2021/12/10 |
2021201234 |
特許 |
半導体ウェーハ用エピタキシャル成長装置の基準位置検出状態の判定方法、半導体ウェーハの載置位置測定方法、及び、エピタキシャル成長装置 |
2021/11/15 |
2021185522 |
特許 |
横型熱処理炉、熱処理方法及びシリコンウェーハの製造方法 |
2021/11/10 |
2021183205 |
特許 |
半導体試料の評価方法、半導体試料の評価装置および半導体ウェーハの製造方法 |
2021/10/7 |
2021165284 |
特許 |
機械学習の評価方法及び機械学習による推定モデルの生成方法 |
2021/6/11 |
2021098146 |
特許 |
ワークの両面研磨方法及びワークの両面研磨装置 |
2020/12/16 |
2020208282 |
特許 |
シリコンウェーハの研磨方法及びシリコンウェーハの製造方法 |
2020/6/12 |
2020102456 |
特許 |
ワークの両面研磨方法、ワークの製造方法、及びワークの両面研磨装置 |
2020/4/20 |
2020074964 |
特許 |
エピタキシャルウェーハの製造システム及びエピタキシャルウェーハの製造方法 |
2020/4/6 |
2021530491 |
特許 |
誘導加熱コイル及びこれを用いた単結晶製造装置 |
2020/3/31 |
2020062561 |
特許 |
状態判定装置、状態判定方法、及び状態判定プログラム |
2020/3/27 |
2020058832 |
特許 |
保全管理装置、保全管理方法、及び保全管理プログラム |
2020/3/25 |
2020054543 |
特許 |
シリコンウェーハへのクラスターイオン注入による白傷欠陥低減効果の評価方法及びエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2020/2/7 |
2020020016 |
特許 |
SOIウェーハの貼合わせ方法 |
2020/1/30 |
2020013352 |
特許 |
単結晶製造管理システム |
2020/1/10 |
2020003047 |
特許 |
半導体ウェーハの洗浄装置および半導体ウェーハの洗浄方法 |
2019/12/27 |
2019239538 |
特許 |
シリコン試料の炭素濃度評価方法およびこの方法に使用される評価装置、シリコンウェーハ製造工程の評価方法、シリコンウェーハの製造方法ならびにシリコン単結晶インゴットの製造方法 |
2019/12/27 |
2021511115 |
特許 |
研磨ヘッド、研磨装置および半導体ウェーハの製造方法 |
2019/12/26 |
2019237212 |
特許 |
半導体ウェーハ用研磨布の使用開始時期の判定方法及びそれを用いた半導体ウェーハの研磨方法、並びに半導体ウェーハ研磨システム |
2019/12/26 |
2019237210 |
特許 |
結晶欠陥の検出方法、エピタキシャル成長装置の管理方法およびエピタキシャルウェーハの製造方法 |
2019/12/26 |
2019236549 |
特許 |
シリコンウェーハの欠陥検査方法及びシリコンウェーハの欠陥検査システム |
2019/12/26 |
2019236042 |
特許 |
SOIウェーハの片面研磨システム及びそれを用いたSOIウェーハの片面研磨方法 |
2019/12/26 |
2019236531 |
特許 |
シリコンウェーハの欠陥検査方法 |
2019/12/25 |
2019234059 |
特許 |
気相成長装置 |
2019/12/25 |
2019234575 |
特許 |
研磨装置への半導体ウェーハの受け渡し方法および半導体ウェーハの製造方法 |
2019/12/24 |
2019233273 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法、シリコン単結晶 |
2019/12/23 |
2019231222 |
特許 |
単結晶育成方法および単結晶育成装置 |
2019/12/20 |
2019230388 |
特許 |
シリコンインゴットへの中性子照射方法、シリコンインゴットの製造方法およびシリコンウェーハの製造方法 |
2019/12/20 |
2019230424 |
特許 |
単結晶シリコンウェーハの酸化膜耐圧の評価方法 |
2019/12/20 |
2019230418 |
特許 |
単結晶シリコンインゴットの製造方法 |
2019/12/19 |
2019229378 |
特許 |
研磨ヘッド、化学的機械的研磨装置、および、化学的機械的研磨方法 |
2019/12/19 |
2019228866 |
特許 |
気相成長装置及び気相成長処理方法 |
2019/12/19 |
2019229694 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハ及びその製造方法並びにX線検出センサ |
2019/12/19 |
2019229687 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2019/12/19 |
2019228902 |
特許 |
気相成長装置及び気相成長方法 |
2019/12/18 |
2019228637 |
特許 |
エピタキシャルウェーハのゲッタリング能力評価方法およびエピタキシャルウェーハの製造方法 |
2019/12/18 |
2019228635 |
特許 |
接合ウェーハ及びその製造方法 |
2019/12/16 |
2020563094 |
特許 |
石英ガラスルツボ |
2019/12/6 |
2019221034 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2019/12/6 |
2020563018 |
特許 |
熱処理炉の前処理条件の決定方法、熱処理炉の前処理方法、熱処理装置ならびに熱処理された半導体ウェーハの製造方法および製造装置 |
2019/12/6 |
2019221306 |
特許 |
誘導加熱コイル及びこれを用いた単結晶製造装置 |
2019/12/5 |
2019220093 |
特許 |
シリコンウェーハの製造方法 |
2019/12/4 |
2019219896 |
特許 |
質量測定装置および質量測定方法 |
2019/12/4 |
2019219532 |
特許 |
単結晶製造装置及び単結晶の製造方法 |
2019/11/11 |
2019203656 |
特許 |
炭素製ルツボ |
2019/11/7 |
2019202182 |
特許 |
レーザー表面検査装置の座標位置特定精度校正方法および半導体ウェーハの評価方法 |
2019/11/6 |
2019201561 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハのパッシベーション効果評価方法 |
2019/11/6 |
2019201560 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハのパッシベーション効果評価方法 |
2019/10/29 |
2019196678 |
特許 |
点欠陥シミュレーター、点欠陥シミュレーションプログラム、点欠陥シミュレーション方法、シリコン単結晶の製造方法および単結晶引き上げ装置 |
2019/9/27 |
2019177790 |
特許 |
ワークの両面研磨方法 |
2019/9/12 |
2020546200 |
特許 |
ウェーハの鏡面面取り方法、ウェーハの製造方法、及びウェーハ |
2019/9/9 |
2019163987 |
特許 |
半導体デバイス |
2019/9/9 |
2019163746 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2019/9/6 |
2019162971 |
特許 |
シリコン単結晶の育成方法およびシリコン単結晶の引き上げ装置 |
2019/9/5 |
2019161793 |
特許 |
シリコン試料の前処理方法、シリコン試料の金属汚染評価方法、単結晶シリコンインゴット育成工程の評価方法、単結晶シリコンインゴットの製造方法およびシリコンウェーハの製造方法 |
2019/9/3 |
2019160035 |
特許 |
光モジュール及びその製造方法 |
2019/9/2 |
2019159627 |
特許 |
単結晶シリコンの酸素濃度又は炭素濃度の測定方法 |
2019/8/30 |
2019158190 |
特許 |
シリコン単結晶の育成方法およびシリコン単結晶の引き上げ装置 |
2019/8/30 |
2019157906 |
特許 |
半導体試料の評価方法 |
2019/8/7 |
2019145410 |
特許 |
レーザマーク付きシリコンウェーハの製造方法 |
2019/7/25 |
2019137201 |
特許 |
光モジュールの製造方法及び光モジュール |
2019/7/24 |
2019136352 |
特許 |
ヘテロエピタキシャルウェーハの製造方法 |
2019/6/27 |
2019120088 |
特許 |
エピタキシャル成長装置およびエピタキシャルウェーハの製造方法 |
2019/6/26 |
2019118631 |
特許 |
単結晶シリコンの抵抗率測定方法 |
2019/6/21 |
2019115806 |
特許 |
付着物除去装置及び付着物除去方法 |
2019/6/12 |
2019109637 |
特許 |
シリコンウェーハの評価方法 |
2019/5/21 |
2019095411 |
特許 |
単結晶引き上げ装置の評価システム及び評価方法 |
2019/5/15 |
2020519897 |
特許 |
石英ルツボの透過率測定方法及び装置 |
2019/5/14 |
2019091373 |
特許 |
研磨パッドの管理方法及び研磨パッドの管理システム |
2019/5/13 |
2019090661 |
特許 |
シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法 |
2019/5/8 |
2019088271 |
特許 |
石英ルツボ製造用モールド及びこれを用いた石英ルツボ製造装置 |
2019/4/25 |
2019084206 |
特許 |
半導体ウェーハの分析方法、半導体ウェーハ製造工程評価方法および半導体ウェーハの製造方法 |
2019/4/18 |
2019079122 |
特許 |
気相成長方法及び気相成長装置 |
2019/4/18 |
2019079260 |
特許 |
シリコンウェーハのスリップ転位に対する耐性の評価方法 |
2019/4/18 |
2019079124 |
特許 |
気相成長方法及び気相成長装置 |
2019/4/15 |
2019077361 |
特許 |
片面研磨装置へのウェーハ装填装置 |
2019/4/15 |
2019077025 |
特許 |
評価体、評価システム、評価体の製造方法、および評価方法 |
2019/4/12 |
2019076187 |
特許 |
シリコン単結晶の製造時におけるギャップサイズ決定方法、および、シリコン単結晶の製造方法 |
2019/4/11 |
2019075856 |
特許 |
ウェーハの回転検出方法及びウェーハの回転検出システム |
2019/4/11 |
2019075501 |
特許 |
気相成長装置及びこれに用いられるキャリア |
2019/4/10 |
2019075112 |
特許 |
半導体ウェーハの品質評価方法、半導体ウェーハの収容容器の評価方法、半導体ウェーハの収容容器の選定方法、半導体ウェーハの輸送ルートの評価方法および半導体ウェーハの輸送ルートの選定方法 |
2019/4/10 |
2019074564 |
特許 |
半導体製品の導電型判別装置および導電型判別方法 |
2019/4/3 |
2019071511 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2019/4/3 |
2019071368 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2019/4/2 |
2019070793 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの不純物ゲッタリング能力の評価方法 |
2019/4/1 |
2019070180 |
特許 |
シリコンウェーハの平坦化加工方法 |
2019/3/22 |
2019055545 |
特許 |
ワークの両面研磨方法及びワークの両面研磨装置 |
2019/3/22 |
2020513156 |
特許 |
半導体ウェーハの評価方法および半導体ウェーハの製造方法 |
2019/3/5 |
2020521042 |
特許 |
III族窒化物半導体基板の製造方法 |
2019/3/1 |
2019037335 |
特許 |
シリコン単結晶製造装置 |
2019/2/27 |
2020526645 |
特許 |
シリコン融液の対流パターン制御方法、および、シリコン単結晶の製造方法 |
2019/2/25 |
2019032054 |
特許 |
貼り合わせウェーハのテラス加工方法及びテラス加工装置 |
2019/2/25 |
2019032051 |
特許 |
貼り合わせウェーハのテラス加工方法 |
2019/2/25 |
2020503501 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法およびエピタキシャルシリコンウェーハ |
2019/2/22 |
2019030453 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2019/2/22 |
2019030929 |
特許 |
半導体エピタキシャルウェーハ及びその製造方法 |
2019/2/22 |
2019030930 |
特許 |
クラスターイオンビーム生成方法及びクラスターイオンビーム照射方法 |
2019/2/14 |
2019024185 |
特許 |
ウェーハ回収装置、研磨システム、および、ウェーハ回収方法 |
2019/2/13 |
2020501693 |
特許 |
石英ガラスルツボ及びこれを用いたシリコン単結晶の製造方法 |
2019/1/11 |
2019003058 |
特許 |
シリカガラスルツボの製造装置および製造方法 |
2019/1/11 |
2019003483 |
特許 |
高抵抗材料の抵抗率測定方法 |
2018/12/28 |
2018246861 |
特許 |
半導体ウェーハの端面評価方法、半導体ウェーハ収容容器の評価方法、半導体ウェーハ梱包形態の評価方法および半導体ウェーハ輸送形態の評価方法 |
2018/12/27 |
2018245302 |
特許 |
両頭研削方法 |
2018/12/27 |
2018244822 |
特許 |
気相成長装置 |
2018/12/27 |
2018244844 |
特許 |
気相成長装置及びこれに用いられるキャリア |
2018/12/27 |
2018245109 |
特許 |
シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 |
2018/12/27 |
2018245448 |
特許 |
半導体ウェーハの評価方法および製造方法ならびに半導体ウェーハの製造工程管理方法 |
2018/12/27 |
2018244833 |
特許 |
気相成長装置 |
2018/12/27 |
2018245301 |
特許 |
ウェーハの製造方法およびウェーハ |
2018/12/27 |
2018245438 |
特許 |
半導体ウェーハの評価方法及び半導体ウェーハの製造方法 |
2018/12/27 |
2018245106 |
特許 |
シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法及びシリコンエピタキシャルウェーハ |
2018/12/27 |
2018244665 |
特許 |
単結晶シリコンの製造方法 |
2018/12/27 |
2018244642 |
特許 |
ガス分析方法 |
2018/12/26 |
2018243494 |
特許 |
シリコンウェーハのバッチ式洗浄方法並びにその洗浄方法を用いたシリコンウェーハの製造方法及びシリコンウェーハの洗浄条件決定方法 |
2018/12/26 |
2018243512 |
特許 |
シリコンウェーハのバッチ式洗浄方法並びにその洗浄方法を用いたシリコンウェーハの製造方法及びシリコンウェーハの洗浄条件決定方法 |
2018/12/25 |
2018241750 |
特許 |
多結晶ダイヤモンド自立基板及びその製造方法 |
2018/12/25 |
2018241365 |
特許 |
ウェーハ移載装置、気相成長装置、ウェーハ移載方法およびエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2018/12/25 |
2018241366 |
特許 |
気相成長装置およびエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2018/12/25 |
2018240914 |
特許 |
半導体ウェーハの洗浄槽および洗浄方法 |
2018/12/21 |
2018240172 |
特許 |
埋込み拡散層付きエピタキシャルシリコンウェーハにおけるシリコンエピタキシャル層の膜厚測定装置および膜厚測定方法、ならびに当該膜厚測定装置または当該膜厚測定方法を用いた埋込み拡散層付きエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2018/12/19 |
2018237665 |
特許 |
多結晶ダイヤモンド自立基板の製造方法 |
2018/12/19 |
2018237663 |
特許 |
単結晶シリコンインゴットの製造方法及びシリコン単結晶引上げ装置 |
2018/12/19 |
2018237641 |
特許 |
石英ガラスルツボ |
2018/11/30 |
2018224971 |
特許 |
エピタキシャルウェーハの製造方法および装置 |
2018/11/30 |
2018224843 |
特許 |
単結晶引き上げ装置、および、シリコン単結晶の製造方法 |
2018/11/28 |
2018221935 |
特許 |
貼付物の検査方法および半導体ウェーハの内装方法 |
2018/11/28 |
2018222321 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2018/11/28 |
2018222618 |
特許 |
熱伝導率推定方法、熱伝導率推定装置、半導体結晶製品の製造方法、熱伝導率演算装置、熱伝導率演算プログラム、および、熱伝導率演算方法 |
2018/11/19 |
2018216585 |
特許 |
シリコンウェーハのヘリカル面取り加工方法 |
2018/11/16 |
2018215822 |
特許 |
ウェーハの製造方法、ワイヤーソー用再利用スラリーの品質評価方法、及びワイヤーソー用使用済みスラリーの品質評価方法 |
2018/11/16 |
2019557153 |
特許 |
シリコン単結晶及びその製造方法並びにシリコンウェーハ |
2018/10/22 |
2018198503 |
特許 |
レーザマーク付きシリコンウェーハの製造方法 |
2018/10/19 |
2018197943 |
特許 |
シリコン試料の炭素濃度評価方法およびこの方法に使用される評価装置、シリコンウェーハ製造工程の評価方法、シリコンウェーハの製造方法ならびにシリコン単結晶インゴットの製造方法 |
2018/10/15 |
2018194023 |
特許 |
石英るつぼ内周面の評価方法及び石英るつぼ内周面の評価装置 |
2018/10/3 |
2018188480 |
特許 |
原料供給方法およびシリコン単結晶の製造方法 |
2018/10/2 |
2019560811 |
特許 |
III族窒化物半導体基板の製造方法 |
2018/9/27 |
2018182864 |
特許 |
ワークの両面研磨装置および両面研磨方法 |
2018/9/27 |
2018182224 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2018/9/26 |
2018179991 |
特許 |
欠陥評価装置の調整状態評価方法及び調整方法 |
2018/9/11 |
2018169720 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法およびエピタキシャルシリコンウェーハ |
2018/9/10 |
2018168955 |
特許 |
インゴットのVノッチ評価方法、インゴットのVノッチ加工方法、およびインゴットのVノッチ評価装置 |
2018/9/5 |
2018165749 |
特許 |
SOIウェーハ及びその製造方法 |
2018/9/5 |
2018165750 |
特許 |
SOIウェーハ及びその製造方法 |
2018/9/3 |
2018164796 |
特許 |
単結晶の製造方法及び装置及びシリコン単結晶インゴット |
2018/9/3 |
2018164532 |
特許 |
シリコン試料の炭素濃度評価方法、シリコンウェーハ製造工程の評価方法、シリコンウェーハの製造方法およびシリコン単結晶インゴットの製造方法 |
2018/9/3 |
2018164533 |
特許 |
シリコン試料の炭素濃度評価方法、シリコンウェーハ製造工程の評価方法、シリコンウェーハの製造方法およびシリコン単結晶インゴットの製造方法 |
2018/9/3 |
2018164793 |
特許 |
熱遮蔽部材、単結晶引き上げ装置及び単結晶の製造方法 |
2018/8/30 |
2018161897 |
特許 |
半導体エピタキシャルウェーハの製造方法及び半導体デバイスの製造方法 |
2018/8/27 |
2018158369 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法及びシリコンウェーハ |
2018/8/23 |
2020537967 |
特許 |
シリコン単結晶の育成方法 |
2018/8/21 |
2018154754 |
特許 |
シリコンウェーハの製造方法及びシリコンウェーハ |
2018/8/9 |
2018149990 |
特許 |
ウェーハの検査方法および検査装置 |
2018/8/9 |
2018102357 |
商標 |
JSQ |
2018/8/9 |
2018102356 |
商標 |
JSQ |
2018/8/7 |
2018148114 |
特許 |
石英ガラスルツボおよび石英ガラスルツボの製造方法 |
2018/7/24 |
2018138707 |
特許 |
ワークの両面研磨装置および両面研磨方法 |
2018/7/20 |
2018136376 |
特許 |
シリコン単結晶の炭素濃度測定方法及び装置 |
2018/7/19 |
2018136102 |
特許 |
ワークの両面研磨装置および両面研磨方法 |
2018/7/11 |
2018131759 |
特許 |
半導体ウェーハの洗浄方法、および該洗浄方法を用いた半導体ウェーハの製造方法 |
2018/7/9 |
2018130182 |
特許 |
シリコンウェーハの検査方法、検査装置、製造方法 |
2018/6/21 |
2018117563 |
特許 |
エピタキシャルウェーハの製造条件決定方法およびエピタキシャルウェーハの製造方法 |
2018/6/19 |
2018115991 |
特許 |
液化ガスタンク |
2018/6/15 |
2019526805 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2018/6/12 |
2018112229 |
特許 |
シリコンロッドの破砕方法及び装置並びにシリコン塊の製造方法 |
2018/6/11 |
2019527597 |
特許 |
石英ガラスルツボ |
2018/6/11 |
2018110907 |
特許 |
シリコンウェーハの評価方法 |
2018/6/11 |
2018111345 |
特許 |
融液面と種結晶の間隔測定方法、種結晶の予熱方法、及び単結晶の製造方法 |
2018/6/8 |
2018110106 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2018/5/22 |
2018098061 |
特許 |
ワークの両面研磨装置および両面研磨方法 |
2018/5/17 |
2018095300 |
特許 |
研磨ヘッド及びこれを用いたウェーハ研磨装置及び研磨方法 |
2018/4/27 |
2018086795 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法およびシリコン単結晶の引き上げ装置 |
2018/4/24 |
2019517549 |
特許 |
スプレーチャンバー、試料霧化導入装置、分析装置および試料中の成分分析方法 |
2018/4/16 |
2018078691 |
特許 |
キャリアの製造方法および半導体ウェーハの研磨方法 |
2018/4/12 |
2019514372 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法、および、エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2018/4/11 |
2018076296 |
特許 |
ワークの両面研磨装置 |
2018/4/2 |
2019516369 |
特許 |
石英ガラスルツボ及びその製造方法 |
2018/4/2 |
2021000917 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2018/3/30 |
2018068802 |
特許 |
ワイヤーソー用スラリーノズル |
2018/3/28 |
2019511179 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法およびエピタキシャルシリコンウェーハ |
2018/3/22 |
2018054160 |
特許 |
FZ炉の多結晶原料把持具 |
2018/3/22 |
2018054306 |
特許 |
ボロンドープp型シリコンウェーハのエッチング方法、金属汚染評価方法および製造方法 |
2018/3/20 |
2019515154 |
特許 |
n型シリコン単結晶の製造方法 |
2018/3/16 |
2018049733 |
特許 |
ウェーハの熱処理方法およびウェーハの製造方法 |
2018/3/16 |
2018049565 |
特許 |
アーク電極の位置調整方法及びこれを用いた石英ガラスルツボの製造方法及び製造装置 |
2018/3/8 |
2018042138 |
特許 |
半導体ウェーハのゲッタリング能力評価方法 |
2018/3/1 |
2018036909 |
特許 |
半導体エピタキシャルウェーハの製造方法 |
2018/3/1 |
2018036913 |
特許 |
半導体エピタキシャルウェーハの製造方法 |
2018/2/28 |
2018035833 |
特許 |
シリコン融液の対流パターン制御方法、シリコン単結晶の製造方法、および、シリコン単結晶の引き上げ装置 |
2018/2/28 |
2018035832 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2018/2/28 |
2018035830 |
特許 |
シリコン融液の対流パターン推定方法、シリコン単結晶の酸素濃度推定方法、シリコン単結晶の製造方法、および、シリコン単結晶の引き上げ装置 |
2018/2/28 |
2018035834 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法およびシリコン単結晶の引き上げ装置 |
2018/2/28 |
2018035829 |
特許 |
シリコン単結晶の酸素濃度推定方法、およびシリコン単結晶の製造方法 |
2018/2/27 |
2020503110 |
特許 |
半導体単結晶インゴットのスライス方法 |
2018/2/27 |
2018033566 |
特許 |
半導体ウェーハのゲッタリング能力の評価方法および該評価方法を用いた半導体ウェーハの製造方法 |
2018/2/27 |
2018033400 |
特許 |
シリコンウェーハの反り量の予測方法およびシリコンウェーハの製造方法 |
2018/2/27 |
2018033818 |
特許 |
半導体エピタキシャルウェーハの製造方法及び半導体デバイスの製造方法 |
2018/2/27 |
2018033766 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの不純物ゲッタリング能力の評価方法 |
2018/2/26 |
2018032266 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法及びエピタキシャルシリコンウェーハ |
2018/2/23 |
2018031159 |
特許 |
ウェーハの片面研磨方法 |
2018/2/21 |
2020501895 |
特許 |
ウェーハの製造方法 |
2018/2/16 |
2018026430 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハにおける積層欠陥の発生予測方法及びエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2018/2/7 |
2018019727 |
特許 |
シリカガラスルツボの製造装置およびシリカガラスルツボの製造方法 |
2018/2/2 |
2018566141 |
特許 |
単結晶引上装置のクリーニング装置、クリーニング方法 |
2018/1/24 |
2018009752 |
特許 |
シリコン層の評価方法およびシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 |
2018/1/18 |
2018006289 |
特許 |
貼り合わせウェーハの製造方法 |
2018/1/18 |
2018006193 |
特許 |
半導体ウェーハの評価方法および半導体ウェーハの製造方法 |
2018/1/17 |
2018005914 |
特許 |
貼り合わせウェーハの製造方法、貼り合わせウェーハ |
2018/1/17 |
2018005850 |
特許 |
原料供給方法およびシリコン単結晶の製造方法 |
2018/1/11 |
2019502487 |
特許 |
シリコン単結晶インゴットの製造方法およびシリコン単結晶インゴット |
2017/12/28 |
2017029545 |
意匠 |
ウェーハ収納容器用緩衝材 |
2017/12/28 |
2017253108 |
特許 |
シリカガラスルツボ、シリコン単結晶の引き上げ装置およびシリコン単結晶の製造方法 |
2017/12/28 |
2017253906 |
特許 |
ワークの両面研磨装置および両面研磨方法 |
2017/12/28 |
2017029544 |
意匠 |
ウェーハ収納容器用緩衝材 |
2017/12/28 |
2017254019 |
特許 |
エピタキシャルウェーハの製造装置及び製造方法 |
2017/12/28 |
2017029543 |
意匠 |
ウェーハ収納容器用緩衝材 |
2017/12/28 |
2017029542 |
意匠 |
ウェーハ収納容器用緩衝材 |
2017/12/28 |
2017029546 |
意匠 |
ウェーハ収納容器用緩衝材 |
2017/12/27 |
2017252003 |
特許 |
エピタキシャルウェーハの製造方法およびエピタキシャルウェーハ |
2017/12/27 |
2017251023 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法およびエピタキシャルシリコンウェーハ |
2017/12/27 |
2017251496 |
特許 |
吸着チャック |
2017/12/26 |
2017248997 |
特許 |
単結晶の製造方法及び製造装置 |
2017/12/26 |
2020185382 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハ |
2017/12/26 |
2017249274 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2017/12/26 |
2017249862 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2017/12/25 |
2017248019 |
特許 |
エピタキシャル成長装置およびそれを用いた半導体エピタキシャルウェーハの製造方法 |
2017/12/25 |
2017247957 |
特許 |
エピタキシャルウェーハの汚染評価方法および該方法を用いたエピタキシャルウェーハの製造方法 |
2017/12/25 |
2017248303 |
特許 |
サセプタおよび該サセプタを用いたエピタキシャルウェーハの製造方法 |
2017/12/25 |
2017248298 |
特許 |
ウェーハの両面研磨方法 |
2017/12/25 |
2017247850 |
特許 |
半導体ウェーハ収納容器の梱包用緩衝体 |
2017/12/22 |
2017246867 |
特許 |
気相成長装置の汚染管理方法及びエピタキシャルウェーハの製造方法 |
2017/12/22 |
2017246979 |
特許 |
p型シリコンウェーハ中のFe濃度測定方法及びSPV測定装置 |
2017/12/22 |
2017246955 |
特許 |
p型シリコンウェーハ中のFe濃度測定方法及びSPV測定装置 |
2017/12/20 |
2017244437 |
特許 |
リチャージ管、原料供給装置、単結晶引き上げ装置、リチャージ管の使用方法、リチャージ方法、単結晶引き上げ方法 |
2017/12/20 |
2017244262 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法およびエピタキシャルシリコンウェーハ |
2017/12/20 |
2017244098 |
特許 |
クリーニング方法、シリコン単結晶の製造方法、および、クリーニング装置 |
2017/12/19 |
2017242865 |
特許 |
インゴットブロックの製造方法、半導体ウェーハの製造方法、およびインゴットブロックの製造装置 |
2017/12/19 |
2017242866 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2017/12/19 |
2017242514 |
特許 |
貼り合わせウェーハ用の支持基板の製造方法および貼り合わせウェーハの製造方法 |
2017/12/19 |
2017242286 |
特許 |
半導体ウェーハの製造方法 |
2017/12/19 |
2017242637 |
特許 |
貼合せウェーハの製造方法および貼合せウェーハ |
2017/12/19 |
2018565980 |
特許 |
リフトピン、該リフトピンを用いたエピタキシャル成長装置およびシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 |
2017/12/1 |
2017231557 |
特許 |
半導体ウェーハの載置位置測定方法および半導体エピタキシャルウェーハの製造方法 |
2017/11/29 |
2017229400 |
特許 |
エピタキシャルウェーハの製造方法及び気相成長装置の管理方法 |
2017/11/27 |
2017226829 |
特許 |
シリコン単結晶のBMD評価方法およびシリコン単結晶の製造方法 |
2017/11/16 |
2017220678 |
特許 |
シリコン単結晶の評価方法およびシリコンウェーハの製造方法 |
2017/11/13 |
2017218314 |
特許 |
シリコン単結晶の製造装置および製造方法 |
2017/11/7 |
2017214590 |
特許 |
単結晶の製造方法及び装置 |
2017/10/31 |
2017210658 |
特許 |
シリコンブロックの品質判定方法、シリコンブロックの品質判定プログラム、およびシリコン単結晶の製造方法 |
2017/10/25 |
2017206607 |
特許 |
シリコン単結晶の良否判別方法、シリコン単結晶の製造方法、およびシリコンウェーハの製造方法 |
2017/10/24 |
2017205486 |
特許 |
検査治具及びこれを用いたシリコンウェーハの欠陥検査方法 |
2017/10/17 |
2019517872 |
特許 |
シリコンウェーハの研磨方法 |
2017/10/16 |
2017200286 |
特許 |
片面研磨装置へのウェーハ貼付装置、および片面研磨装置へのウェーハ貼付方法 |
2017/10/16 |
2017200276 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2017/10/11 |
2017197421 |
特許 |
半導体ウェーハの評価方法および半導体ウェーハの製造方法 |
2017/10/2 |
2017192768 |
特許 |
半導体ウェーハの評価方法および該方法を用いた半導体ウェーハの製造方法 |
2017/9/29 |
2017190596 |
特許 |
石英ルツボの不純物分析方法 |
2017/9/29 |
2017191553 |
特許 |
坩堝支持台座、石英坩堝支持装置およびシリコン単結晶の製造方法 |
2017/9/28 |
2017189212 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2017/9/25 |
2017183912 |
特許 |
SOIウェーハの製造方法およびSOIウェーハ |
2017/9/20 |
2017180497 |
特許 |
梱包構造体、半導体ウェーハの梱包方法および輸送方法 |
2017/9/6 |
2017171446 |
特許 |
液面レベル検出装置の調整用治具および調整方法 |
2017/8/31 |
2019538845 |
特許 |
サセプタ、エピタキシャル成長装置、エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法、ならびにエピタキシャルシリコンウェーハ |
2017/8/31 |
2019538866 |
特許 |
シリコンウェーハの両面研磨方法 |
2017/8/30 |
2017165387 |
特許 |
キャリアの製造方法およびウェーハの研磨方法 |
2017/8/24 |
2018540925 |
特許 |
石英ガラスルツボ及びその製造方法並びに石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶の製造方法 |
2017/8/24 |
2020152250 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2017/8/23 |
2017160276 |
特許 |
チャックテーブルの洗浄装置および該洗浄装置を備える研削装置 |
2017/8/17 |
2020071405 |
特許 |
石英ガラスルツボ |
2017/8/17 |
2018539584 |
特許 |
石英ガラスルツボ及びその製造方法 |
2017/8/8 |
2017153209 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの不純物ゲッタリング能力の評価方法及びエピタキシャルシリコンウェーハ |
2017/8/7 |
2018533461 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2017/8/7 |
2017152715 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2017/8/3 |
2017150642 |
特許 |
シリコン単結晶のOSF評価方法、エピタキシャルウェーハの検査方法、およびシリコン単結晶の製造方法 |
2017/8/1 |
2017148976 |
特許 |
シリコン単結晶の製造装置及び製造方法 |
2017/7/25 |
2017143569 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2017/7/21 |
2017141860 |
特許 |
ダイヤモンド積層シリコンウェーハの製造方法およびダイヤモンド積層シリコンウェーハ |
2017/7/20 |
2017141117 |
特許 |
半導体エピタキシャルウェーハおよびその製造方法、ならびに固体撮像素子の製造方法 |
2017/7/20 |
2017140909 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2017/7/18 |
2017138707 |
特許 |
シリコンウェーハ製造工程の評価方法およびシリコンウェーハの製造方法 |
2017/7/11 |
2017135345 |
特許 |
シリコン単結晶製造装置 |
2017/7/10 |
2017134917 |
特許 |
シリコンウェーハ及びその製造方法 |
2017/7/10 |
2017134916 |
特許 |
シリコンウェーハの製造方法 |
2017/7/10 |
2017134847 |
特許 |
シリコン単結晶引上げ装置及び単結晶シリコンインゴットの製造方法 |
2017/7/10 |
2017134449 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2017/7/10 |
2017134918 |
特許 |
シリコンウェーハの加工方法 |
2017/7/6 |
2018532875 |
特許 |
単結晶の製造方法及び装置 |
2017/7/5 |
2017131794 |
特許 |
シリコンウェーハの抵抗率評価方法 |
2017/6/26 |
2017124294 |
特許 |
シリコンウェーハ |
2017/6/23 |
2017123626 |
特許 |
シリコンウェーハのサーマルドナー生成挙動予測方法、シリコンウェーハの評価方法およびシリコンウェーハの製造方法 |
2017/6/19 |
2017119536 |
特許 |
レーザマークの印字方法、レーザマーク付きシリコンウェーハの製造方法 |
2017/6/14 |
2017117129 |
特許 |
半導体ウェーハの製造方法および半導体ウェーハ |
2017/6/14 |
2020139655 |
特許 |
エピタキシャル成長用の半導体ウェーハ、および半導体エピタキシャルウェーハの製造方法 |
2017/6/14 |
2017117135 |
特許 |
エピタキシャル成長用の半導体ウェーハの製造方法及び半導体エピタキシャルウェーハの製造方法 |
2017/6/12 |
2017114880 |
特許 |
原料供給方法およびシリコン単結晶の製造方法 |
2017/6/7 |
2017112981 |
特許 |
窒化物半導体基板の製造方法および窒化物半導体基板 |
2017/6/6 |
2017111329 |
特許 |
選別装置、選別装置の製造方法およびシリコン単結晶インゴットの製造方法 |
2017/5/26 |
2017104172 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2017/5/23 |
2017101340 |
特許 |
坩堝支持装置およびシリコン単結晶の製造方法 |
2017/5/16 |
2017097363 |
特許 |
シリコン単結晶の評価方法およびシリコン単結晶の製造方法 |
2017/5/9 |
2017093091 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2017/4/27 |
2017088218 |
特許 |
シリコン単結晶の引上げ方法 |
2017/4/25 |
2017086531 |
特許 |
n型シリコン単結晶のインゴット、シリコンウェーハ、およびエピタキシャルシリコンウェーハ |
2017/4/19 |
2017083171 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハのエピタキシャル層厚の測定方法、及びエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2017/4/17 |
2017081664 |
特許 |
多層膜SOIウェーハの製造方法 |
2017/4/17 |
2017081648 |
特許 |
多層膜SOIウェーハの製造方法および多層膜SOIウェーハ |
2017/4/17 |
2017081663 |
特許 |
多層膜SOIウェーハ及びその製造方法 |
2017/4/17 |
2017081105 |
特許 |
シリコンウェーハの金属汚染分析方法およびシリコンウェーハの製造方法 |
2017/4/14 |
2017080332 |
特許 |
単結晶の製造方法及び装置 |
2017/4/5 |
2017075534 |
特許 |
熱遮蔽部材、単結晶引き上げ装置および単結晶シリコンインゴットの製造方法 |
2017/4/5 |
2018027784 |
特許 |
熱遮蔽部材、単結晶引き上げ装置および単結晶シリコンインゴットの製造方法 |
2017/3/31 |
2017072755 |
特許 |
ウェーハの両面研磨装置および両面研磨方法 |
2017/3/8 |
2017043991 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法、エピタキシャルシリコンウェーハおよび固体撮像素子の製造方法 |
2017/3/8 |
2017044270 |
特許 |
半導体エピタキシャルウェーハの製造方法、品質予測方法および品質評価方法 |
2017/3/8 |
2017043892 |
特許 |
エピタキシャルウェーハの裏面検査方法、エピタキシャルウェーハ裏面検査装置、エピタキシャル成長装置のリフトピン管理方法およびエピタキシャルウェーハの製造方法 |
2017/3/7 |
2017043202 |
特許 |
エピタキシャル成長装置およびプリヒートリングならびにそれらを用いたエピタキシャルウェーハの製造方法 |
2017/3/7 |
2018083433 |
特許 |
エピタキシャル成長装置およびプリヒートリングならびにそれらを用いたエピタキシャルウェーハの製造方法 |
2017/2/28 |
2017037613 |
特許 |
シリコン単結晶インゴットの製造方法およびシリコン単結晶育成装置 |
2017/2/27 |
2017035406 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの不純物拡散挙動予測方法、ゲッタリング能力予測方法、ゲッタリング能力調整方法および製造方法 |
2017/2/24 |
2017032988 |
特許 |
シリコン試料の炭素濃度評価方法、シリコンウェーハ製造工程の評価方法、シリコンウェーハの製造方法およびシリコン単結晶インゴットの製造方法 |
2017/2/24 |
2017034013 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法および固体撮像素子の製造方法 |
2017/2/24 |
2017034116 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法、整流部材、および、単結晶引き上げ装置 |
2017/2/15 |
2017026175 |
特許 |
FOSB型出荷用ウェーハ収容容器の洗浄方法 |
2017/2/13 |
2017023769 |
特許 |
シリコン結晶中の酸素濃度評価方法 |
2017/2/9 |
2017022507 |
特許 |
回転装置、並びに該回転装置を備える両面研磨装置及び片面研磨装置 |
2017/2/2 |
2018565167 |
特許 |
単結晶引上装置のクリーニング装置 |
2017/1/18 |
2017006560 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2017/1/5 |
2017000677 |
特許 |
シリコン単結晶の引き上げ条件演算プログラム、シリコン単結晶のホットゾーンの改良方法、およびシリコン単結晶の育成方法 |
2016/12/27 |
2016252459 |
特許 |
ワークの切断方法、シリコン単結晶の切断方法およびシリコンウェーハの製造方法 |
2016/12/27 |
2016254381 |
特許 |
石英試料の分解方法、石英試料の金属汚染分析方法および石英部材の製造方法 |
2016/12/26 |
2016250552 |
特許 |
シリコン材料製造工程の評価方法およびシリコン材料の製造方法 |
2016/12/26 |
2016251066 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2016/12/22 |
2017558244 |
特許 |
ルツボ検査装置、ルツボ検査方法、シリカガラスルツボの製造方法、シリコンインゴットの製造方法、ホモエピタキシャルウェーハの製造方法 |
2016/12/22 |
2017558243 |
特許 |
ルツボ管理システム、ルツボ管理方法、シリカガラスルツボの製造方法、シリコンインゴットの製造方法、ホモエピタキシャルウェーハの製造方法 |
2016/12/22 |
2019221053 |
特許 |
緩衝材 |
2016/12/22 |
2016249503 |
特許 |
蒸発抑制部材、単結晶引き上げ装置、および、シリコン単結晶の製造方法 |
2016/12/22 |
2016249986 |
特許 |
緩衝材 |
2016/12/22 |
2016249119 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法、熱遮蔽体および単結晶引き上げ装置 |
2016/12/22 |
2016248933 |
特許 |
単結晶ウェーハの劈開方法、単結晶ウェーハの遷移金属汚染の評価方法、及び単結晶ウェーハ劈開用治具 |
2016/12/21 |
2016143286 |
商標 |
SUMCO |
2016/12/21 |
2016248388 |
特許 |
pn接合シリコンウェーハの製造方法およびpn接合シリコンウェーハ |
2016/12/21 |
2016143287 |
商標 |
§SUMCO |
2016/12/21 |
2019203064 |
特許 |
pn接合シリコンウェーハ |
2016/12/21 |
2016248384 |
特許 |
pn接合シリコンウェーハの製造方法 |
2016/12/21 |
2016247522 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法およびシリコン単結晶 |
2016/12/20 |
2016246911 |
特許 |
キャリアプレートの厚み調整方法 |
2016/12/20 |
2016246938 |
特許 |
シリコンウェーハの研磨方法およびシリコンウェーハの製造方法 |
2016/12/20 |
2017558132 |
特許 |
シリカガラスルツボ、シリカガラスルツボの製造方法およびシリコン単結晶の引き上げ装置 |
2016/12/20 |
2017558131 |
特許 |
シリカガラスルツボの歪測定装置、シリコン単結晶の製造方法およびシリコン単結晶の製造方法 |
2016/12/20 |
2016246285 |
特許 |
単結晶の製造方法 |
2016/12/20 |
2016246519 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2016/12/20 |
2016246910 |
特許 |
シリコンウェーハの枚葉式片面研磨方法 |
2016/12/15 |
2016243012 |
特許 |
熱遮蔽部材、単結晶引き上げ装置および単結晶シリコンインゴットの製造方法 |
2016/12/14 |
2016241952 |
特許 |
シリコン原料の融解方法 |
2016/12/13 |
2016139719 |
商標 |
SUMCOいまり保育園 |
2016/12/13 |
2016139720 |
商標 |
Nursery School Imari\SUMCO\いまり保育園 |
2016/12/13 |
2016139718 |
商標 |
Nursery School Imari\SUMCOいまり保育園 |
2016/12/6 |
2016236924 |
特許 |
エピタキシャルウェーハの製造方法 |
2016/12/5 |
2016236068 |
特許 |
シリコンウェーハの製造方法 |
2016/12/2 |
2016235290 |
特許 |
単結晶の製造方法 |
2016/11/17 |
2016223858 |
特許 |
エピタキシャルウェーハ及びその製造方法 |
2016/11/15 |
2016222479 |
特許 |
半導体ウェーハの評価基準の設定方法、半導体ウェーハの評価方法、半導体ウェーハ製造工程の評価方法、および半導体ウェーハの製造方法 |
2016/11/15 |
2016222433 |
特許 |
シリコンウェーハの製造方法 |
2016/11/15 |
2016222064 |
特許 |
ウェーハのエッジ研磨装置及び方法 |
2016/11/11 |
2016220225 |
特許 |
シリコン単結晶ウェーハの評価方法及び評価装置並びに製造方法 |
2016/11/10 |
2016219393 |
特許 |
砥粒の評価方法並びにウェーハの製造方法 |
2016/11/2 |
2016215561 |
特許 |
半導体ウェーハの両面研磨方法 |
2016/11/1 |
2017550269 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2016/11/1 |
2017550277 |
特許 |
III族窒化物半導体基板の製造方法及びIII族窒化物半導体基板 |
2016/10/31 |
2017516966 |
特許 |
単結晶シリコンの製造方法および単結晶シリコン |
2016/10/14 |
2016202756 |
特許 |
シリコン接合ウェーハの製造方法 |
2016/10/14 |
2019153200 |
特許 |
シリコン接合ウェーハ |
2016/10/13 |
2016202039 |
特許 |
シリコンウェーハの研磨方法、シリコンウェーハの製造方法およびシリコンウェーハ |
2016/10/11 |
2016199860 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2016/10/7 |
2016198825 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハおよびエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2016/10/3 |
2016195403 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法およびシリコン単結晶 |
2016/9/29 |
2016191212 |
特許 |
シリコンウェーハの評価方法、シリコンウェーハ製造工程の評価方法およびシリコンウェーハの製造方法 |
2016/9/28 |
2016189698 |
特許 |
半導体ウェーハの製造方法 |
2016/9/23 |
2016185830 |
特許 |
シリコン接合ウェーハの製造方法 |
2016/9/21 |
2016184220 |
特許 |
単結晶製造用坩堝及びシリコン単結晶製造装置 |
2016/9/14 |
2016179269 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法及び製造装置 |
2016/9/14 |
2016179273 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2016/9/14 |
2020080917 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2016/9/12 |
2016177638 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法及びこれに用いる黒鉛シート並びに石英ルツボ支持容器 |
2016/9/8 |
2016175508 |
特許 |
半導体ウェーハの枚葉式洗浄装置 |
2016/9/6 |
2016173700 |
特許 |
融液導入管及びこれを用いたシリコン単結晶の製造装置 |
2016/9/5 |
2016172690 |
特許 |
劣化評価方法およびシリコン材料の製造方法 |
2016/9/5 |
2017544172 |
特許 |
p型シリコンウェーハ中のFe濃度測定方法 |
2016/8/31 |
2016169383 |
特許 |
半導体ウェーハのラッピング方法および半導体ウェーハ |
2016/8/30 |
2016168213 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法及び装置 |
2016/8/29 |
2016166587 |
特許 |
単結晶引き上げ装置および単結晶の製造方法 |
2016/8/22 |
2016162102 |
特許 |
シリコン接合ウェーハの製造方法 |
2016/8/22 |
2016162079 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法、エピタキシャルシリコンウェーハ、及び固体撮像素子の製造方法 |
2016/8/12 |
2016158520 |
特許 |
チャック機構 |
2016/8/4 |
2016153488 |
特許 |
シリコンインゴットの切断方法およびシリコンウェーハの製造方法 |
2016/8/1 |
2016151420 |
特許 |
サセプタサポートシャフト及びエピタキシャル成長装置 |
2016/7/29 |
2016150449 |
特許 |
ウェーハの両面研磨方法 |
2016/7/19 |
2016141088 |
特許 |
シリコン試料の炭素濃度評価方法、シリコンウェーハ製造工程の評価方法、シリコンウェーハの製造方法およびシリコン単結晶インゴットの製造方法 |
2016/7/13 |
2016138464 |
特許 |
両面研磨装置 |
2016/7/11 |
2016136639 |
特許 |
シリコンウェーハの評価方法及び製造方法 |
2016/7/11 |
2016136622 |
特許 |
中性子照射シリコン単結晶の製造方法 |
2016/7/8 |
2016135938 |
特許 |
シリコンウェーハの製造方法 |
2016/7/8 |
2016136236 |
特許 |
転位発生予測方法およびデバイス製造方法 |
2016/7/5 |
2016133588 |
特許 |
クラスターイオンビーム生成方法およびそれを用いたクラスターイオンビーム照射方法 |
2016/6/30 |
2016130792 |
特許 |
試料表面の作製方法、試料表面の分析方法、電界支援酸化用プローブおよびこれを備えた走査型プローブ顕微鏡 |
2016/6/28 |
2016127283 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2016/6/27 |
2016126461 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2016/6/23 |
2016124753 |
特許 |
pn接合シリコンウェーハの製造方法 |
2016/6/22 |
2016123745 |
特許 |
積層基板の製造方法および積層基板 |
2016/6/17 |
2016120817 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2016/6/7 |
2016113537 |
特許 |
発塵測定装置およびそれを用いた発塵測定方法 |
2016/6/7 |
2016113429 |
特許 |
ワークの切断方法 |
2016/6/2 |
2016110637 |
特許 |
接合ウェーハの製造方法および接合ウェーハ |
2016/5/31 |
2016109039 |
特許 |
SOIウェーハの製造方法 |
2016/5/30 |
2016107226 |
特許 |
結晶欠陥の評価方法、シリコンウェーハの製造方法及び結晶欠陥の評価装置 |
2016/5/25 |
2016103983 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法及び装置 |
2016/5/23 |
2016102120 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法、シリコンウェーハの製造方法およびシリコン単結晶 |
2016/5/20 |
2016101103 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2016/5/9 |
2016093870 |
特許 |
原料チャージ補助具及びこれを用いたチャージ管へのシリコン原料のチャージ方法並びにシリコン単結晶の製造方法 |
2016/4/22 |
2017515386 |
特許 |
サセプタ、エピタキシャル成長装置、及びエピタキシャルウェーハ |
2016/4/22 |
2016085992 |
特許 |
研磨ヘッド、研磨装置およびウェーハの研磨方法 |
2016/4/21 |
2016085327 |
特許 |
エピタキシャル成長装置 |
2016/4/20 |
2016084199 |
特許 |
単結晶の製造方法および装置 |
2016/4/14 |
2016080942 |
特許 |
単結晶の製造方法および装置 |
2016/4/14 |
2016081329 |
特許 |
ウェーハ端面研磨パッド、ウェーハ端面研磨装置、及びウェーハ端面研磨方法 |
2016/4/14 |
2016081332 |
特許 |
ウェーハ端面研磨パッド、ウェーハ端面研磨装置、及びウェーハ端面研磨方法 |
2016/4/13 |
2016080242 |
特許 |
工作機械のレベリングマウント調整方法およびそれを用いたワークの研削加工方法 |
2016/4/11 |
2016078579 |
特許 |
シリコン試料の炭素濃度測定方法およびシリコン単結晶インゴットの製造方法 |
2016/3/28 |
2016064071 |
特許 |
清浄度評価方法、洗浄条件決定方法、およびシリコンウェーハの製造方法 |
2016/3/23 |
2016059090 |
特許 |
SOI基板の製造方法 |
2016/3/18 |
2016054768 |
特許 |
基板収納容器 |
2016/3/14 |
2016049164 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2016/3/11 |
2016047904 |
特許 |
表面付着物の検査装置及び検査方法 |
2016/3/4 |
2016042480 |
特許 |
シリコンウェーハの製造方法およびシリコンウェーハ |
2016/2/29 |
2016036629 |
特許 |
単結晶の製造方法および製造装置 |
2016/2/29 |
2016037338 |
特許 |
半導体エピタキシャルウェーハおよびその製造方法ならびに固体撮像素子の製造方法 |
2016/2/25 |
2016034448 |
特許 |
エピタキシャルウェーハの製造方法およびエピタキシャルウェーハ |
2016/2/25 |
2016034064 |
特許 |
ウェーハの製造方法 |
2016/2/22 |
2016031189 |
特許 |
スリップ転位の発生予測方法、該方法を用いたシリコンウェーハの製造方法、シリコンウェーハの熱処理方法およびシリコンウェーハ |
2016/2/15 |
2016025993 |
特許 |
ウェーハの製造方法 |
2016/2/12 |
2016024867 |
特許 |
エピタキシャルウェーハの評価方法 |
2016/2/3 |
2016019071 |
特許 |
ウェーハの製造方法 |
2016/2/3 |
2016018759 |
特許 |
シリコンウェーハの片面研磨方法 |
2016/2/2 |
2016017771 |
特許 |
ウェーハの両面研磨方法 |
2016/1/25 |
2016011364 |
特許 |
エピタキシャルウェーハの品質評価方法および製造方法 |
2016/1/22 |
2016573278 |
特許 |
単結晶引き上げ装置のクリーニング方法及びこれに用いるクリーニング用具並びに単結晶の製造方法 |
2016/1/5 |
2016000367 |
特許 |
リチャージ装置を用いたシリコン原料の融解方法 |
2015/12/24 |
2015251206 |
特許 |
シリコンウェーハの面取り方法、シリコンウェーハの製造方法およびシリコンウェーハ |
2015/12/22 |
2015249312 |
特許 |
ウェーハの両面研磨方法及びこれを用いたエピタキシャルウェーハの製造方法 |
2015/12/18 |
2015247938 |
特許 |
シリコンゲルマニウムエピタキシャルウェーハの製造方法およびシリコンゲルマニウムエピタキシャルウェーハ |
2015/12/18 |
2015247540 |
特許 |
半導体ウェーハの厚み分布測定システムおよび半導体ウェーハ研磨システム、半導体ウェーハの厚み分布測定方法および半導体ウェーハの厚み取り代分布測定方法、ならびに半導体ウェーハの研磨方法 |
2015/12/18 |
2015247939 |
特許 |
シリコンゲルマニウムエピタキシャルウェーハの製造方法およびシリコンゲルマニウムエピタキシャルウェーハ |
2015/12/18 |
2015247722 |
特許 |
貼り合わせウェーハの製造方法および貼り合わせウェーハ |
2015/12/18 |
2015247341 |
特許 |
ウェーハ研磨方法および研磨装置 |
2015/12/17 |
2015246547 |
特許 |
シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法および固体撮像素子の製造方法 |
2015/12/17 |
2015246157 |
特許 |
半導体エピタキシャルウェーハの汚染評価方法およびそれを用いたエピタキシャル成長装置の汚染評価方法 |
2015/12/15 |
2015244458 |
特許 |
半導体エピタキシャルウェーハの製造方法および固体撮像素子の製造方法 |
2015/12/14 |
2015243361 |
特許 |
クリーニング装置、クリーニング方法およびシリコン単結晶の製造方法 |
2015/12/10 |
2015241321 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2015/12/8 |
2015239368 |
特許 |
特定欠陥の検出方法、特定欠陥の検出システムおよびプログラム |
2015/12/7 |
2015238794 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2015/12/7 |
2015238360 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2015/12/7 |
2015238597 |
特許 |
双晶欠陥発生領域の除去方法およびシリコンウェーハの製造方法 |
2015/11/30 |
2015233126 |
特許 |
シリコンウェーハの評価方法およびその利用 |
2015/11/27 |
2015232367 |
特許 |
ウェーハの評価方法、シリコンウェーハの製造方法、シリコン単結晶インゴット |
2015/11/26 |
2015230350 |
特許 |
ウェーハ研磨方法 |
2015/11/26 |
2015231072 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2015/11/20 |
2015227654 |
特許 |
シリコン単結晶の酸素濃度の評価方法およびシリコン単結晶 |
2015/11/16 |
2015223796 |
特許 |
エピタキシャルウェーハの製造装置 |
2015/11/16 |
2015223807 |
特許 |
シリコンウェーハの品質評価方法およびシリコンウェーハの製造方法 |
2015/11/13 |
2015223442 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2015/11/9 |
2015219532 |
特許 |
サセプタ、気相成長装置および気相成長方法 |
2015/11/9 |
2015219242 |
特許 |
原料のリチャージ又は単結晶引上げに用いられる蓋付容器 |
2015/10/30 |
2015214606 |
特許 |
ウェーハ研磨装置およびこれに用いる研磨ヘッド |
2015/10/30 |
2015213837 |
特許 |
顕微ラマン分光分析装置による分析方法 |
2015/10/26 |
2015209676 |
特許 |
シリコンウェーハの検査方法 |
2015/10/20 |
2015206066 |
特許 |
半導体ウェーハの加工方法 |
2015/10/15 |
2015203746 |
特許 |
半導体エピタキシャルウェーハの製造方法および固体撮像素子の製造方法 |
2015/10/15 |
2015203369 |
特許 |
単結晶引上げ装置が備えるヒータ関連部材の選択方法 |
2015/10/14 |
2015202972 |
特許 |
単結晶製造装置および製造方法 |
2015/10/9 |
2015201489 |
特許 |
研削装置および研削方法 |
2015/10/7 |
2015199111 |
特許 |
半導体ウェーハの評価方法 |
2015/10/6 |
2015198513 |
特許 |
ウェーハ検査方法およびウェーハ検査装置 |
2015/10/6 |
2015198388 |
特許 |
シリコン単結晶の引上げ方法 |
2015/10/5 |
2015197776 |
特許 |
エピタキシャルウェーハ裏面検査装置およびそれを用いたエピタキシャルウェーハ裏面検査方法 |
2015/9/24 |
2015556325 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法及び製造システム |
2015/9/24 |
2015555487 |
特許 |
石英ガラスルツボの破壊検査方法及び良否判定方法 |
2015/9/24 |
2016246873 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法及びこれに用いるシリカガラスルツボの検査方法及び検査システム |
2015/9/24 |
2015186942 |
特許 |
エピタキシャルウェーハ表面検査装置およびそれを用いたエピタキシャルウェーハ表面検査方法 |
2015/9/24 |
2015186988 |
特許 |
酸化ガリウム単結晶育成用ルツボおよび酸化ガリウム単結晶の製造方法 |
2015/9/16 |
2015182578 |
特許 |
エピタキシャルウェーハの成膜条件決定方法、ならびにエピタキシャルウェーハの製造方法および製造装置 |
2015/9/15 |
2015181376 |
特許 |
単結晶の製造方法および装置 |
2015/9/10 |
2015178699 |
特許 |
ウェーハ検査方法およびウェーハ検査装置 |
2015/9/4 |
2015174667 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハ |
2015/9/3 |
2015173959 |
特許 |
半導体エピタキシャルウェーハの製造方法、品質予測方法および品質評価方法 |
2015/9/3 |
2015173899 |
特許 |
単結晶の製造方法 |
2015/8/27 |
2019046112 |
特許 |
SOIウェーハ |
2015/8/27 |
2015167948 |
特許 |
SOIウェーハの製造方法およびSOIウェーハ |
2015/8/27 |
2015167949 |
特許 |
SOIウェーハの製造方法およびSOIウェーハ |
2015/8/26 |
2015167146 |
特許 |
n型シリコン単結晶インゴットの製造方法、および、n型シリコンウェーハの製造方法 |
2015/8/26 |
2019118154 |
特許 |
n型シリコン単結晶インゴットの製造方法、および、n型シリコンウェーハの製造方法 |
2015/8/26 |
2015166585 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2015/8/24 |
2015165146 |
特許 |
シリコンウェーハの工程計画立案システム、工程計画立案装置、工程計画立案方法及びプログラム |
2015/8/21 |
2015163511 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2015/8/21 |
2015163510 |
特許 |
単結晶の製造方法および製造装置 |
2015/7/31 |
2015152825 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2015/7/28 |
2015148558 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2015/7/3 |
2015134146 |
特許 |
シリコン単結晶の検査方法および製造方法 |
2015/7/2 |
2015133228 |
特許 |
シリコン融液供給装置及び方法並びにシリコン単結晶製造装置 |
2015/7/2 |
2015133184 |
特許 |
シリコン単結晶引上げ装置内の部材の再生方法 |
2015/6/30 |
2015131179 |
特許 |
DLTS測定装置の管理方法 |
2015/6/26 |
2015128495 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2015/6/26 |
2015128970 |
特許 |
シリコンウェーハの良否判定方法、該方法を用いたシリコンウェーハの製造方法およびシリコンウェーハ |
2015/6/26 |
2015128521 |
特許 |
ミニエンバイロメント装置 |
2015/6/23 |
2015125697 |
特許 |
ワイヤーソー装置およびワークの切断方法 |
2015/5/29 |
2015109937 |
特許 |
エピタキシャル成長装置、エピタキシャルウェーハの製造方法およびエピタキシャル成長装置用リフトピン |
2015/5/29 |
2015109946 |
特許 |
エピタキシャル成長装置、エピタキシャルウェーハの製造方法およびエピタキシャル成長装置用リフトピン |
2015/5/29 |
2015110014 |
特許 |
半導体ウェーハのエッチング装置及び半導体ウェーハのエッチング方法 |
2015/5/8 |
2015095604 |
特許 |
シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法およびシリコンエピタキシャルウェーハ |
2015/4/30 |
2015092805 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2015/4/28 |
2015091434 |
特許 |
ウェーハの両面研磨装置 |
2015/4/27 |
2015090559 |
特許 |
サセプタ及びエピタキシャル成長装置 |
2015/4/27 |
2015090588 |
特許 |
ツルーアーの製造方法および半導体ウェーハの製造方法、ならびに半導体ウェーハの面取り加工装置 |
2015/4/27 |
2015090558 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2015/4/17 |
2015084638 |
特許 |
種結晶の温度測定方法、および単結晶の製造方法 |
2015/4/14 |
2015082255 |
特許 |
エピタキシャルウェーハの評価方法および評価装置 |
2015/4/10 |
2016525673 |
特許 |
シリコンウェーハの製造方法 |
2015/4/10 |
2015080537 |
特許 |
半導体ウェーハの製造方法および半導体ウェーハの評価方法 |
2015/4/10 |
2017118148 |
特許 |
シリコンウェーハの製造方法 |
2015/4/9 |
2015079864 |
特許 |
単結晶引き上げ用種結晶保持具及びこれを用いたシリコン単結晶の製造方法 |
2015/3/27 |
2015065689 |
特許 |
シリコンウェーハの製造方法 |
2015/3/27 |
2018165541 |
特許 |
シリコンウェーハの製造方法 |
2015/3/26 |
2015064024 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2015/3/26 |
2015064025 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2015/3/18 |
2015055160 |
特許 |
半導体基板の評価方法及び半導体基板の製造方法 |
2015/2/26 |
2015036233 |
特許 |
原料融液液面と種結晶下端との間隔測定方法、種結晶の予熱方法、および単結晶の製造方法 |
2015/2/25 |
2015035646 |
特許 |
シリコンウェーハの良否判定方法、該方法を用いたシリコンウェーハの製造方法およびシリコンウェーハ |
2015/2/25 |
2015035653 |
特許 |
半導体ウェーハのゲッタリング能力評価方法、それを用いた半導体ウェーハの判定方法および製造方法 |
2015/2/25 |
2015035650 |
特許 |
半導体ウェーハの枚葉式片面研磨方法および半導体ウェーハの枚葉式片面研磨装置 |
2015/2/20 |
2015032143 |
特許 |
エピタキシャル成長装置及びサセプタサポートシャフト |
2015/2/3 |
2015018932 |
特許 |
エピタキシャル成長装置、およびエピタキシャル成長方法 |
2015/1/14 |
2015005202 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2015/1/13 |
2015004062 |
特許 |
シリコンウェーハの製造方法及び半導体装置の製造方法 |
2015/1/9 |
2015556788 |
特許 |
ワークの厚さ測定装置、測定方法、及びワークの研磨装置 |
2014/12/26 |
2014265757 |
特許 |
砥粒の評価方法、および、シリコンウェーハの製造方法 |
2014/12/25 |
2014109605 |
商標 |
勝高 |
2014/12/25 |
2015554978 |
特許 |
石英ガラスルツボ及びその製造方法 |
2014/12/25 |
2014262930 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2014/12/25 |
2015554979 |
特許 |
石英ガラスルツボ及びその歪み測定装置 |
2014/12/25 |
2014262746 |
特許 |
半導体エピタキシャルウェーハの製造方法および固体撮像素子の製造方法 |
2014/12/24 |
2014261123 |
特許 |
単結晶の製造方法およびシリコンウェーハの製造方法 |
2014/12/24 |
2014261122 |
特許 |
単結晶の製造方法 |
2014/12/8 |
2014248075 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法、および、気相成長装置 |
2014/12/4 |
2014245687 |
特許 |
吸着チャック、面取り研磨装置、及び、シリコンウェーハの面取り研磨方法 |
2014/12/2 |
2014244032 |
特許 |
シリコン単結晶の育成方法 |
2014/11/26 |
2014239030 |
特許 |
気相成長装置の汚染管理方法、エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2014/11/12 |
2014229393 |
特許 |
半導体ウェーハの支持方法及びその支持装置 |
2014/11/12 |
2014229925 |
特許 |
シリコンウェーハの製造方法 |
2014/10/31 |
2014223196 |
特許 |
リフトピン、該リフトピンを用いたエピタキシャル成長装置およびエピタキシャルウェーハの製造方法 |
2014/10/31 |
2014223208 |
特許 |
リフトピン、該リフトピンを用いたエピタキシャル成長装置およびエピタキシャルウェーハの製造方法 |
2014/10/24 |
2014217019 |
特許 |
単結晶の製造方法及び製造装置 |
2014/10/17 |
2014212483 |
特許 |
単結晶の製造方法及び製造装置 |
2014/10/3 |
2015540576 |
特許 |
研磨剤組成物、シリコンウェハー用研磨剤組成物、およびシリコンウェハー製品の製造方法 |
2014/10/2 |
2014204168 |
特許 |
気相成長装置の汚染管理方法、エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2014/9/25 |
2014195326 |
特許 |
ワークの研磨装置およびワークの製造方法 |
2014/9/22 |
2014192694 |
特許 |
単結晶SiCウェーハの製造方法 |
2014/9/22 |
2014192696 |
特許 |
貼合せSiCウェーハの製造方法及び貼合せSiCウェーハ |
2014/9/22 |
2014193113 |
特許 |
ルツボ測定装置 |
2014/9/22 |
2014193116 |
特許 |
ルツボ測定方法 |
2014/9/22 |
2014193115 |
特許 |
シリカガラスルツボの製造方法 |
2014/9/19 |
2014191580 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法及び気相成長装置 |
2014/9/11 |
2014185513 |
特許 |
ボロンドープp型シリコンウェーハの金属汚染評価方法および評価装置、ならびにボロンドープp型シリコンウェーハの製造方法 |
2014/9/5 |
2014181087 |
特許 |
結晶欠陥の評価方法及びウェーハの製造方法 |
2014/8/29 |
2014175330 |
特許 |
シリコンウェーハの研磨方法 |
2014/8/28 |
2014174330 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハおよびその製造方法、ならびに、固体撮像素子の製造方法 |
2014/7/29 |
2014153984 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2014/7/25 |
2014152315 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2014/7/17 |
2014147114 |
特許 |
単結晶の製造方法及び製造装置 |
2014/7/9 |
2014141139 |
特許 |
DNAチップ及びその製造方法 |
2014/7/9 |
2014141140 |
特許 |
バイオチップ及びその製造方法 |
2014/7/9 |
2014141551 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2014/7/4 |
2014139131 |
特許 |
半導体基板表面の有機物汚染評価方法およびその利用 |
2014/6/24 |
2015533944 |
特許 |
ウェーハの研磨方法およびウェーハの研磨装置 |
2014/6/24 |
2014128975 |
特許 |
研削装置および研削方法 |
2014/6/5 |
2014116391 |
特許 |
単結晶の製造方法 |
2014/5/19 |
2014103609 |
特許 |
シリコンウェーハの製造方法 |
2014/5/13 |
2014099845 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法、エピタキシャルシリコンウェーハ、および固体撮像素子の製造方法 |
2014/5/13 |
2014099378 |
特許 |
半導体エピタキシャルウェーハの製造方法および固体撮像素子の製造方法 |
2014/5/13 |
2014099656 |
特許 |
貼り合わせウェーハの製造方法 |
2014/3/13 |
2014050633 |
特許 |
半導体エピタキシャルウェーハの製造方法、半導体エピタキシャルウェーハ、および固体撮像素子の製造方法 |
2014/2/26 |
2014035969 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2014/2/21 |
2014031386 |
特許 |
エピタキシャルウェーハの製造方法 |
2014/2/20 |
2014030719 |
特許 |
シリコンウェーハの製造方法 |
2014/2/17 |
2014027473 |
特許 |
半導体ウェーハの製造方法 |
2014/2/4 |
2015501387 |
特許 |
半導体ウェーハの加工方法 |
2014/1/23 |
2014010227 |
特許 |
シリコンの溶解方法及びその装置並びに該装置を備えたシリコン単結晶製造装置 |
2014/1/14 |
2015557576 |
特許 |
シリコンウェーハの製造方法 |
2014/1/7 |
2014001182 |
特許 |
半導体エピタキシャルウェーハの製造方法、半導体エピタキシャルウェーハ、および固体撮像素子の製造方法 |
2014/1/7 |
2014001098 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2014/1/7 |
2014001074 |
特許 |
エピタキシャルウェーハの製造方法およびエピタキシャルウェーハ |
2013/12/28 |
2013273685 |
特許 |
石英ガラスルツボ及びその製造方法 |
2013/12/27 |
2013270641 |
特許 |
単結晶の引上げ方法 |
2013/12/27 |
2013271509 |
特許 |
エピタキシャル成長装置 |
2013/12/26 |
2013270033 |
特許 |
ワークの両面研磨装置 |
2013/12/5 |
2013252339 |
特許 |
シリコン単結晶の育成方法 |
2013/12/5 |
2013252335 |
特許 |
シリコン単結晶の育成方法 |
2013/11/29 |
2013248106 |
特許 |
シリコンウェーハの製造方法 |
2013/11/26 |
2013244056 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2013/11/18 |
2013237986 |
特許 |
ワークの両面研磨装置及び両面研磨方法 |
2013/11/12 |
2018127268 |
特許 |
シリコンウェーハの製造方法 |
2013/11/12 |
2013233593 |
特許 |
シリコンウェーハの製造方法 |
2013/11/5 |
2013229088 |
特許 |
シリコン単結晶製造方法 |
2013/11/1 |
2013228604 |
特許 |
半導体ウェーハの外周部の検査装置および検査方法 |
2013/10/29 |
2013224414 |
特許 |
キャリアプレート及びワークの両面研磨装置 |
2013/10/2 |
2013207446 |
特許 |
メンブレン、研磨ヘッド、ワークの研磨装置及び研磨方法、並びに、シリコンウェーハ |
2013/9/27 |
2013200818 |
特許 |
SOIウェーハの製造方法 |
2013/9/6 |
2013069899 |
商標 |
§SUMCO |
2013/9/4 |
2013183148 |
特許 |
シリコンウェーハおよびその製造方法 |
2013/9/4 |
2013183149 |
特許 |
エピタキシャルウェーハの製造方法及び貼り合わせウェーハの製造方法 |
2013/8/30 |
2013178934 |
特許 |
インゴットとワークホルダの接着方法及び接着装置 |
2013/8/30 |
2013180034 |
特許 |
ワークの両面研磨装置及び両面研磨方法 |
2013/8/30 |
2013178750 |
特許 |
SOIウェーハの製造方法 |
2013/8/20 |
2013170152 |
特許 |
エピタキシャルウェーハの製造方法およびエピタキシャルウェーハ |
2013/8/8 |
2013164921 |
特許 |
貼り合わせウェーハの製造方法および貼り合わせウェーハ |
2013/8/6 |
2013162880 |
特許 |
ウェーハ運搬台車及びウェーハ運搬方法 |
2013/8/6 |
2013163464 |
特許 |
ワイヤーソー用加工液供給ノズルおよびワイヤーソーへの加工液供給方法 |
2013/8/5 |
2013162512 |
特許 |
貼り合わせウェーハの製造方法および貼り合わせウェーハ |
2013/6/30 |
2016205663 |
特許 |
シリカガラスルツボの検査方法 |
2013/6/30 |
2015524913 |
特許 |
シリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボの製造に好適なシリカ粉の評価方法 |
2013/6/30 |
2015524912 |
特許 |
シリカガラスルツボの検査方法 |
2013/6/30 |
2015524914 |
特許 |
シリカガラスルツボ |
2013/6/29 |
2017039352 |
特許 |
シリコン単結晶引き上げ方法 |
2013/6/29 |
2015523818 |
特許 |
シリコン単結晶引き上げ方法 |
2013/6/26 |
2013133386 |
特許 |
半導体ウェーハの加工プロセス |
2013/6/24 |
2014522427 |
特許 |
ワークの研磨方法およびワークの研磨装置 |
2013/6/17 |
2013126568 |
特許 |
エピタキシャルウェーハの製造方法及びその製造装置 |
2013/6/12 |
2013044961 |
商標 |
シリコンユナイテッドマニュファクチュアリング |
2013/6/12 |
2013044959 |
商標 |
Silicon United Manufacturing |
2013/6/12 |
2013044960 |
商標 |
Silicon United |
2013/6/12 |
2013044962 |
商標 |
シリコンユナイテッド |
2013/6/10 |
2013121845 |
特許 |
エピタキシャルウェーハの製造方法 |
2013/6/4 |
2013117816 |
特許 |
貼合せSOIウェーハの製造方法 |
2013/5/31 |
2015519596 |
特許 |
シリコン単結晶引き上げ用シリカガラスルツボ及びその製造方法 |
2013/5/31 |
2016199466 |
特許 |
シリコン単結晶の製造方法 |
2013/4/3 |
2013077411 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2013/3/18 |
2013054885 |
特許 |
人頭型気流試験装置及び該装置を用いた防塵用具の品質検査を行う方法 |
2013/3/1 |
2014507368 |
特許 |
多結晶シリコンおよびその鋳造方法 |
2013/2/21 |
2013031609 |
特許 |
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
2013/2/14 |
2013026265 |
特許 |
ウェーハ収納容器梱包用緩衝材 |
2013/1/24 |
2013011446 |
特許 |
半導体ウェーハの金属汚染評価方法および半導体ウェーハの製造方法 |