
2014027816 |
意匠 |
ドレッサーディスク |
2014/12/8 |
2014027387 |
意匠 |
渦巻ポンプ |
2014/12/8 |
2014027388 |
意匠 |
渦巻ポンプ |
2014/11/20 |
2014235906 |
特許 |
めっき装置及びめっき方法 |
2014/11/20 |
2014235191 |
特許 |
洗浄具、洗浄具の製造方法、および、基板洗浄装置 |
2014/11/20 |
2014235449 |
特許 |
研磨面洗浄装置、研磨装置、および研磨面洗浄装置の製造方法 |
2014/11/20 |
2018108216 |
特許 |
洗浄具、洗浄具の製造方法、および、基板洗浄装置 |
2014/11/18 |
2014234007 |
特許 |
基板洗浄装置、基板処理装置、および基板洗浄方法 |
2014/11/17 |
2014025609 |
意匠 |
給水装置用表示器被覆フィルム |
2014/11/17 |
2014025608 |
意匠 |
ポンプ用羽根車 |
2014/11/14 |
2014231817 |
特許 |
基板保持装置 |
2014/11/11 |
2014229169 |
特許 |
研磨装置 |
2014/11/10 |
2014228346 |
特許 |
研磨装置及び研磨方法 |
2014/11/10 |
2014227909 |
特許 |
真空式汚水収集装置のための中央監視装置、監視システムおよび監視方法 |
2014/11/10 |
2016133435 |
特許 |
真空式汚水収集装置のための中央監視装置、監視システムおよび監視方法 |
2014/11/7 |
2014024923 |
意匠 |
ポンプ用羽根車 |
2014/11/7 |
2014024921 |
意匠 |
ポンプ用羽根車 |
2014/11/7 |
2014024922 |
意匠 |
ポンプ用羽根車 |
2014/11/6 |
2014226210 |
特許 |
磁気浮上型ポンプ |
2014/10/31 |
2014223754 |
特許 |
ロール部材、ペンシル部材、及びそれらの少なくともいずれか一方を含む基板処理装置 |
2014/10/22 |
2015543879 |
特許 |
海水淡水化システムおよびエネルギー回収装置 |
2014/10/17 |
2014023330 |
意匠 |
回転電機の回転子 |
2014/10/17 |
2014023332 |
意匠 |
回転電機の回転子 |
2014/10/17 |
2014023329 |
意匠 |
回転電機の回転子 |
2014/10/17 |
2014023331 |
意匠 |
回転電機の回転子 |
2014/10/10 |
2014209063 |
特許 |
バフ処理装置、および、基板処理装置 |
2014/10/9 |
2014207872 |
特許 |
研磨装置、及び、処理方法 |
2014/10/8 |
2014084806 |
商標 |
PRIDE |
2014/10/3 |
2014204739 |
特許 |
処理コンポーネント、処理モジュール、及び、処理方法 |
2014/9/30 |
2014021714 |
意匠 |
ポンプ用制御盤 |
2014/9/30 |
2014201691 |
特許 |
配管接続方法 |
2014/9/26 |
2019155283 |
特許 |
真空ポンプおよびその運転方法 |
2014/9/26 |
2014196253 |
特許 |
真空ポンプおよびその運転方法 |
2014/9/25 |
2014195584 |
特許 |
コンディショニング部、バフ処理モジュール、基板処理装置、及び、ドレスリンス方法 |
2014/9/25 |
2014195053 |
特許 |
真空ポンプ |
2014/9/18 |
2014078764 |
商標 |
エバラグリーンPPS |
2014/9/17 |
2018137633 |
特許 |
膜厚信号処理装置、研磨装置、膜厚信号処理方法、及び、研磨方法 |
2014/9/17 |
2014189291 |
特許 |
研磨装置および研磨方法 |
2014/9/17 |
2014189295 |
特許 |
膜厚信号処理装置、研磨装置、膜厚信号処理方法、及び、研磨方法 |
2014/9/12 |
2014186404 |
特許 |
研磨方法および研磨装置 |
2014/9/11 |
2014185489 |
特許 |
基板処理装置 |
2014/9/11 |
2018102459 |
特許 |
基板処理装置 |
2014/9/11 |
2019072666 |
特許 |
送水管路系のキャビテーションサージを緩和および防止するための装置および方法 |
2014/9/11 |
2015536625 |
特許 |
送水管路系のキャビテーションサージを緩和および防止するための装置および方法 |
2014/9/2 |
2014177742 |
特許 |
終点検出方法、及び、研磨装置 |
2014/9/1 |
2014176989 |
特許 |
ドア枠の取付構造及び取付方法 |
2014/9/1 |
2014177468 |
特許 |
研磨装置 |
2014/9/1 |
2014177438 |
特許 |
リンス槽および該リンス槽を用いた基板洗浄方法 |
2014/8/29 |
2014175873 |
特許 |
真空式排液収集システム |
2014/8/28 |
2014174145 |
特許 |
研磨方法および研磨装置 |
2014/8/26 |
2014171859 |
特許 |
バフ処理モジュール、及び、処理装置 |
2014/8/19 |
2014167012 |
特許 |
先行待機型ポンプ |
2014/8/12 |
2018205164 |
特許 |
防振型防音ドア |
2014/7/24 |
2018177356 |
特許 |
立軸ポンプ |
2014/7/24 |
2015528330 |
特許 |
立軸ポンプ |
2014/7/14 |
2014144050 |
特許 |
立軸ポンプ |
2014/7/11 |
2014143012 |
特許 |
故障診断システム及び故障診断方法 |
2014/7/9 |
2014141732 |
特許 |
研磨装置 |
2014/7/9 |
2014014995 |
意匠 |
ポンプデータ通報器 |
2014/7/9 |
2014014996 |
意匠 |
ポンプデータ通報装置貼着用表示シート |
2014/7/8 |
2014140326 |
特許 |
液体ポンプ、および、液体ポンプの維持管理方法 |
2014/7/7 |
2014139693 |
特許 |
基板処理装置及び基板搬送方法 |
2014/7/7 |
2018093549 |
特許 |
基板処理装置及び基板搬送方法 |
2014/7/7 |
2014139305 |
特許 |
水中軸受構造、及び、立軸ポンプ |
2014/6/30 |
2014014261 |
意匠 |
給水ポンプ |
2014/6/30 |
2014014262 |
意匠 |
給水ポンプ |
2014/6/26 |
2014131045 |
特許 |
洗浄ユニット |
2014/6/24 |
2014129688 |
特許 |
すべり軸受装置 |
2014/6/23 |
2014128031 |
特許 |
研磨パッドの温度調節システムおよびこれを備えた基板処理装置 |
2014/6/23 |
2018128848 |
特許 |
真空ポンプユニット |
2014/6/23 |
2014128502 |
特許 |
真空ポンプ装置 |
2014/6/18 |
2014125270 |
特許 |
リフト損失低減装置及びリフト損失低減方法 |
2014/6/18 |
2014125537 |
特許 |
基板ホルダを備えためっき装置、およびめっき方法 |
2014/6/10 |
2017201931 |
特許 |
腐食壊食防止構造およびこれを備えるポンプ、並びにポンプの製造方法および補修方法 |
2014/6/10 |
2014119724 |
特許 |
基板洗浄装置 |
2014/6/9 |
2014118553 |
特許 |
基板ホルダ用の基板着脱部及びこれを備えた湿式基板処理装置 |
2014/6/9 |
2014118554 |
特許 |
めっき装置及びめっき方法 |
2014/6/6 |
2014117602 |
特許 |
研磨装置および研磨方法 |
2014/6/3 |
2014114672 |
特許 |
研磨装置 |
2014/6/2 |
2014113915 |
特許 |
研磨液の研磨性能判定方法及び装置 |
2014/6/2 |
2014114010 |
特許 |
液体ポンプおよび液体ポンプシステム |
2014/5/30 |
2014112480 |
特許 |
真空排気システム |
2014/5/30 |
2014112800 |
特許 |
汚水ポンプ用のケーシングライナ及びこれを備えた汚水ポンプ |
2014/5/30 |
2014112479 |
特許 |
研磨装置 |
2014/5/28 |
2014110515 |
特許 |
テープ貼り付け装置およびテープ貼り付け方法 |
2014/5/26 |
2014108399 |
特許 |
研磨装置 |
2014/5/23 |
2014106862 |
特許 |
圧力校正用治具、及び、基板処理装置 |
2014/5/20 |
2020091390 |
特許 |
基板洗浄装置および基板洗浄装置で実行される方法 |
2014/5/20 |
2014104154 |
特許 |
電動モータ及びこれを備えたポンプ |
2014/5/20 |
2019033955 |
特許 |
基板洗浄装置および基板洗浄装置で実行される方法 |
2014/5/20 |
2014104156 |
特許 |
キャンドモータ及びこれを備えた真空ポンプ |
2014/5/16 |
2014102762 |
特許 |
ポンプ装置 |
2014/5/16 |
2014010489 |
意匠 |
ファンカバー |
2014/5/15 |
2014010410 |
意匠 |
ドレッサーディスク |
2014/5/14 |
2014100383 |
特許 |
ポンプ装置 |
2014/5/14 |
2014100384 |
特許 |
研磨テーブル交換装置および研磨テーブルの取り出し方法 |
2014/5/12 |
2014098560 |
特許 |
真空ポンプ装置 |
2014/5/9 |
2014097911 |
特許 |
天板開閉機構及び検査装置 |
2014/4/30 |
2014094137 |
特許 |
基板研磨装置 |
2014/4/30 |
2014093840 |
特許 |
基板保持装置、研磨装置、研磨方法、およびリテーナリング |
2014/4/25 |
2014091507 |
特許 |
昇降装置、及び、ユニット搬送方法 |
2014/4/17 |
2014085592 |
特許 |
冷却装置、及び、基板処理装置 |
2014/4/16 |
2014084372 |
特許 |
基板乾燥装置、制御プログラム、及び基板乾燥方法 |
2014/4/15 |
2014083500 |
特許 |
反転機、基板処理装置、及び、反転機の傾き調整方法 |
2014/4/10 |
2014081010 |
特許 |
ロータリージョイント、及び、研磨装置 |
2014/4/10 |
2014081012 |
特許 |
基板処理装置 |
2014/4/9 |
2014080351 |
特許 |
横軸ポンプの内部点検装置および内部点検方法 |
2014/4/9 |
2014079982 |
特許 |
ドレッシング装置、及び半導体製造装置 |
2014/4/8 |
2014079454 |
特許 |
ハウジングおよびこれを備えた砥液供給ユニット並びに基板処理装置 |
2014/4/7 |
2014078565 |
特許 |
検査装置において撮像装置用のタイミング信号を生成するための制御装置、撮像装置にタイミング信号を送出する方法 |
2014/4/4 |
2014077591 |
特許 |
検査装置 |
2014/3/31 |
2014072227 |
特許 |
研磨装置の構成部品用のカバー、研磨装置の構成部品、および、研磨装置 |
2014/3/31 |
2014074481 |
特許 |
研磨装置及び研磨方法 |
2014/3/31 |
2018000626 |
特許 |
研磨装置および研磨方法 |
2014/3/31 |
2014073315 |
特許 |
監視装置 |
2014/3/31 |
2014073804 |
特許 |
基板保持機構、基板搬送装置、半導体製造装置 |
2014/3/31 |
2018031845 |
特許 |
研磨装置の構成部品用のカバー、研磨装置の構成部品、および、研磨装置 |
2014/3/31 |
2014074111 |
特許 |
基板研磨装置 |
2014/3/28 |
2014069621 |
特許 |
基板処理方法 |
2014/3/28 |
2015510066 |
特許 |
海水淡水化システムおよびエネルギー回収装置 |
2014/3/28 |
2014067876 |
特許 |
基板処理装置 |
2014/3/28 |
2015510065 |
特許 |
海水淡水化システムおよびエネルギー回収装置 |
2014/3/27 |
2014066998 |
特許 |
基板処理装置、および基板処理装置の配管洗浄方法 |
2014/3/27 |
2014065256 |
特許 |
ドライ真空ポンプ装置およびその運転方法 |
2014/3/27 |
2014065716 |
特許 |
反射鏡の姿勢調整構造 |
2014/3/26 |
2018092778 |
特許 |
ポンプ、及びケーシングライナ |
2014/3/24 |
2017201068 |
特許 |
基板処理装置 |
2014/3/24 |
2014059565 |
特許 |
基板処理装置 |
2014/3/17 |
2014053776 |
特許 |
液封式真空ポンプ及びそれに用いる羽根車 |
2014/3/14 |
2014051386 |
特許 |
ポンプ、およびポンプシステム |
2014/3/14 |
2014052311 |
特許 |
電子線検査装置 |
2014/3/14 |
2014051013 |
特許 |
研磨装置及び研磨方法 |
2014/3/13 |
2014050546 |
特許 |
研磨装置 |
2014/3/13 |
2014050269 |
特許 |
軸受装置及びこれを備えた立軸ポンプ |
2014/3/13 |
2014049622 |
特許 |
渦電流センサ |
2014/3/12 |
2014048671 |
特許 |
膜厚測定値の補正方法、及び、膜厚補正器 |
2014/3/12 |
2014048674 |
特許 |
膜厚測定装置、及び、研磨装置 |
2014/3/11 |
2014048147 |
特許 |
電動機の駆動装置 |
2014/3/7 |
2014045172 |
特許 |
基板処理システムおよび基板処理方法 |
2014/3/5 |
2014042714 |
特許 |
研磨装置および研磨方法 |
2014/3/5 |
2014042369 |
特許 |
誘導電動機 |
2014/3/4 |
2014004595 |
意匠 |
めっき装置用電気接点 |
2014/3/4 |
2014004597 |
意匠 |
めっき装置用電気接点 |
2014/3/4 |
2014004596 |
意匠 |
めっき装置用電気接点 |
2014/2/28 |
2014038889 |
特許 |
研磨装置 |
2014/2/25 |
2015505376 |
特許 |
海水淡水化システムおよびエネルギー回収装置 |
2014/2/21 |
2014031932 |
特許 |
回転機器 |
2014/2/20 |
2014030998 |
特許 |
研磨パッドのコンディショニング方法及び装置 |
2014/2/17 |
2014027780 |
特許 |
研磨装置および研磨方法 |
2014/2/17 |
2017168396 |
特許 |
研磨装置 |
2014/2/14 |
2014026578 |
特許 |
基板保持装置および研磨装置 |
2014/2/12 |
2014024551 |
特許 |
基板処理方法 |
2014/2/10 |
2014023430 |
特許 |
洗浄ユニット及びそれを備えた洗浄装置 |
2014/2/10 |
2014023477 |
特許 |
アノードホルダ及びめっき装置 |
2014/2/7 |
2014022496 |
特許 |
状態報告装置、基板処理装置、及び状態報告方法 |
2014/2/6 |
2014021664 |
特許 |
基板ホルダを備えためっき装置 |
2014/1/29 |
2014014426 |
特許 |
スイッチドリラクタンスモータのセンサレス駆動装置 |
2014/1/27 |
2014005317 |
商標 |
EBARA |
2014/1/24 |
2014004789 |
商標 |
§EBARA |
2014/1/23 |
2014010800 |
特許 |
研磨方法および研磨装置 |
2014/1/21 |
2014008286 |
特許 |
基板保持装置および研磨装置 |
2014/1/21 |
2014008439 |
特許 |
めっき装置およびめっき方法 |
2014/1/20 |
2014007654 |
特許 |
基板処理装置内の複数の処理ユニットを調整するための調整装置、および該調整装置を備えた基板処理装置 |
2014/1/15 |
2014005472 |
特許 |
研磨方法および装置 |
2014/1/15 |
2014005166 |
特許 |
基板処理装置の異常検出装置、及び基板処理装置 |
2014/1/15 |
2017216354 |
特許 |
回転保持装置及び基板洗浄装置 |
2014/1/14 |
2014004137 |
特許 |
レーザ測長器の反射鏡の支持構造 |
2014/1/10 |
2014003237 |
特許 |
研磨装置 |
2014/1/9 |
2014002525 |
特許 |
横軸ポンプ |
2014/1/9 |
2014002526 |
特許 |
圧力制御装置および該圧力制御装置を備えた研磨装置 |
2014/1/9 |
2014002524 |
特許 |
めっき装置およびめっき方法 |
2014/1/8 |
2014001837 |
特許 |
エッチング液、エッチング方法、およびはんだバンプの製造方法 |
2013/12/27 |
2013030785 |
意匠 |
ウェハエッジシール |
2013/12/27 |
2013271253 |
特許 |
バイパス管及びこれを備えた真空式液体収集システム |
2013/12/26 |
2013030512 |
意匠 |
めっき装置用電気接点 |
2013/12/25 |
2013266882 |
特許 |
排水構造および基板処理装置 |
2013/12/25 |
2013267841 |
特許 |
ポンプ装置 |
2013/12/16 |
2013259348 |
特許 |
潤滑油流出抑制装置、回転機械、潤滑油の流出抑制方法 |
2013/12/13 |
2013258484 |
特許 |
真空容器内のステージの設置構造 |
2013/12/13 |
2013257775 |
特許 |
真空磁気遮蔽容器の構造 |
2013/12/2 |
2013248945 |
特許 |
研磨装置 |
2013/11/28 |
2013245970 |
特許 |
研磨装置 |
2013/11/25 |
2013242717 |
特許 |
基板洗浄装置及び基板洗浄方法 |
2013/11/25 |
2013242716 |
特許 |
基板洗浄装置および基板処理装置 |
2013/11/22 |
2018010305 |
特許 |
基板洗浄装置、基板処理装置、および基板洗浄方法 |
2013/11/22 |
2013241961 |
特許 |
空気抜き装置、軸受装置 |
2013/11/22 |
2013241960 |
特許 |
基板洗浄装置および基板処理装置 |
2013/11/19 |
2013239040 |
特許 |
基板洗浄装置および基板処理装置 |
2013/11/18 |
2013238224 |
特許 |
基板洗浄装置及び基板洗浄方法 |
2013/11/15 |
2013236823 |
特許 |
立軸ポンプの点検装置および点検方法 |
2013/11/11 |
2013026347 |
意匠 |
半導体ウェハ研磨装置用弾性膜 |
2013/11/11 |
2013026346 |
意匠 |
半導体ウェハ研磨装置用弾性膜 |
2013/11/11 |
2013026348 |
意匠 |
半導体ウェハ研磨装置用弾性膜 |
2013/11/11 |
2013026349 |
意匠 |
半導体ウェハ研磨装置用弾性膜 |
2013/11/1 |
2013228240 |
特許 |
研磨装置および研磨方法 |
2013/10/31 |
2013227086 |
特許 |
Sn合金めっき装置及びSn合金めっき方法 |
2013/10/29 |
2013025148 |
意匠 |
研磨パッド |
2013/10/29 |
2013025149 |
意匠 |
研磨パッド |
2013/10/25 |
2013221856 |
特許 |
熱交換器用の流路の接続装置 |
2013/10/23 |
2017089198 |
特許 |
研磨方法および研磨装置 |
2013/10/23 |
2013220327 |
特許 |
研磨方法および研磨装置 |
2013/10/17 |
2013216656 |
特許 |
研磨装置及び研磨方法 |
2013/10/15 |
2013214850 |
特許 |
水位制御装置 |
2013/10/15 |
2013214958 |
特許 |
基板洗浄装置及び基板洗浄方法 |
2013/10/11 |
2013213489 |
特許 |
基板処理装置および基板処理方法 |
2013/10/7 |
2013210387 |
特許 |
研磨方法 |
2013/10/3 |
2013208020 |
特許 |
基板洗浄装置及び基板処理装置 |
2013/10/2 |
2013207143 |
特許 |
排気流量制御装置及びこれを備えた基板処理装置 |
2013/9/30 |
2014539716 |
特許 |
給水装置 |
2013/9/26 |
2013199471 |
特許 |
基板洗浄機、基板洗浄装置、洗浄済基板の製造方法及び基板処理装置 |
2013/9/25 |
2013198161 |
特許 |
検査装置および検査用画像データの生成方法 |
2013/9/25 |
2013197742 |
特許 |
レベル出し装置、及びレベル出し装置を備えた基板処理装置 |
2013/9/24 |
2013021976 |
意匠 |
基板洗浄用ローラ軸 |
2013/9/24 |
2013021977 |
意匠 |
基板洗浄用ローラ軸 |
2013/9/24 |
2013021975 |
意匠 |
基板洗浄用ローラ軸 |
2013/9/24 |
2013197288 |
特許 |
キャンドモータ、キャンの製造方法 |
2013/9/18 |
2013193064 |
特許 |
給液装置の運転装置、及び給液装置 |
2013/9/17 |
2013192105 |
特許 |
研磨方法および研磨装置 |
2013/9/11 |
2013188073 |
特許 |
ユニット制御盤、基板の受け渡しテスト方法、及び基板処理装置 |
2013/9/6 |
2013184575 |
特許 |
研磨方法および研磨装置 |
2013/8/29 |
2013177741 |
特許 |
ドレッシング装置及びそれを備えた化学的機械的研磨装置、それに用いるドレッサーディスク |
2013/8/27 |
2017116619 |
特許 |
研磨装置 |
2013/8/27 |
2013175471 |
特許 |
研磨方法および研磨装置 |
2013/8/23 |
2013172948 |
特許 |
渦電流センサを備えた基板保持装置 |
2013/8/22 |
2013172218 |
特許 |
研磨パッドの表面粗さ測定方法 |
2013/8/12 |
2013167441 |
特許 |
シール構造、容器、及びポンプのケーシング構造 |
2013/8/12 |
2013167273 |
特許 |
弾性膜及び基板保持装置 |
2013/8/9 |
2013166141 |
特許 |
検査装置および検査用画像データの生成方法 |
2013/8/7 |
2013164427 |
特許 |
画像取得装置、画像取得方法及び欠陥検査装置 |
2013/8/7 |
2013164217 |
特許 |
基板洗浄及び乾燥装置 |
2013/8/7 |
2013164096 |
特許 |
消音板ユニットおよびこれを用いたセル形消音器ならびに消音設備 |
2013/8/7 |
2013163841 |
特許 |
ウェット処理装置及びこれを備えた基板処理装置 |
2013/7/29 |
2013156314 |
特許 |
スルーホールの電気めっき方法及び電気めっき装置 |
2013/7/26 |
2017144419 |
特許 |
給水装置 |
2013/7/26 |
2013156182 |
特許 |
給水装置 |
2013/7/26 |
2013058252 |
商標 |
E |
2013/7/24 |
2015528070 |
特許 |
原子力プラント用タンデムダブルシール |
2013/7/22 |
2013151414 |
特許 |
吸音部材及びこの吸音部材を備えたセル形消音器 |
2013/7/19 |
2013150507 |
特許 |
研磨装置および研磨状態監視方法 |
2013/7/19 |
2013150506 |
特許 |
基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
2013/7/18 |
2013149536 |
特許 |
すべり軸受装置およびこれを備えたポンプ |
2013/7/12 |
2013147089 |
特許 |
膜厚測定装置、膜厚測定方法、および膜厚測定装置を備えた研磨装置 |
2013/7/11 |
2013145734 |
特許 |
研磨装置および研磨状態監視方法 |
2013/7/10 |
2013144481 |
特許 |
可搬式排水ポンプ |
2013/7/5 |
2013141415 |
特許 |
水中ポンプ用ポンプ羽根及びこれを備えた水中ポンプ |
2013/7/3 |
2013139623 |
特許 |
地下排水ポンプ設備 |
2013/7/3 |
2017203256 |
特許 |
基板洗浄装置 |
2013/6/28 |
2013137542 |
特許 |
増圧給水システム |
2013/6/28 |
2013137543 |
特許 |
増圧給水システム |
2013/6/28 |
2013137541 |
特許 |
基板処理装置 |
2013/6/27 |
2013134472 |
特許 |
真空ポンプ装置 |
2013/6/27 |
2013135232 |
特許 |
真空ポンプシステム、真空ポンプの異常予兆の報知方法 |
2013/6/25 |
2013014290 |
意匠 |
ドレッサーディスク |
2013/6/25 |
2013014289 |
意匠 |
ドレッサーディスク |
2013/6/25 |
2013014288 |
意匠 |
ドレッサーディスク |
2013/6/24 |
2013131603 |
特許 |
排ガス処理装置 |
2013/6/24 |
2017115013 |
特許 |
基板保持装置 |
2013/6/24 |
2013131409 |
特許 |
基板保持装置および基板洗浄装置 |
2013/6/19 |
2013128711 |
特許 |
基板処理装置 |
2013/6/19 |
2013013816 |
意匠 |
ドレッサーディスク用ドレッシングペレット |
2013/6/17 |
2013126400 |
特許 |
粉体排出システム |
2013/6/10 |
2013122042 |
特許 |
検査装置 |
2013/6/4 |
2013117656 |
特許 |
地下排水機場およびその運転方法 |
2013/5/31 |
2013115092 |
特許 |
モータ、ポンプ |
2013/5/30 |
2013114275 |
特許 |
除害機能付真空ポンプ |
2013/5/28 |
2013112087 |
特許 |
研磨方法及び研磨装置 |
2013/5/28 |
2013111861 |
特許 |
潤滑油流出抑制装置、回転機械、潤滑油の流出抑制方法 |
2013/5/24 |
2013109907 |
特許 |
除害機能付真空ポンプ |
2013/5/24 |
2013109865 |
特許 |
基板処理装置 |
2013/5/15 |
2013010678 |
意匠 |
半導体ウェハ研磨装置用弾性膜 |
2013/5/15 |
2013102970 |
特許 |
ドレッシング装置、該ドレッシング装置を備えた研磨装置、および研磨方法 |
2013/5/15 |
2013010677 |
意匠 |
半導体ウェハ研磨装置用弾性膜 |
2013/5/13 |
2013101500 |
特許 |
ポンプ設備 |
2013/5/9 |
2013099722 |
特許 |
Sn合金めっき装置およびSn合金めっき方法 |
2013/5/2 |
2017198495 |
特許 |
非接触環状シール |
2013/4/30 |
2013095808 |
特許 |
ポンプ装置 |
2013/4/26 |
2013094552 |
特許 |
ポンプ装置 |
2013/4/25 |
2013092632 |
特許 |
基板洗浄装置 |
2013/4/25 |
2017039162 |
特許 |
研磨方法 |
2013/4/25 |
2013092182 |
特許 |
基板洗浄装置 |
2013/4/25 |
2013092183 |
特許 |
研磨方法および研磨装置 |
2013/4/23 |
2015120614 |
特許 |
化学機械研磨装置 |
2013/4/23 |
2013090773 |
特許 |
基板めっき装置及び基板めっき方法 |
2013/4/23 |
2013090694 |
特許 |
基板処理装置及び処理基板の製造方法 |
2013/4/23 |
2013090774 |
特許 |
ワークピースを研磨するための研磨パッド並びに化学機械研磨装置、および該化学機械研磨装置を用いてワークピースを研磨する方法 |
2013/4/23 |
2013090695 |
特許 |
基板処理装置及び処理基板の製造方法 |
2013/4/23 |
2013090693 |
特許 |
基板処理装置及び処理基板の製造方法 |
2013/4/22 |
2013089254 |
特許 |
液体供給装置、及び基板処理装置 |
2013/4/22 |
2013089124 |
特許 |
検査装置 |
2013/4/19 |
2013088255 |
特許 |
基板処理装置 |
2013/4/19 |
2017142547 |
特許 |
基板処理装置 |
2013/4/17 |
2013086227 |
特許 |
検査装置および検査用画像データの生成方法 |
2013/4/10 |
2013026454 |
商標 |
§Hzfree |
2013/4/10 |
2013026453 |
商標 |
ヘルツフリー |
2013/4/5 |
2013079153 |
特許 |
ロータリーバルブ |
2013/4/1 |
2013075911 |
特許 |
検査装置および検査用画像データの生成方法 |
2013/3/29 |
2013072404 |
特許 |
キャンドモータおよびこれを備えた液中ポンプ |
2013/3/29 |
2013072857 |
特許 |
自吸式ポンプの運転装置、液体供給装置、及び自吸式ポンプの運転方法 |
2013/3/29 |
2013071773 |
特許 |
研磨装置 |
2013/3/29 |
2013072410 |
特許 |
電子線応用装置の鏡筒部へ真空ポンプを接続する真空ポンプ用接続装置、及び該接続装置の設置方法 |
2013/3/29 |
2018012505 |
特許 |
自吸式ポンプの運転装置、液体供給装置、及び自吸式ポンプの運転方法 |
2013/3/29 |
2013072399 |
特許 |
研磨装置及び摩耗検知方法 |
2013/3/29 |
2017012191 |
特許 |
自吸式ポンプの運転装置、液体供給装置、及び自吸式ポンプの運転方法 |
2013/3/28 |
2013069942 |
特許 |
ステージ装置及び電子線応用装置 |
2013/3/28 |
2013069730 |
特許 |
除害機能付真空ポンプ |
2013/3/28 |
2017054053 |
特許 |
めっき装置 |
2013/3/28 |
2013069634 |
特許 |
真空フィードスルー、真空装置 |
2013/3/28 |
2013069943 |
特許 |
ステージ装置及び電子線応用装置 |
2013/3/28 |
2013069728 |
特許 |
除害機能付真空ポンプ |
2013/3/28 |
2013069729 |
特許 |
めっき装置およびめっき方法 |
2013/3/26 |
2013064193 |
特許 |
真空圧回復装置、真空式下水道システム、真空圧回復方法 |
2013/3/26 |
2013063800 |
特許 |
めっき装置およびめっき方法 |
2013/3/26 |
2013063623 |
特許 |
研磨装置温度制御システム、及び研磨装置 |
2013/3/26 |
2013063801 |
特許 |
多段ポンプ |
2013/3/22 |
2013059677 |
特許 |
壊食防止構造およびこれを用いたポンプ |
2013/3/22 |
2017157059 |
特許 |
壊食防止構造およびこれを用いたポンプ |
2013/3/21 |
2013057890 |
特許 |
試料検査装置及び試料の検査方法 |
2013/3/21 |
2013057863 |
特許 |
検査用表示装置、欠陥判別方法、検査用表示プログラム |
2013/3/14 |
2013051751 |
特許 |
真空ポンプ |
2013/3/12 |
2013049685 |
特許 |
研磨パッドの表面性状測定装置 |
2013/3/12 |
2013049686 |
特許 |
研磨装置および研磨方法 |
2013/3/12 |
2013049684 |
特許 |
研磨パッドの表面性状測定方法 |
2013/3/12 |
2013049687 |
特許 |
研磨液の性状測定装置 |
2013/3/11 |
2013047789 |
特許 |
軸継手ガード、回転機器システム |
2013/3/6 |
2013043948 |
特許 |
基板搬送装置、基板研磨装置 |
2013/3/6 |
2013044365 |
特許 |
測長計の設置構造 |
2013/3/6 |
2013044267 |
特許 |
表面電位測定装置および表面電位測定方法 |
2013/3/4 |
2013041494 |
特許 |
基板洗浄方法 |
2013/2/27 |
2013036784 |
特許 |
真空ポンプ |
2013/2/25 |
2013034419 |
特許 |
研磨装置に使用される研磨部材のプロファイル調整方法、および研磨装置 |
2013/2/22 |
2013033660 |
特許 |
ドレッサの研磨部材上の摺動距離分布の取得方法、ドレッサの研磨部材上の摺動ベクトル分布の取得方法、および研磨装置 |
2013/2/22 |
2013033584 |
特許 |
真空ポンプ用モータロータ及びこれを備えるモータ並びに真空ポンプ |
2013/2/21 |
2013032306 |
特許 |
砥液供給装置、及び基板処理装置 |
2013/2/21 |
2013032534 |
特許 |
基板洗浄装置及び洗浄方法 |
2013/2/18 |
2013003126 |
意匠 |
基板洗浄用ローラの洗浄治具 |
2013/2/18 |
2013003127 |
意匠 |
基板洗浄用ローラの洗浄治具 |
2013/2/15 |
2013027680 |
特許 |
多段ポンプ |
2013/2/12 |
2013024340 |
特許 |
除塵装置用レーキ |
2013/2/7 |
2013002378 |
意匠 |
回転機器のカップリング用ガード |
2013/2/6 |
2013021457 |
特許 |
研磨装置に使用される液体の流量制御装置 |
2013/2/5 |
2013020292 |
特許 |
研磨装置 |
2013/2/1 |
2013002016 |
意匠 |
基板洗浄用ローラ軸 |
2013/2/1 |
2013002015 |
意匠 |
基板洗浄用ローラ軸 |
2013/2/1 |
2013018476 |
特許 |
基板裏面の研磨方法および基板処理装置 |
2013/1/31 |
2013017192 |
特許 |
研磨装置および研磨方法 |
2013/1/31 |
2013017193 |
特許 |
研磨装置 |
2013/1/31 |
2013017345 |
特許 |
配管システムおよびポンプ |
2013/1/30 |
2017031756 |
特許 |
研磨装置 |
2013/1/30 |
2013015937 |
特許 |
研磨方法 |
2013/1/25 |
2013012284 |
特許 |
キャンドモータ、真空ポンプ |
2013/1/24 |
2013010756 |
特許 |
真空ポンプ装置およびその運転方法 |
2013/1/18 |
2013002483 |
商標 |
JESガード |
2013/1/17 |
2017007218 |
特許 |
流体供給装置 |
2013/1/17 |
2013006245 |
特許 |
流体供給装置 |
2013/1/17 |
2013554336 |
特許 |
インデューサ |
2013/1/16 |
2013005576 |
特許 |
海水淡水化システムおよびエネルギー回収装置 |
2013/1/15 |
2013004801 |
特許 |
渦巻ポンプ |
2013/1/11 |
2013003291 |
特許 |
基板把持装置 |
2013/1/11 |
2016231291 |
特許 |
基板把持装置 |